一种基板承载装置及基板整齐度检测方法
【专利摘要】本发明涉及显示装置生产设备，公开了一种基板承载装置及基板整齐度检测方法。该承载装置包括；承载台；设置于承载台的支撑架，发射检测基板侧边的信号的信号发射器，该信号在检测到基板侧边后衰减；接收信号的信号接收器；控制装置，与所述信号接收器连接，用于获取信号接收器接收的检测信号以及获取信号基板与支撑架之间的相对位移信息，通过设定的对应关系来确定基板的整齐度。本发明的有益效果为：通过采用信号检测装置和控制装置来检测放置在基板承载装置内的基板的整齐度，实现了对基板放置的检测，在出现问题后，操作者能够及时得知，避免了后续工序中基板在取出时被碰损的情况，提高了基板的安全性。
【专利说明】一种基板承载装置及基板整齐度检测方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及显示装置生产设备，尤其涉及到一种基板承载装置及基板整齐度检测方法。
【背景技术】
[0002]在TFT-1XD的生产中，为了方便基板在加工时的取用，通常将一定数量的基板放到一个承载装置中，如图1所示，图1示出了现有技术中的承载装置的结构，该承载装置包括承载台10，放置在承载台10上的支撑架20，该支撑架20具有多个支撑层21，基板50放置在该支撑层21内。在使用时，通过机械手60将基板50从支撑层21内取出或将基板50放入到支撑层21内，具体的，机械手60可以在水平和垂直两个方向运动，水平方向上通过机械手60的伸展可以放到支撑层21内的基板50的下方，然后通过升降台的垂直升起把基板50放到机械手60上，在机械手60缩回时将基板50取出，将基板50放入到支撑层21内的操作与上述操作相反，在此不再详细说明。
[0003]现有技术的缺陷在于，基板通常需要经过很多道工序，如:薄膜沉积、光刻、刻蚀、剥离、二次退火等，在加工过程中，需要通过机械手多次将基板从支撑架中取出或将基板放入到支撑架内。都会造成基板在支撑架内放置的整齐度，从而造成下次取用基板时造成基板碰损。
【发明内容】
[0004]本发明提供了一种基板承载装置，能够检测放入的基板的整齐度，提闻了基板的安全性。
[0005]本发明提供的一种基板承载装置，包括:
[0006]设置于所述承载台的支撑架，所述支撑架具有多个沿高度方向排列并用于存储基板的支撑层；
[0007]设置于所述承载台或支撑架上并可相对所述支撑架水平移动的信号检测装置，所述信号检测装置包括信号发射器和信号接收器，其中，所述信号发射器和信号接收器中的任一个位于存储于所述支撑架内的多个被检测的基板的上方，另一个位于多个被检测的基板的下方，所述信号发射器发射沿高度方向检测多个基板侧边的检测信号，所述信号接收器接收所述检测信号；
[0008]控制装置，与所述信号接收器连接，用于根据信号接收器接收的检测信号获取基板与支撑架之间的相对位移信息，通过设定的对应关系来确定基板的整齐度。
[0009]在上述技术方案中，通过采用信号检测装置和控制装置来检测放置在基板承载装置内的基板的整齐度，实现了对基板放置的检测，在出现问题后，操作者能够及时得知，避免了后续工序中基板在取出时被碰损的情况，提高了基板的安全性。
[0010]优选的，所述位移信息通过所述位移信息中的最大值和最小值之间的差值与检测的基板的数量以及相邻基板的距离之间设定的对应关系来确定整齐度。通过对应关系获得整齐度，使得基板承载装置可以在盛放不同尺寸的基板时也能检测基板是否放置整齐。
[0011]优选的，所述设定的对应关系为:Ali=l-(Max(Li)-Min(Li))/D*I ;其中，Ali为基板的整齐度，I为支撑架内基板的数量，Li为基板与支撑架之间的相对位移信息，i为大于等于I且小于等于I的整数，D为相邻两个基板之间的垂直距离。
[0012]可选择的，所述信号发射器和信号接收器中的任一个滑动装配于所述支撑架的顶端，且另外一个固定于所述支撑架的底端。通过信号发射器和信号接收器中的一个滑动装配，另一个固定装配的方式来检测玻璃的整齐度。
[0013]可选择的，所述信号发射器和信号接收器中任一个固定设置于所述支撑架的顶端，且另外一个滑动装配于所述支撑架底端。通过信号发射器和信号接收器中的一个滑动装配，另一个固定装配的方式来检测玻璃的整齐度。
[0014]可选择的，所述支撑架设置于所述承载台上并可相对所述承载台滑动，所述信号发射器和所述信号接收器固定设置于所述承载台上，且所述信号发射器和信号接收器分别位于所述支撑架的上方和下方。通过信号发射器和信号接收器固定装配，支撑架移动的方式来检测玻璃的整齐度。
[0015]优选的，所述基板承载装置还包括报警器，所述报警器与所述控制装置连接，并在控制装置确定的基板整齐度超过设定条件时发出警报。使得操作者能够清晰的得到信息。
[0016]优选的，所述信号发射器为红外信号发射器，所述信号接收器为红外信号接收器。具有较佳的穿透功率。
[0017]本发明还提供了一种基板整齐度检测方法，应用上述任一种基板承载装置，包括以下步骤:
[0018]通过信号检测装置检测支撑架内多个基板的侧边并发送检测信号；
[0019]根据接收到的检测信号获取基板与支撑架之间的相对位移信息，根据设定的对应关系来确定基板的整齐度。
[0020]优选的，还包括以下步骤:在确定的基板的整齐度超过设定条件时发出报警。
[0021]优选的，所述设定的对应关系为:Ali=l-(Max(Li)-Min(Li))/D*I ;其中，Ali为基板的整齐度，I为支撑架内基板的数量，Li为基板与支撑架之间的相对位移信息，i为大于等于I且小于等于I的整数，D为相邻两个基板之间的垂直距离。
[0022]通过上述方法，可以检测放置到支撑架内的基板的整齐度，避免基板在后续取出时被碰损，提高了基板的安全性。
【专利附图】
【附图说明】
[0023]图1为现有技术中的基板承载装置的使用参考图；
[0024]图2为本发明实施例提供的基板承载装置的结构示意图；
[0025]图3为本发明实施例提供的信号接收器接收到的检测信号的示意图；
[0026]图4为本发明另一实施例提供的基板承载装置的结构示意图；
[0027]图5为本发明又一实施例提供的基板承载装置的结构示意图。
[0028]附图标记:
[0029]10-承载台 20-支撑架 21-支撑层
[0030]30-信号发射器31-信号接收器40-控制装置[0031]50-基板【具体实施方式】
[0032]为了检测基板放置到基板承载装置后的整齐度，本发明提供了一种基板承载装置，在本发明的技术方案中，通过信号检测装置检测基板的侧边，在信号接收器接收的检测信号衰减时，控制装置根据获取的位移信息以及设定的对应关系确定基板的整齐度，从而检测放置到基板承载装置内的基板的整齐度，避免了后续工序中在拿取基板时被碰损。需要说明的是，本发明实施例中的基板承载装置，承载的基板可以为玻璃基板、塑料基板、金属基板或石英基板等任何材质的基板，当然也可以为其他任何平板结构，或者任何需要边缘整齐的其他结构。为了使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，以下举实施例对本发明作进一步详细说明。
[0033]如图2所示，图2为本发明实施例提供的基板承载装置的结构示意图。
[0034]本发明实施例提供的基板承载装置包括:
[0035]承载台10 ；
[0036]设置于所述承载台10的支撑架20，所述支撑架20具有多个沿高度方向排列并用于存储基板50的支撑层21 ；
[0037]设置于所述承载台10或支撑架20上并可相对所述支撑架20水平移动的信号检测装置，所述信号检测装置包括信号发射器30和信号接收器31，其中，所述信号发射器30和信号接收器31中的任一个位于存储于所述支撑架20内的多个被检测的基板50的上方，另一个位于多个被检测的基板50的下方，所述信号发射器30发射沿高度方向检测多个基板50侧边的检测信号，所述信号接收器31接收检测信号；
[0038]控制装置40，与所述信号接收器31检测信号连接，用于根据信号接收器31接收的检测信号获取基板与支撑架20之间的相对位移信息，通过设定的对应关系来确定基板的整齐度。
[0039]在上述实施例中，基板50水平放置于支撑架20的支撑层21内，通过信号发射器30发出检测基板50侧边的检测信号，该检测信号在检测到基板50侧边后，在基板50侧边上发生散射，导致被信号接收器31接收到的检测信号强度衰减，如图3所示，接收到检测信号图像具有波谷，该波谷处即为检测信号检测到基板50侧边时的检测信号。在检测时，使信号发射器30或信号接收器31中的任一个在水平方向上与支撑架20发生相对移动，即信号发射器30或信号接收器31中的任一个相对基板50移动，从而依次扫描到玻璃的侧边，在基板50摆放整齐时，信号接收器31接收到一个衰减检测信号，当基板50摆放不整齐时，信号接收器31接收到多个衰减检测信号，并通过信号发射器30和信号接收器31中的任一个与支撑架20之间的相对移动来获取衰减检测信号，得到对应的基板50与支撑架20的相对位移信息，并通过设定的对应关系获取到基板的整齐度，在整齐度超过设定条件时，可以通过人工或机械操作的方式将基板50摆放整齐度，避免了后续工序中在拿取基板时被碰损，提高了基板的安全性。
[0040]较佳的，基板承载装置还包括报警器(图中未示出)，报警器与所述控制装置连接，并在控制装置确定的基板整齐度超过设定条件时发出警报。在检测到的整齐度超出设定的条件时发出警报。[0041]在相对位移信息对应的整齐度可以为位移信息中的最大值和最小值，设定条件为基板50在摆放时基板50侧边距离临近的支撑架20的侧壁的安全距离。当相对位移信息中的最大值和最小值均位于设定条件内时，整个基板在取出和放入时均比较安全。
[0042]或者，设定的条件为玻璃的整齐度，其中设定的对应关系为相对位移信息中的最大值和最小值之间的差值与基板的数量以及相邻基板的距离之间的对应关系，较佳的，设定的对应关系为:
[0043]Ali=1-(Max(Li)-Min(Li))/D*I ;
[0044]其中，Ali为基板50的整齐度，I为支撑架20内基板50的数量，Li为基板与支撑架20之间的相对位移信息，即基板50距离临近的支撑架20侧壁的距离，i为大于等于I且小于等于I的整数；即第一块基板50距离支撑架20侧壁的距离为LI，第二块基板50距离支撑架20侧壁的距离为L2，依此类推；D为相邻两个基板50的垂直距离。在控制装置40中输入整齐度的范围，例如整齐度介于O?0.7时满足要求。此时检测的整齐度可以为0.1,0.2,0.3,0.5,0.6等任一介于O?0.7之间的数值。当检测的支撑架20内放置的基板50的尺寸不同时，无需针对每一个尺寸的基板50设定一次数值，只需设定整齐度的范围，在检测时，采集到的信息直接使用上述公式进行判断，从而扩大了基板承载装置检测的范围，方便了基板50承载装置的使用。
[0045]通过信号检测装置和控制装置40实现了检测放置在基板50承载装置中的基板50的整齐度。避免了后续工序中，基板50在取出去时发生碰损的情况。
[0046]在检测基板50整齐度时，保证信号发射器30和信号接收器31中的至少一个可以与基板50相对运动即可，当然也可以使信号发射器30和信号接收器31同步的相对基板50运动。在实际生产中，可以采用不同的结构来达到上述要求。下面以信号发射器30和信号接收器31中的一个可以与基板50相对运动为例来对信号检测装置的安装结构进行说明。
[0047]实施例1
[0048]继续参考图2，信号发射器30和信号接收器31中的任一个滑动装配于支撑架20的顶端，且另外一个固定于支撑架20的底端。
[0049]具体的，信号发射器30滑动装配于支撑架20的顶端，且在移动过程中，其发射的检测信号能够扫描到放置的所有的基板50的侧边，信号接收器31固定安装于支撑架20的底端，并能够接收信号发射器30发射出的检测信号。或者采用信号接收器31滑动装配于支撑架20的顶端，信号发射器30固定于支撑架20的底端，其工作原理相同，下面以信号发射器30滑动装配的结构来进行说明。
[0050]信号发射器30发射在移动时发出检测信号，该检测信号随着信号发射器30的移动而扫描基板50的侧边，同时，信号接收器31接收扫描后的检测信号，在检测信号扫描到基板50侧边时，检测信号在基板50侧边上发生散射，导致信号接收器31接收到的检测信号衰减。同时，与信号接收器31连接的控制装置40记录衰减的检测信号，并获取基板与支撑架的相对位移信息，根据设定的对应关系确定的整齐度与设定条件对比，当整齐度超过设定条件时发出警报。
[0051]实施例2
[0052]如图4所示，图4示出了本发明实施例提供的基板承载装置的结构示意图。信号发射器30和信号接收器31中任一个固定设置于支撑架20的顶端，且另外一个滑动装配于支撑架20底端。
[0053]具体的，信号发射器30固定设置于支撑架20的顶端，信号接收器31滑动装配于支撑架20的底端。此时，信号发射器30发射出的检测信号能够覆盖一定的面域，被检测的基板50侧边位于该面域内。当信号接收器31滑动时，其能够接收到扫描基板50侧边后的检测信号，同时，控制装置40在检测信号衰减时，获取基板50和支撑架20之间的相对位移，并根据设定的对应关系确定基板的整齐度，在整齐度超过设定条件时发出警报。此外，还可以采用信号接收器31固定于支撑架20的顶端，信号发射器30滑动装配于支撑架20的底端，其原理与上述描述中的工作原理相同，在此不再 赘述。
[0054]实施例3
[0055]如图5所示，图5示出了本发明实施例提供的基板承载装置的结构。信号发射器30和信号接收器31固定设置于承载座，且信号发射器30和信号接收器31分别位于支撑架20的上方和下方，并在支撑架20推放到承载台10时检测基板50侧边。
[0056]具体的，信号发射器30和信号接收器31固定设置在承载台10上，且信号发射器30和信号接收器31 —个位于支撑架20的顶端，另一个位于支撑架20的底端，下面以信号发射器30位于顶端的结构进行说明，信号发射器30发射用于检测基板50侧边的检测信号，信号接收器31接收该检测信号，支撑架20放置于所述承载台10并可相对滑动，在检测时，水平推动支撑架20，从而使得基板50的侧边依次被信号发射器30和信号接收器31组成的信号检测装置检测，并通过控制装置40记录信号接收器31接收到的检测信号的强度以及位移信息，并将位移信息以及设定的对应关系确定的整齐度与设定条件对比，当整齐度超过设定条件时发出警报。
[0057]由上述几个具体实施例中可以看出，在检测基板50时，只需检测装置和支撑架20之间能够相对移动，使得信号发射器30发射出的检测信号能够扫描基板50侧边即可，不应当仅局限于上述具体描述中的具体结构，其他任一种可实现上述相对运动的结构均可应用于本发明中，如:支撑架20固定于承载台10上，信号检测装置滑动装配于承载台10上，SP信号发射器30和信号接收器31可以相对支撑架20滑动，从而实现检测信号对基板50的检测。其应用原理与上述具体实施例的原理相同，在此不再一一赘述。
[0058]在上述几个具体实施例中，信号发射器30、信号接收器31以及支撑架32之间存在相对运动，在发生相对运动时，可以通过人工操作，也可以通过驱动装置进行驱动，在选用驱动装置驱动的情况下，在实施例1中，所述驱动装置(图中未示出)驱动滑动装配在支撑架顶端的信号发射器或信号接收器滑动，在实施例2中，所述驱动装置驱动滑动装配在支撑架底端的信号发射器或信号接收器滑动。在实施例3中，驱动装置驱动支撑架滑动。
[0059]在上述几个具体实施例中，控制装置40发出的警报可以为灯光警报或声音警报中的任一种，也可以采用灯光警报和声音警报。
[0060]其中的信号发射器30为红外信号发射器，信号接收器31为红外信号接收器。能够提供良好的检测信号强度。
[0061]本发明实施例还提供了一种基板整齐度检测方法，包括以下步骤:
[0062]通过信号检测装置检测支撑架内多个基板的侧边并发送检测信号；
[0063]根据接收到的检测信号获取基板与支撑架之间的相对位移信息，并根据设定的对应关系来确定基板的整齐度。[0064]较佳的，在确定的基板的整齐度超过设定条件时发出报警。
[0065]其中，所述位移信息通过所述位移信息中的最大值和最小值之间的差值与检测的基板的数量以及相邻基板的距离之间设定的对应关系来确定整齐度。
[0066]优选的，所述设定的对应关系为:Ali=l-(Max(Li)-Min(Li))/D*I ;其中，Ali为基板的整齐度，I为支撑架内基板的数量，Li为基板与支撑架之间的相对位移信息，i为大于等于I且小于等于I的整数，D为相邻两个基板之间的垂直距离。
[0067]从上述方法中可以看出，通过检测信号检测信号检测基板的侧边，并通过控制装置中的设定条件与获取的位移信息来确定玻璃的整齐度，在整齐度超出设定条件时发出警报。提醒操作人员调整基板的放置位置。避免了基板50在后续取出的过程中被碰损，提高了基板的安全性。
[0068]显然，本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。
【权利要求】
1.一种基板承载装置，其特征在于，包括: 承载台； 设置于所述承载台的支撑架，所述支撑架具有多个沿高度方向排列并用于存储基板的支撑层； 设置于所述承载台或支撑架上并可相对所述支撑架水平移动的信号检测装置，所述信号检测装置包括信号发射器和信号接收器，其中，所述信号发射器和信号接收器中的任一个位于存储于所述支撑架内的多个被检测的基板的上方，另一个位于多个被检测的基板的下方，所述信号发射器发射沿高度方向检测多个基板侧边的检测信号，所述信号接收器接收所述检测信号； 控制装置，与所述信号接收器连接，用于根据信号接收器接收的检测信号获取基板与支撑架之间的相对位移信息，通过设定的对应关系来确定基板的整齐度。
2.如权利要求1所述的基板承载装置，其特征在于，所述设定的对应关系为:Ali=1-(Max(Li)-Min(Li))/D*I ;其中，Ali为基板的整齐度，I为支撑架内基板的数量，Li为基板与支撑架之间的相对位移信息，i为大于等于I且小于等于I的整数，D为相邻两个基板之间的垂直距离。
3.如权利要求1所述的基板承载装置，其特征在于，所述信号发射器和信号接收器中的任一个滑动装配于所述支撑架的顶端，且另外一个固定于所述支撑架的底端。
4.如权利要求1所述的基板承载装置，其特征在于，所述信号发射器和信号接收器中任一个固定设置于所述支撑架的顶端，且另外一个滑动装配于所述支撑架底端。
5.如权利要求1所述的基板承载装置，其特征在于，所述支撑架设置于所述承载台上并可相对所述承载台滑动，所述信号发射器和所述信号接收器固定设置于所述承载台上，且所述信号发射器和信号接收器分别位于所述支撑架的上方和下方。
6.如权利要求1?5任一项所述的基板承载装置，其特征在于，还包括报警器，所述报警器与所述控制装置连接，并在控制装置确定的基板整齐度超过设定条件时发出警报。
7.如权利要求1所述的基板承载装置，其特征在于，所述信号发射器为红外信号发射器，所述信号接收器为红外信号接收器。
8.一种基板整齐度检测方法，应用如权利要求1?7所述的基板承载装置，其特征在于，包括以下步骤: 通过信号检测装置检测支撑架内多个基板的侧边并发送检测信号； 根据接收到的检测信号获取基板与支撑架之间的相对位移信息并根据设定的对应关系来确定基板的整齐度。
9.如权利要求8所述的基板整齐度检测方法，其特征在于，还包括: 在确定的基板的整齐度超过设定条件时发出报警。
10.如权利要求8所述的基板整齐度检测方法，其特征在于，所述设定的对应关系为:Ali=1-(Max(Li)-Min(Li))/D*I ;其中，Ali为基板的整齐度，I为支撑架内基板的数量，Li为基板与支撑架之间的相对位移信息，i为大于等于I且小于等于I的整数，D为相邻两个基板之间的垂直距离。
【文档编号】B65G1/137GK103449086SQ201310390522
【公开日】2013年12月18日 申请日期:2013年8月30日 优先权日:2013年8月30日
【发明者】曲连杰, 郭建 申请人:北京京东方光电科技有限公司