专利名称：液体分装装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及半导体制造领域，尤其涉及一种液体分装装置。
背景技术：
目前，在半导体制造工艺中，很多制程需要清洗液，其中需求量比较大的是异丙醇(IPA,英文全称Isopropyl Alcohol)。异丙醇作为清洗去油剂,主要用于分立器件以及中、大规模集成电路及超大规模集成电路工艺中。同时也是工业上比较便宜的溶剂，用途广，能和水自由混合，对亲油性物质的溶解力比乙醇强。IPA具有危险特性易燃，其蒸气与空气可形成爆炸性混合物，遇明火、高热能引起燃烧爆炸，与氧化剂接触猛烈反应。在高温环境中，受热的容器有爆炸危险。并且，异丙醇蒸气比空气重，能在较低处扩散到相当远的地方，遇火源会着火回燃。现在，当有工艺制程需要特定浓度的IPA时，操作人员先从有机溶剂室搬运大容 量的IPA罐到运输车上，然后开到工艺车间(FAB)，取所需要的IPA原液后，再使之与水配t匕，从而，获取所需浓度的IPA溶液。由此可见，一方面，由于需要搬运IPA罐，因此，费事费力；另一方面，由于IPA有毒且容易挥发，因此，在搬运过程中，容易发生因碰撞而造成的IPA泄露问题，造成人员危险和环境影响。因此，如何提供一种可以安全且高效的液体分装装置是本领域技术人员亟待解决的一个技术问题。
实用新型内容本实用新型的目的在于提供一种液体分装装置，可以实现对液体的安全、高效的分装，省时省力。为了达到上述的目的，本实用新型采用如下技术方案—种液体分装装置，包括柜体以及安装于所述柜体的分装机构，所述分装机构包括液体供应管、纯水管、第一手动控制阀、电磁控制阀、第二手动控制阀以及按钮，所述液体供应管的一端外接供应源，另一端接第一手动控制阀，所述纯水管的一端外接纯水供应源，另一端接第二手动控制阀，所述电磁控制阀设置于所述液体供应管上，所述电磁控制阀与所述按钮电性连接。优选的，在上述的液体分装装置中，还包括一个箱体，所述箱体安装于所述柜体内，所述液体供应管与所述纯水管分别穿经柜体的一个侧壁后穿经所述箱体，所述电磁控制阀设于所述箱体内部，所述第一手动控制阀与所述第二手动控制阀分别位于所述箱体的外侧。优选的，在上述的液体分装装置中，所述液体供应管与所述箱体密封连接，所述纯水管与所述箱体密封连接。优选的，在上述的液体分装装置中，所述箱体、第一手动控制阀以及第二手动控制阀的整体下方设有一积液槽，所述积液槽的底部设有排液管。[0011]优选的，在上述的液体分装装置中，还包括泄露感测器，所述泄露感测器设置于所述积液槽的底部。优选的，在上述的液体分装装置中，还包括环境侦测器，所述环境侦测器设置于所述柜体的周围，所述环境侦测器距离地面的高度是I. 5-1. 6米优选的，在上述的液体分装装置中，所述第一手动控制阀与所述第二手动控制阀并排设置，所述柜体对应所述第一手动控制阀和所述第二手动控制阀的一侧设有活动门。优选的，在上述的液体分装装置中，所述按钮设置于柜体上。优选的，在上述的液体分装装置中，所述柜体的底部四周设有四个可收放的滚轮。优选的，在上述的液体分装装置中，所述箱体的上方设置有一负压排风管与一进气口，所述进气口处设有空气过滤装置。 本实用新型提供的液体分装装置，只要将安装有分装机构的柜体放置于便于使用的地方，将所述液体供应管的一端通过管路外接供应源，可以将远处的液体供应源中的所需液体引到所需要的地方，从而无需人力和车辆进行液体原液罐的运输，同时也避免液体原液罐在运输过程中因发生泄露而造成人员伤害和环境影响。又由于设置有外接纯水供应源的纯水管，因此，可以利用量杯等量取工具，可以进行各种浓度的液体配比，以适应不同分装需求，同时也可以使用纯水管对该柜体及分装机构进行清洗。第一手动控制阀与电磁控制阀可以实现对液体供应管进行双重的控制，以确保液体使用安全。
本实用新型的液体分装装置由以下的实施例及附图给出。图I为本实用新型一实施例的液体分装装置的结构示意图。图2为本实用新型一实施例的液体分装装置打开活动门时的结构示意图。图中，I-柜体、2-液体供应管、3-纯水管、4-第一手动控制阀、5-第二手动控制阀、6-按钮、7-箱体、8-负压排风管、9-进气口、10-积液槽、11-排液管、12-活动门、13-支撑脚、14-滚轮。
具体实施方式
下面将参照附图对本实用新型进行更详细的描述，其中表示了本实用新型的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本实用新型而仍然实现本实用新型的有利效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本实用新型的限制。为了清楚，不描述实际实施例的全部特征。在下列描述中，不详细描述公知的功能与结构，因为它们会使本实用新型由于不必要的细节而混乱。应当认为在任何实际实施例的开发中，必须作出大量实施细节以实现开发者的特定目标，例如按照有关系统或有关商业的限制，由一个实施例改变为另一个实施例。另外，应当认为这种开发工作可能是复杂与耗费时间的，但是对于本领域技术人员来说仅仅是常规工作。为使本实用新型的目的、特征更明显易懂，
以下结合附图对本实用新型的具体实施方式
作进一步的说明。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比率，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。[0025]请参阅图I和图2，其中，图I为本实用新型一实施例的液体分装装置的结构示意图，图2为本实用新型一实施例的液体分装装置打开活动门时的结构示意图。本实施例提供的液体分装装置，包括柜体I以及安装于柜体I的分装机构，所述分装机构包括液体供应管2(本实施例中是IPA原液供应管)、纯水管3、第一手动控制阀4、电磁控制阀(未图示)、第二手动控制阀5以及按钮6，所述液体供应管2的一端外接供应源(未图示)，另一端接第一手动控制阀4，所述纯水管3的一端外接纯水供应源(未图示)，另一端接第二手动控制阀5，所述电磁控制阀设置于所述液体供应管2上，所述电磁控制阀与所述按钮6电性连接。只要将安装有分装机构的柜体I放置于便于使用的地方，将所述液体供应管2的一端通过管路外接供应源，可以将远处的液体供应源中的所需液体引到所需要的地方，即可以将第一、第二手动控制阀4、5设置在便于使用的地方，从而，无需人力和车辆进行液体原液罐(本实施例中是IPA原液罐)的运输，避免液体原液罐在运输过程中因发生泄露而造成人员伤害和环境影响。另外，可以利用量杯等量取工具，接取相应量的液体及纯水，可以进行各种浓度的液体配比，以适应不同分装需求，同时也可以使用纯水管2对该柜体及分装机构进行清洗。另外，第一手动控制阀4与电磁控制阀可以实现对液体供应管进行双重的控制，以确保液体使用安全。较佳的，在本实施例的液体分装装置中，还包括一个箱体7，所述箱体7安装于所述柜体I内，所述液体供应管2与所述纯水管3分别穿经柜体I的一个侧壁后穿经所述箱体7，所述电磁控制阀设于所述箱体7内部，所述第一手动控制阀3与所述第二手动控制阀4分别位于所述箱体7的外侧。如此，一旦电磁控制阀与液体供应管2接口处发生泄露，不至于液体挥发出的有毒有害气体(本实施例中是IPA气体)直接扩散到空气中。较佳的，在本实施例的液体分装装置中，所述液体供应管2与所述箱体4密封连接，所述纯水管3与所述箱体7密封连接，从而可以进一步防止箱体7内的有毒有害气体扩散到空气中。较佳的，在本实施例的液体分装装置中，所述箱体7的上方设置有一负压排风管8与一进气口 9，所述进气口 9处设有空气过滤装置(未图示)。通过设置负压排风管8，可以将箱体7内的有毒有害气体排放到指定的地方，以便进行处理。通过设置进气口 9，可以实现箱体中的气体进行循环，一方面，干净的气体进入箱体7内，另一方面，负压排风管不断抽排箱体7内的有毒有害气体。较佳的，在本实施例的液体分装装置中，所述箱体7、第一手动控制阀4以及第二手动控制阀5的整体下方设有一积液槽10，所述积液槽10的底部设有排液管11。当操作第一、二手动控制阀4、5不慎，或者第一、二手动控制阀4、5发生故障，外流的液体和纯水可以流入积液槽10中，并通过排液管11进行排放。较佳的，在本实施例的液体分装装置中，还包括泄露感测器(未图示)，所述泄露感测器设置于所述积液槽10的底部。一旦，泄露感测器感测到液体，其可以通知远程监控室，以便及时通知操作人员进行监控，以及时排查泄露原因，避免造成人员伤害和环境影响。[0031 ] 较佳的，在本实施例的液体分装装置中，还包括环境侦测器(未图示)，所述环境侦测器设置于所述柜体I的周围。通过设置环境侦测器可以感知柜体I周围的空气中的有毒有害气体是否超标，一旦超标会及时报警，通知操作人员及时查找泄露原因，避免造成人员伤害和环境影响。[0032]较佳的，在本实施例的液体分装装置中，所述环境侦测器距离地面的高度是I. 5-1. 6米。该高度范围对应了操作人员的呼吸高度，避免操作人员受到有毒有害气体的伤害。较佳的，在本实施例的液体分装装置中，所述第一手动控制阀4与所述第二手动控制阀5并排设置，以便于操作人员进行浓度配比，提高生产效率。较佳的，在本实施例的液体分装装置中，所述柜体I对应所述第一手动控制阀4和所述第二手动控制阀5的一侧(本实例为柜体I的前侧)设有活动门12。通过增设活动门12，当不需要分装液体的时候，可以关闭活动门12，以提高室内的美观、整洁度。较佳的，在本实施例的液体分装装置中，所述按钮6设置于柜体I上，以便于操作人现场操作，提高效率。较佳的，所述柜体I的底部四周设有四个支撑脚13。所述柜体I的底部四周设有 四个可收放的滚轮14。通过设置滚轮14可以方便运输液体分装装置。综上所述，本实用新型提供的液体分装装置，只要将安装有分装机构的柜体放置于便于使用的地方，将所述液体供应管的一端通过管路外接供应源，可以将远处的液体供应源中的所需液体引到所需要的地方，从而无需人力和车辆进行液体原液罐的运输，同时也避免液体原液罐在运输过程中因发生泄露而造成人员伤害和环境影响。又由于设置有外接纯水供应源的纯水管，因此，可以利用量杯等量取工具，可以进行各种浓度的液体配比，以适应不同分装需求，同时也可以使用纯水管对该柜体及分装机构进行清洗。第一手动控制阀与电磁控制阀可以实现对液体供应管进行双重的控制，以确保液体使用安全。显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动与变型而不脱离本实用新型的精神与范围。这样，倘若本实用新型的这些修改与变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动与变型在内。
权利要求1.一种液体分装装置，其特征在于，包括柜体以及安装于所述柜体的分装机构，所述分装机构包括液体供应管、纯水管、第一手动控制阀、电磁控制阀、第二手动控制阀以及按钮，所述液体供应管的 一端外接供应源，另一端接第一手动控制阀，所述纯水管的一端外接纯水供应源，另一端接第二手动控制阀，所述电磁控制阀设置于所述液体供应管上，所述电磁控制阀与所述按钮电性连接。
2.根据权利要求I所述的液体分装装置，其特征在于，还包括一个箱体，所述箱体安装于所述柜体内，所述液体供应管与所述纯水管分别穿经柜体的一个侧壁后穿经所述箱体，所述电磁控制阀设于所述箱体内部，所述第一手动控制阀与所述第二手动控制阀分别位于所述箱体的外侧。
3.根据权利要求2所述的液体分装装置，其特征在于，所述液体供应管与所述箱体密封连接，所述纯水管与所述箱体密封连接。
4.根据权利要求2所述的液体分装装置，其特征在于，所述箱体、第一手动控制阀以及第二手动控制阀的整体下方设有一积液槽，所述积液槽的底部设有排液管。
5.根据权利要求4所述的液体分装装置，其特征在于，还包括泄露感测器，所述泄露感测器设置于所述积液槽的底部。
6.根据权利要求2所述的液体分装装置，其特征在于，还包括环境侦测器，所述环境侦测器设置于所述柜体的周围，所述环境侦测器距离地面的高度是I. 5-1. 6米。
7.根据权利要求I所述的液体分装装置，其特征在于，所述第一手动控制阀与所述第二手动控制阀并排设置，所述柜体对应所述第一手动控制阀和所述第二手动控制阀的一侧设有活动门。
8.根据权利要求I所述的液体分装装置，其特征在于，所述按钮设置于所述柜体上。
9.根据权利要求I所述的液体分装装置，其特征在于，所述柜体的底部四周设有四个可收放的滚轮。
10.根据权利要求2飞中任意一项所述的液体分装装置，其特征在于，所述箱体的上方设置有一负压排风管与一进气口，所述进气口处设有一空气过滤装置。
专利摘要本实用新型公开了一种液体分装装置，包括柜体以及安装于柜体的分装机构，分装机构包括液体供应管、纯水管、第一手动控制阀、电磁控制阀、第二手动控制阀以及按钮，液体供应管的一端外接供应源，另一端接第一手动控制阀，纯水管的一端外接纯水供应源，另一端接第二手动控制阀，电磁控制阀设置于液体供应管上，电磁控制阀与按钮电性连接。本实用新型可以将远处的液体供应源中的所需液体引到所需要的地方，从而无需人力和车辆进行液体原液罐的运输，同时也避免液体原液罐在运输过程中因发生泄露而造成人员伤害和环境影响。又由于设置有外接纯水供应源的纯水管，因此，可以利用量杯等量取工具，可以进行各种浓度的液体配比，以适应不同分装需求。
文档编号B67D7/06GK202705020SQ20122034161
公开日2013年1月30日 申请日期2012年7月13日 优先权日2012年7月13日
发明者朱江宁, 丁秀萍, 周鹏, 太双, 刁春华 申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司