专利名称：自动升降载物台及真空包装机的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种载物台及真空包装机。
背景技术：
目前在半导体工艺车间内，通常采用外抽式包装机台对各种晶圆盒进行包装。具体请参阅图1，图1是现有的外抽式真空包装机的结构示意图。由图1可见，所述真空包装机包括载物台，用于对晶圆盒100进行包装，所述载物台包括载物板110和支撑架120。所述支撑架120上设有若干螺钉孔，通过螺钉组件和螺钉孔的配合将所述载物板110水平设置在所述支撑架120上。手动松开所述螺钉组件，可以调整所述载物板110的水平高度。在实际操作过程中，由于每种晶圆盒100的高度不一样，导致操作人员需要经常手动调节载物板110的高度以此达到实际包装的需求。但是，这样的操作模式，一方面，浪费时间，工作效率比较低；另一方面，在手动调整载物板110高度的过程中，由于载物板110 比较重，载物板110不容易握持，容易发生操作人人员受伤和晶圆盒100内的晶圆因载物板 110不平稳而发生破片的事故。因此，如何提供一种可以自动调高度的自动升降载物台及真空包装机是本领域技术人员亟待解决的一个技术问题。
实用新型内容本实用新型的目的在于提供一种自动升降载物台及真空包装机，可以实现载物板高度的自动调整，便于操作人员作业，有效提高工作效率，同时也避免操作人人员受伤和晶圆破片的风险。为了达到上述的目的，本实用新型采用如下技术方案—种自动升降载物台，包括载物板和支撑架，还包括固定板、马达、传动机构和升降机构，所述固定板固定连接于所述支撑架且水平设置，所述马达、传动机构、升降机构设置在所述固定板上，所述马达和所述传动机构连接，所述升降机构分别和所述传动机构和所述载物板连接。优选的，在所述的自动升降载物台中，所述升降机构包括驱动杆和辅助螺纹杆，所述辅助螺纹杆竖直设置于所述固定板上，所述驱动杆包括螺纹轴和光轴，所述螺纹轴固定连接于所述光轴的一端，所述载物板设有两个螺纹孔，所述驱动杆和所述辅助螺纹杆对应穿设于所述两个螺纹孔内，所述传动结构和所述螺纹轴连接。优选的，在所述的自动升降载物台中，所述传动机构是皮带圈，所述皮带圈一端套设在所述马达的输出轴上，所述皮带圈的另一端套设在所述光轴上。优选的，在所述的自动升降载物台中，所述驱动杆和所述辅助螺纹杆设置在所述载物板的两侧。优选的，在所述的自动升降载物台中，所述螺纹轴和所述光轴的长度比是5 1 3 I0[0012]优选的，在所述的自动升降载物台中，所述载物板和所述固定板平行设置。本实用新型还公开了一种真空包装机，包括一载物台，其中所述载物台是如上所述的自动升降载物台。优选的，在所述的真空包装机中，所述载物板和所述固定板平行设置。本实用新型的有益效果如下本实用新型的自动升降载物台及真空包装机，通过增设马达、传动机构和升降机构，可以实现自动调整载物板的高度，相比现有的手动调整载物板的高度，不但降低了操作人员的工作强度，而且可以避免拆卸载物板导致操作人员受伤和晶圆破片的风险，因此，不但提高的生产的安全稳定性，还有效提高了工作效率。
本实用新型的自动升降载物台及真空包装机由以下的实施例及附图给出。图1为现有的真空包装机的结构示意图；图2为本实用新型的真空包装机及其自动升降载物台的结构示意图。
具体实施方式
以下将对本实用新型的自动升降载物台及真空包装机作进一步的详细描述。下面将参照附图对本实用新型进行更详细的描述，其中表示了本实用新型的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本实用新型而仍然实现本实用新型的有利效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本实用新型的限制。为了清楚，不描述实际实施例的全部特征。在下列描述中，不详细描述公知的功能和结构，因为它们会使本实用新型由于不必要的细节而混乱。应当认为在任何实际实施例的开发中，必须作出大量实施细节以实现开发者的特定目标，例如按照有关系统或有关商业的限制，由一个实施例改变为另一个实施例。另外，应当认为这种开发工作可能是复杂和耗费时间的，但是对于本领域技术人员来说仅仅是常规工作。为使本实用新型的目的、特征更明显易懂，
以下结合附图对本实用新型的具体实施方式
作进一步的说明。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比率， 仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。请参阅图2，图2为本实用新型的真空包装机及其自动升降载物台的结构示意图。 这种真空包装机，用于对各种晶圆盒200进行包装，包括一个自动升降载物台。所述自动升降载物台包括载物板210、支撑架220、固定板230、马达M0、传动机构250和升降机构，所述固定板230固定连接于所述支撑架220且所述固定板230水平设置，所述马达M0、传动机构250、升降机构设置在所述固定板230上，所述马达240和所述传动机构250连接，所述升降机构分别和所述传动机构250和所述载物板210连接。本实施例中，所述升降机构包括驱动杆260和辅助螺纹杆270，所述辅助螺纹杆 270竖直设置于所述固定板230上，所述驱动杆260包括螺纹轴261和光轴沈2，所述螺纹轴261固定连接于所述光轴262的一端(本实施例中是上端)，所述载物板210设有两个螺纹孔，所述驱动杆260和所述辅助螺纹杆270对应穿设于所述两个螺纹孔内，所述传动结构和所述螺纹轴261连接。设置驱动杆260和辅助螺纹杆270，可以更加平稳地升降所述载物板 210。优选的，所述驱动杆260和所述辅助螺纹杆270设置在所述载物板210的左右两侧，如此，可以更加平稳地支撑所述载物板210，使得载物板210的升降过程更加平稳。本实施例中，所述传动机构250是皮带传动机构，所述皮带传动机构包括一皮带圈，所述皮带圈一端套设在所述马达MO的输出轴上，所述皮带圈的另一端套设在所述光轴262上。采用皮带传动机构的真空包装机及其自动升降载物台具有运转稳、低噪音和过载保护的优点，而且结构比较简单，设计精度要求不高。当然，所述传动机构也可以采用其他技术手段，如链轮传动。优选的，所述螺纹轴261和所述光轴沈2的长度比是5 1 3 1。设置光轴只是为了传动，因此，光轴的长度不需要太长，本实施例中，所述螺纹轴261和所述光轴262的长度比4 1。优选的，所述载物板210和所述固定板230平行设置。将所述载物板210和所述固定板230平行设置，也是为了实现更加平稳地进行载物板210的上下移动。本实用新型的自动升降载物台及真空包装机，通过增设马达、传动机构和升降机构，可以实现自动调整载物板的高度，相比现有的手动调整载物板的高度，不但降低了操作人员的工作强度，而且可以避免拆卸载物板导致操作人员受伤和晶圆破片的风险，不但提高的生产的安全稳定性，还有效提高了工作效率。显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。
权利要求1.一种自动升降载物台，包括载物板和支撑架，其特征在于，还包括固定板、马达、传动机构和升降机构，所述固定板固定连接于所述支撑架且水平设置，所述马达、传动机构、升降机构设置在所述固定板上，所述马达和所述传动机构连接，所述升降机构分别和所述传动机构和所述载物板连接。
2.根据权利要求1所述的自动升降载物台，其特征在于，所述升降机构包括驱动杆和辅助螺纹杆，所述辅助螺纹杆竖直设置于所述固定板上，所述驱动杆包括螺纹轴和光轴，所述螺纹轴固定连接于所述光轴的一端，所述载物板设有两个螺纹孔，所述驱动杆和所述辅助螺纹杆对应穿设于所述两个螺纹孔内，所述传动结构和所述螺纹轴连接。
3.根据权利要求2所述的自动升降载物台，其特征在于，所述传动机构是皮带圈，所述皮带圈一端套设在所述马达的输出轴上，所述皮带圈的另一端套设在所述光轴上。
4.根据权利要求2所述的自动升降载物台，其特征在于，所述驱动杆和所述辅助螺纹杆设置在所述载物板的两侧。
5.根据权利要求2所述的自动升降载物台，其特征在于，所述螺纹轴和所述光轴的长度比是5 1 3 1。
6.根据权利要求1-5中任意一项所述的自动升降载物台，其特征在于，所述载物板和所述固定板平行设置。
7.一种真空包装机，包括一载物台，其特征在于，所述载物台是如权利要求1-5中任意一项所述的自动升降载物台。
8.根据权利要求7所述的真空包装机，其特征在于，所述载物板和所述固定板平行设置。
专利摘要本实用新型公开了一种自动升降载物台，包括载物板和支撑架，还包括固定板、马达、传动机构和升降机构，所述固定板固定连接于所述支撑架且水平设置，所述马达、传动机构、升降机构设置在所述固定板上，所述马达和所述传动机构连接，所述升降机构分别和所述传动机构和所述载物板连接。本实用新型的自动升降载物台及真空包装机，通过增设马达、传动机构和升降机构，可以实现自动调整载物板的高度，相比现有的手动调整载物板的高度，不但降低了操作人员的工作强度，而且可以避免拆卸载物板导致操作人员受伤和晶圆破片的风险，因此，不但提高的生产的安全稳定性，还有效提高了工作效率。
文档编号B65B43/59GK202138571SQ20112023364
公开日2012年2月8日 申请日期2011年7月4日 优先权日2011年7月4日
发明者张学良, 高海林 申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司