一款加热盘专用的存储货架的制作方法
【专利说明】
[0001]技术领域:本发明涉及一种货架，尤其是一款半导体镀膜设备中加热盘专用的存储货架。
[0002]【背景技术】:在现有的半导体镀膜设备中，加热盘属于关键零部件，其材质通常为铝或陶瓷。铝自身质地较软，对于硬度较高或强度较大的磕碰、摩擦，均会产生痕迹。陶瓷因加工的特点限制，在外力作用下，很容易掉渣或是出现裂纹。所以无论哪种材质的加热盘，其在运输、检验或使用等过程中，都很容易受到损伤。另外，加热盘由盘面及安装固定基座组成，二者直径相差很大，但二者作为一体，不可分离。另外，加热盘的加热线缆及热偶安装管均是从安装固定基座处伸出盘体，实现与外部的连接。该部分与盘体也为硬连接，不可拆卸。线缆表面虽有自己特有的保护层，但在长期的使用过程中，该保护层容易破损，导致内部线缆裸露。另外，线缆经过外力多次不经意的弯曲、拉扯，也容易折断。另一方面，加热盘的表面上，镶嵌有多个高出盘面的用于支撑晶圆的球或柱。出于安全考虑，目前加热盘在放置时，我们只能用加热盘的上盘面作为基底进行放置。所以，拆装时，这些用于支撑晶圆的球或柱以及定位用销等容易脱落的小部件必须先拆下来，单独放置。另外，因为高温变形及工艺过程中副产物的存在，导致部分用于支撑晶圆的球或柱在使用后不能正常取出。所以，用加热盘的上盘面作为基底进行存放时，盘面内存留的球或柱就会在加热盘的底面形成一个支点，导致整个盘面不能很好的与存储面接触，使加热盘自身会产生一定的变形，以至于加热盘盘面的平面度不合格，其使用性能失效。有时，因为临时存储空间的限制，会导致线缆的硬性折弯损伤。无论怎样，都会对加热盘产生伤害。另外，设备上拆下的加热盘因为工艺验证的需求，可能在短时间内暂不使用，过一段时间后，还会更换回去。所以如果按照返库流程执行，会比较繁琐。故需要一个临时存储的空间，来实现这些加热盘的存放。因此，从多方面考虑，我们急需一款专门货架，来实现一个或多个加热盘的临时存储或周转时的暂时存放。
[0003]
【发明内容】
:针对上述现有技术的不足，本发明结合加热盘自身的结构特点，即盘面大，安装基座细长，加热电缆易损伤等方面，设计了一款专门放置加热盘的货架，来实现一个或多个加热盘的临时存放。
[0004]为实现上述目的，本发明采用的技术方案是:一款加热盘专用的存储货架，包括货架主体和水晶软垫，货架主体是由横梁、端横梁和立柱围成的四方体，在横梁上设有支臂，水晶软垫放置在支臂上，水晶软垫上设有开口，开口的宽度小于两个支臂的间距。
[0005]因为水晶软垫自身富有弹性，无论任何材质，其都不会对加热盘造成任何损伤。同时，从加热盘的电缆部位考虑，该货架留有足够的存放空间，在整个存取过程中，不会再有硬性弯曲等损伤出现。拆装过程中，加热盘上盘面用于支撑晶圆的球或柱以及其他定位用的小部件，可以根据实际情况决定是否拆下。不需拆下时，可以连同加热盘一起直接放置在货架上。这样，对原有的结构没有任何影响，也便于下次直接使用，节省了小部件的拆装过程，缩短了更换周期。同时，该货架的其它各层可以实现普通货架的使用性能，来放置各种零部件。故该货架不单局限于加热盘的存储，从而大大提高了该货架的使用效率。【附图说明】:
[0006]图1是本发明的结构示意图。
[0007]图2是本发明的使用状态图。
[0008]图3是货架主体的结构示意图。
【具体实施方式】
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[0009]下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清晰、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
[0010]如图1-图3所示:一款加热盘专用的存储货架，包括货架主体2和水晶软垫1，货架主体2是由横梁10、端横梁14和立柱13围成的四方体，在横梁10上设有支臂11，水晶软垫I放置在支臂11上，水晶软垫I上设有开口，开口的宽度小于两个支臂11的间距。加热盘15放置在水晶软垫I上。货架主体2主要由十二根端横梁14、十一根长横梁10、二十四根支臂11、四根立柱13、四个地脚板8、五根小拉梁12通过多个相对应的型材连接件(包括直角连接件3、T型连接件5)以及T型内置螺母4和相对应的标准件7组合连接而成。每根支臂11与立柱13的端部均用专门的堵板6封堵，从而保证整体外观的完美性。考虑实际使用及安装空间的合理性，将该货架主体2设定为六层。顶层及最底层均由三根长横梁10分别与端横梁14通过多个直角连接件3、T型连接件5以及T型内置螺母4和相对应的标准件7直接连接而成。底部第二层由两根长横梁10与五根小拉梁12通过多个直角连接件3、T型连接件5以及T型内置螺母4和相对应的标准件7直接连接而成。从存放的稳固性方面考虑，为保证货架在加热盘存放后，整体重心仍位于货架中心偏下处，不会有因重心偏移导致货架出现翻到的现象。所以，中间剩余三层均为加热盘存放区，每层均由一根长横梁10与八根支臂11通过多个直角连接件3、Τ型连接件5以及T型内置螺母4和相对应的标准件7直接连接而成，每层可以放置四个加热盘。达到饱和时，该货架可以实现十二个加热盘的同时存放。水晶软垫I直接放置在长横梁10、支臂11和端横梁14所构成的平面上，每层结构相同，均有放置。放置时，加热盘的重量主要由两根支臂11和长横梁10来承担。货架主体2底部四个角均安装有辅助货架固定的地脚板8，上面设有安装孔。用户可以通过紧固螺栓，直接将货架固定在指定的区域的地面上，从而保证了货架在使用过程中的安全性。
[0011]存放时，加热盘15是上盘面冲上，水平放置，通过其下盘面与货架上的水晶软垫I直接接触。因为水晶软垫I自身富有弹性，无论任何材质，其都不会对加热盘造成任何损伤。同时，从加热盘的电缆部位考虑，该货架留有足够的存放空间，在整个存取过程中，不会再有硬性弯曲等损伤出现。拆装过程中，加热盘上盘面用于支撑晶圆的球或柱以及其他定位用的小部件，可以根据实际情况决定是否拆下。不需拆下时，可以连同加热盘一起直接放置在货架上。这样，对原有的结构没有任何影响，也便于下次直接使用，节省了小部件的拆装过程，缩短了更换周期。
【主权项】
1.一款加热盘专用的存储货架，其特征在于:包括货架主体和水晶软垫，货架主体是由横梁、端横梁和立柱围成的四方体，在横梁上设有支臂，水晶软垫放置在支臂上，水晶软垫上设有开口，开口的宽度小于两个支臂的间距。
【专利摘要】一款加热盘专用的存储货架，包括货架主体和水晶软垫，货架主体是由横梁、端横梁和立柱围成的四方体，在横梁上设有支臂，水晶软垫放置在支臂上，水晶软垫上设有开口，开口的宽度小于两个支臂的间距。因为水晶软垫自身富有弹性，无论任何材质，其都不会对加热盘造成任何损伤。同时，从加热盘的电缆部位考虑，该货架留有足够的存放空间，在整个存取过程中，不会再有硬性弯曲等损伤出现。同时，该货架的其它各层可以实现普通货架的使用性能，来放置各种零部件。故该货架不单局限于加热盘的存储，从而大大提高了该货架的使用效率。
【IPC分类】B65G1/02
【公开号】CN104891080
【申请号】CN201510202924
【发明人】吕光泉, 吴彪, 吴凤丽, 国建花
【申请人】沈阳拓荆科技有限公司
【公开日】2015年9月9日
【申请日】2015年4月24日