一种气动真空室传送装置的制作方法

文档序号:4391821阅读:286来源:国知局
专利名称:一种气动真空室传送装置的制作方法
技术领域
本实用新型涉及气动元件与设备领域,尤其是涉及到一种气动真空室传送装置。
背景技术
真空室的传送一般使用机械手,但机械手往往通过手动或电路控制,与真空室的连接复杂,容易损坏,而且也不易实现长距离的器件的传送。

发明内容本实用新型提供一种气动真空室传送装置,包括真空室、传动轴、气动轴承、驱动磁性体、磁性架,其特征是真空室外面安装有气动轴承和驱动磁性体。其中,磁性架安装于传动轴上,驱动磁性体与气动轴承相连接。本实用新型提供一种气动真空室传送装置结构简单、传动效率高、传动距离长。传动器件时,器件安防于磁性架上,气动轴承推动驱动磁性体前进;驱动磁性体通过磁力耦合带动磁性架前进。

图1为本实用新型的结构示意图。图中1、真空室、2、传动轴、3、气动轴承、4、驱动磁性体、5、磁性架
具体实施方式
以下结合附图实施例对本实用新型作进一步详细描述。图1为本实用新型的结构示意图,包括真空室1、传动轴2、气动轴承3、驱动磁性体 4、磁性架5。真空室1外面安装有气动轴承3和驱动磁性体4。其中,磁性架5安装于传动轴2上,驱动磁性体4与气动轴承3相连接。本实用新型提供一种气动真空室传送装置结构简单、传动效率高、传动距离长。传动器件时,器件安防于磁性架5上,气动轴承3推动驱动磁性体4前进;驱动磁性体4通过磁力耦合带动磁性架5前进。以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解,本实用新型不受上述实施例的限制,上述实施例和说明书中描述的只是说明本发明的原理,在不脱离本发明精神和范围的前提下,本发明还会有各种变化和改进,这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
权利要求1.一种气动真空室传送装置,包括真空室、传动轴、气动轴承、驱动磁性体、磁性架,其特征在于所述的真空室外面安装有气动轴承和驱动磁性体。
2.根据权利要求1所述的气动真空室传送装置,其特征在于 所述的磁性架安装于传动轴上;所述的驱动磁性体与气动轴承相连接。
专利摘要真空室的传送一般使用机械手,但机械手往往通过手动或电路控制,与真空室的连接复杂,容易损坏,而且也不易实现长距离的器件的传送。本实用新型提供一种气动真空室传送装置,具有结构简单、传动效率高、传动距离长的优点。传动器件时,器件安防于磁性架上,气动轴承推动驱动磁性体前进;驱动磁性体通过磁力耦合带动磁性架前进。
文档编号B65G54/02GK202265211SQ201120405239
公开日2012年6月6日 申请日期2011年10月14日 优先权日2011年10月14日
发明者林志娟 申请人:林志娟
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