湿法水平链式设备传动机构的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种传动机构，具体地涉及一种湿法水平链式设备传动机构。
【背景技术】
[0002]目前，在平板显示、半导体，光伏等行业中，湿法制程中多使用水平链式设备，而对水平链式设备的传动系统的稳定性和污染控制要求相对较高，原因在于湿法制程需要非常高的洁净度。然而，传统传动系统常使用齿轮或皮带来带动输送滚轴，而齿轮跟皮带在实际应用中，会因磨损产生颗粒物，污染工艺环境。
【发明内容】
[0003]本实用新型目的是为了克服现有技术的不足而一种湿法水平链式设备传动机构。
[0004]为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是:一种湿法水平链式设备传动机构，它包括齿轮组、与所述齿轮组相连接的第一磁力轮、与所述第一磁力轮相对应设置的第二磁力轮、端部与所述第二磁力轮相连接的滚轴以及安装在所述滚轴上且间隔设置的滚轮，所述齿轮组和所述第一磁力轮安装在所述工艺槽外，所述第二磁力轮、所述滚轴以及所述滚轮安装在所述工艺槽内。
[0005]优化地，所述滚轴水平设置。
[0006]优化地，所述齿轮组包括与所述第一磁力轮相连接的第一斜齿轮、与所述第一斜齿轮相配合的传动齿轮以及与所述传动齿轮相配合的第二斜齿轮。
[0007]由于上述技术方案运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点:本实用新型湿法水平链式设备传动机构，通过在滚轴的端部和齿轮组上设置对应的第一磁力轮、第二磁力轮，这样第一磁力轮和齿轮组安装在工艺槽外，而第二磁力轮安装在工艺槽内，使得工艺槽壁板完整、传动部件设置在工艺槽外，因而不会因为磨损而产生颗粒物，从根本上杜绝了颗粒物对工艺槽内环境的污染。
【附图说明】
[0008]附图1为本实用新型湿法水平链式设备传动机构的结构示意图；
[0009]其中，1、齿轮组；11、第一斜齿轮；12、传动齿轮；13、第二斜齿轮；21、第一磁力轮；22、第二磁力轮；3、滚轴；4、滚轮；5、工艺槽。
【具体实施方式】
[0010]下面将结合附图对本实用新型优选实施方案进行详细说明:
[0011]如图1所示的湿法水平链式设备传动机构，主要包括齿轮组1、第一磁力轮21、第二磁力轮22、滚轴3和滚轮4。
[0012]其中，第一磁力轮21与齿轮组I相连接，当齿轮组I转动时同步带动第一磁力轮21转动；第二磁力轮22与第一磁力轮21相对应设置，当第一磁力轮21转动时同步带动第二磁力轮22转动；滚轴3的端部与第二磁力轮22相连，它的上面安装有多个间隔设置的滚轮4，当第二磁力轮22转动时同步带动滚轴3转动。其中，齿轮组I和第一磁力轮21安装在工艺槽5外，而第二磁力轮22、滚轴3和滚轮4安装在工艺槽5内，这样避免了传统齿轮和皮带在应用中因磨损产生颗粒物，从根本上杜绝了颗粒物对工艺槽内环境的污染。
[0013]在本实施例中，滚轴3水平设置，用于转动从而实现对玻璃或者薄膜的传送。齿轮组I包括与第一磁力轮21相连接的第一斜齿轮11、与第一斜齿轮11相配合的传动齿轮12以及与传动齿轮12相配合的第二斜齿轮13，这样利用第一斜齿轮11、传动齿轮12以及第二斜齿轮13之间的配合能够实现将水平方向上的转动转化为垂直方向上的转动。
[0014]上述实施例只为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本实用新型的内容并据以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范围，凡根据本实用新型精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
【主权项】
1.一种湿法水平链式设备传动机构，其特征在于:它包括齿轮组(I)、与所述齿轮组(I)相连接的第一磁力轮(21)、与所述第一磁力轮(21)相对应设置的第二磁力轮(22)、端部与所述第二磁力轮(22)相连接的滚轴(3)以及安装在所述滚轴(3)上且间隔设置的滚轮(4)，所述齿轮组(I)和所述第一磁力轮(21)安装在工艺槽(5)外，所述第二磁力轮(22)、所述滚轴(3)以及所述滚轮(4)安装在工艺槽(5)内。
2.根据权利要求1所述的湿法水平链式设备传动机构，其特征在于:所述滚轴(3)水平设置。
3.根据权利要求1所述的湿法水平链式设备传动机构，其特征在于:所述齿轮组(I)包括与所述第一磁力轮(21)相连接的第一斜齿轮(11)、与所述第一斜齿轮(11)相配合的传动齿轮(12)以及与所述传动齿轮(12)相配合的第二斜齿轮(13)。
【专利摘要】本实用新型涉及一种湿法水平链式设备传动机构，它包括齿轮组、与所述齿轮组相连接的第一磁力轮、与所述第一磁力轮相对应设置的第二磁力轮、端部与所述第二磁力轮相连接的滚轴以及安装在所述滚轴上且间隔设置的滚轮，所述齿轮组和所述第一磁力轮安装在所述工艺槽外，所述第二磁力轮、所述滚轴以及所述滚轮安装在所述工艺槽内。本实用新型湿法水平链式设备传动机构，通过在滚轴的端部和齿轮组上设置对应的第一磁力轮、第二磁力轮，这样第一磁力轮和齿轮组安装在工艺槽外，而第二磁力轮安装在工艺槽内，使得工艺槽壁板完整、传动部件设置在工艺槽外，因而不会因为磨损而产生颗粒物，从根本上杜绝了颗粒物对工艺槽内环境的污染。
【IPC分类】B65G13-06
【公开号】CN204384235
【申请号】CN201420845427
【发明人】施利君, 徐鸽
【申请人】苏州晶洲装备科技有限公司
【公开日】2015年6月10日
【申请日】2014年12月26日