专利名称：5片盒整体传输结构的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及ー种基片传输装置，属于自动化检测传输领域，尤其涉及ー种5片盒整体传输结构。
技术背景在半导体集成电路制造行业，特别设计LED生产和太阳能电池芯片的生产过程中，对基片的平整度，翘曲度这些指标有很高的要求，因此经常需要检测基片的平整度与厚度，在这过程中，将基片传输分类的过程就需要额外的。目前，市场上主要采用的通过人工完成相关的基片检测工作。这主要是因为人工成本低的缘故。人工检测时，在传输分类过程中难免会造成晶片受到污染，这样増加了次品率，不利于降低成本。因此，提供一种成本低廉，通过又能自动化传输分类基片的装置就显得尤为重要了。
实用新型内容本实用新型的目的是避免现有技术中的传输设备成本过高的问题，通过简化结构来降低设备的制造成本，保证设备在提高生产效率的同时，极大降低对晶片污染并提高良品率。本实用新型公开ー种5片盒整体传输结构，包括机架，其中扫描工作台，设置在所述机架的一端，所述扫描工作台上设置有承片台；5个片盒升降机构，呈单列设置在所述机架的另一端；导轨系统，在所述扫描台和所述片盒升降机构之间。上述的传输结构，其中，所述导轨系统顶部设置有ー旋转机械手，所述旋转机械手包括两个直臂，所述两直臂夹角大于90度。上述的传输结构，其中，所述导轨系统包括第一向导轨和第二向导轨，所述第二向导轨位于所述第一向导轨上，所述第一向导轨和第二向导轨在水平面上互相垂直。上述的传输结构，其中，所述5个片盒升降机构环绕所述导轨系统的ー侧。上述的传输结构，其中，所述机架上套有ー个透明罩体，所述罩体与所述机架接合处密封。上述的传输结构，其中，所述片盒升降机构包括片架升降电机，设置在所述机架里；片架升降丝杠，底端连接所述片架升降电机，顶端竖直；片盒，其底端竖直方向上设置有螺纹，连接所述片架升降丝杠。本实用新型通过设置5个片盒升降机构方便用于分选不同的基片，导轨系统通过第一向和第二向导轨移动，使导轨系统顶端的机械手靠近所述5个片盒升降机构中的任意一个或扫描工作平台。
通过阅读參照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本实用新型及其特征、外形和优点将会变得更明显。在全部附图中相同的标记指示相同的部分。并未刻意按照比例绘制附图，重点在于示出本实用新型的主在附图中，为清楚明了，放大了部分部件。图I示出了根据本实用新型的，ー种5片盒整体传输结构的俯视图。
具体实施方式
以下结合附图及具体实施方式
对本实用新型进行进一歩详细说明。此处所描述的具体实施方式
仅用于解释本实用新型，并不用于限定本实用新型的保护范围。參考图I示出了根据本实用新型的，ー种5片盒整体传输结构的俯视图。其中，机架100上设置有扫描工作台4，扫描工作台4设置在所述机架100的一端，所述扫描工作台4上设置有承片台I ;5个片盒升降机构6，设置在所述机架100的另一端；导轨系统9，设置在所述扫描台4和所述片盒升降机构6之间。进ー步地，所述导轨系统9顶部设置有ー旋转机械手8，所述旋转机械手8包括两个直臂，所述两直臂夹角大于90度。旋转机械手8可以通过导轨系统9在扫描工作台4和片盒升降机构6之间移动，从而实现基片(图I中未标示)的传输。在一个优选例中，所述导轨系统9包括第一向导轨2和第二向导轨3，所述第二向导轨3位于所述第一向导轨2上,所述第一向导轨2和第二向导轨3在水平面上互相垂直。旋转机械手8的底端固定在所述第二向导轨3上，第二向导轨3设置在第一向导轨2上，所述机架100上设置有一第一向滑槽，第一向导轨2连接所述第一向滑槽，使得所述第一向导轨2可沿第一向移动，所述第一向导轨2上设置有第二向滑槽，使得所述第二向导轨3可沿第二向移动，这样，旋转机械手8就可以移动至ニ维平面上需要的位置。所述5个片盒升降机构环绕所述导轨系统的ー侧，如图I所示，这样的设计使得旋转机械手8和每ー个片盒升降机构的距离都相近，避免旋转机械手8做大幅度的位移，参考图I中特别标示的第一片盒升降机构10和第二片盒升降机构7，这两个片盒升降机构是5个片盒升降机构中最两端的片盒升降机构，其倾斜一定角度，正对所述旋转机械手8，旋转机械手8相距第一片盒升降机构10、相距第二片盒升降机构7约等于旋转机械手8相距另外三个片盒升降机构的距离，再又一个优选例中，5个片盒升降机构的排布成类似圆弧状。为了保证本实用新型在传输过程中与外界隔离，机架100上套有ー个透明罩体(图I中未标示)，所述罩体与所述机架接合处密封，不仅可以避免基片被污染，同时也方便工作人员观察本实用新型的工作状态。更进一歩地，所述片盒升降机构6包括片架升降电机(图I中未标示)，设置在所述机架100里；片架升降丝杠(图I中未标示)，其底端连接所述片架升降电机；片盒5，其底 端竖直方向上设置有螺纹，连接所述片架升降丝杠的顶端。本实用新型使用吋，首先，旋转机械手8从ー个片盒升降机构6中的片盒5里取出基片，旋转移动到扫描平台4的承片台I的位置。由旋转机械手8将基片放置到承片台I上。然后完成需要的检测步骤，检测完毕后，由旋转机械手8将基片放置在设定的片盒升降机构6中一个机构的片盒5里，片盒在升降系统电机的带动升降，片盒5中放置的基片逐次被装满或取空，更具需要再更换空片盒或装有带检测基片的片盒。本实用新型通过设置5个片盒用于分类基片，可以根据需要将基片的类别设置成5种，通过机械手的设置可以高效完成传输过程，又因为设置有ー个透明罩体盖住本实用新型，因此在传输过程中可以很好的防止人工操作时会发生的基片污染。 本领域技术人员应该理解，本领域技术人员结合现有技术以及上述实施例可以实现所述变化例，在此不予赘述。这样的变化例并不影响本实用新型的实质内容，在此不予赘述。以上对本实用新型的较佳实施例进行了描述。需要理解的是，本实用新型并不局限于上述特定实施方式，其中未尽详细描述的设备和结构应该理解为用本领域中的普通方式予以实施；任何熟悉本领域的技术人员，在不脱离本实用新型技术方案范围情况下，都可利用上述掲示的方法和技术内容对本实用新型技术方案作出许多可能的变动和修饰，或修改为等同变化的等效实施例，这并不影响本实用新型的实质内容。因此，凡是未脱离本实用新型技术方案的内容，依据本实用新型的技术实质对以上实施例所做的任何简单修改、等同变化及修饰，均仍属于本实用新型技术方案保护的范围内。
权利要求1.ー种5片盒整体传输结构，包括机架，其特征在干 扫描工作台，设置在所述机架的一端，所述扫描工作台上设置有承片台； 5个片盒升降机构，设置在所述机架的另一端； 导轨系统，在所述扫描台和所述片盒升降机构之间。
2.根据权利要求I所述的传输结构，其特征在于，所述导轨系统顶部设置有一旋转机械手，所述旋转机械手包括两个直臂，所述两直臂夹角大于90度。
3.根据权利要求I或2所述的传输结构，其特征在于，所述导轨系统包括第一向导轨和第二向导轨，所述第一向导轨和第二向导轨在水平面上互相垂直。
4.根据权利要求2所述的传输结构，其特征在于，所述5个片盒升降机构环绕所述导轨系统的ー侧。
5.根据权利要求2所述的传输结构，其特征在于，所述机架上套有ー个透明罩体，所述罩体与所述机架接合处密封。
6.根据权利要求2所述的传输结构，其特征在于，所述片盒升降机构包括 片架升降电机，设置在所述机架里； 片架升降丝杠，底端连接所述片架升降电机，顶端竖直； 片盒，其底端竖直方向上设置有螺纹，连接所述片架升降丝杠。
专利摘要本实用新型提供一种5片盒整体传输结构，包括机架，其特征在于还包括扫描工作台，设置在所述机架的一端，所述扫描工作台上设置有承片台；5个片盒升降机构，设置在所述机架的另一端；导轨系统，在所述扫描台和所述片盒升降机构之间。本实用新型通过设置5个片盒升降机构方便用于分选不同的基片。
文档编号B65G49/06GK202389946SQ20112026544
公开日2012年8月22日 申请日期2011年7月26日 优先权日2011年7月26日
发明者丁天祥, 李正贤 申请人:上海卓晶半导体科技有限公司