一种半导体硅棒转运装卸装置的制作方法

文档序号:24443740发布日期:2021-03-27 02:16阅读:来源:国知局

技术特征:
1.一种半导体硅棒转运装卸装置,其特征在于,包括:移动底座(1);立柱(2),固定设置在所述移动底座(1)的顶端一侧;矩形壳(3),沿左右方向固定设置在所述立柱(2)的顶端;第一条形壳(4),所述矩形壳(3)的上下两侧前后两端均沿左右方向开设有条形孔(5),且所述第一条形壳(4)与条形孔(5)的内腔相适配插接;移动机构(6),设置在所述矩形壳(3)的内腔;抓取机构(7),设置在所述第一条形壳(4)的底端;支撑柱(8),所述移动底座(1)的顶端固定设置有若干个支撑柱(8);抱紧组件(9),设置在所述支撑柱(8)的顶端。2.根据权利要求1所述的一种半导体硅棒转运装卸装置,其特征在于:所述移动机构(6)包括:第一转轴(61),所述矩形壳(3)的内腔左右两侧前后两端均通过轴承转动设置有第一转轴(61),所述轴承的内环与所述第一转轴(61)的外壁转动连接,且所述轴承的外环固定设置在所述矩形壳(3)的内壁;履带轮(62),固定设置在所述第一转轴(61)的外壁;履带(63),位于一侧的所述履带轮(62)的外壁套接有履带(63),所述履带(63)与所述第一条形壳(4)的一侧固定连接;第一滑块(64),所述矩形壳(3)的内腔前后两侧均沿左右方向开设有第一滑槽(65),且所述第一滑槽(65)的内腔插接有第一滑块(64),且所述第一滑块(64)与所述第一条形壳(4)的外侧固定连接。3.根据权利要求2所述的一种半导体硅棒转运装卸装置,其特征在于:所述移动机构(6)还包括:矩形罩(66),固定设置在所述矩形壳(4)的顶端一侧;第一齿轮(67),所述第一转轴(61)的顶端延伸进所述矩形罩(66)的内腔并键连接有第一齿轮(67),且两个所述第一齿轮(67)相啮合;第一伺服电机(68),固定设置在所述矩形罩(66)的顶端,所述第一伺服电机(68)的输出端延伸进所述矩形罩(66)的内腔并与其中一个所述第一转轴(61)的一端通过联轴器锁紧。4.根据权利要求2所述的一种半导体硅棒转运装卸装置,其特征在于:所述第一滑槽(65)的内腔形状为燕尾槽形,且第一滑块(64)与所述第一滑槽(65)的内腔相适配插接。5.根据权利要求1所述的一种半导体硅棒转运装卸装置,其特征在于:所述抓取机构(7)包括:条形柱(71),与所述第一条形壳(4)的底端相适配插接;第二滑块(72),所述第一条形壳(4)的内腔一侧沿上下方向开设有第二滑槽(73),所述第二滑槽(73)的内腔插接有第二滑块(72),所述第二滑块(72)与所述条形柱(71)的外壁固定连接;第二条形壳(74),沿前后方向固定设置在所述第一条形壳(4)的一侧;第二伺服电机(75),固定设置在所述第二条形壳(74)的前侧;
第二转轴(76),所述第二伺服电机(75)的输出端延伸进所述第二条形壳(74)的内腔并通过联轴器锁紧有第二转轴(76),且所述第二转轴(76)的一端通过轴承与所述第二条形壳(74)的内侧转动连接;第二齿轮(77),所述第二转轴(76)的外壁前后两侧均键连接有第二齿轮(77),所述条形柱(71)的一侧沿上下方向设置有齿牙(78),且所述第二齿轮(77)的外壁延伸进所述第一条形壳(4)的内腔并与所述齿牙(78)相啮合。6.根据权利要求5所述的一种半导体硅棒转运装卸装置,其特征在于:所述抓取机构(7)还包括:第三条形壳(79),沿左右方向固定设置在所述条形柱(71)的底端,且所述第三条形壳(79)与所述条形柱(71)的内腔相通;连接柱(710),所述第三条形壳(79)的左右两侧均插接有连接柱(710);l形抓手(711),固定设置在所述连接柱(710)的外侧;气缸(712),固定设置在所述条形柱(71)的内腔顶端;连接杆(713),所述连接柱(710)的内侧转动设置有连接杆(713),且所述连接杆(713)的一端与所述气缸(712)的底端转动连接。
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