全自动清洗机台中的多工位上下料位移载机构的制作方法
【技术领域】
[0001 ]本实用新型涉及一种全自动清洗机台中的多工位上下料位移载机构，属于移料设备领域。
【背景技术】
[0002]在半导体清洗设备中，为了适应产能的要求，保证批次产品的质量，以及提高工人效率，全自动移料机台的应用越来越多，而以前经常是单个工对应一组上料下料位，对于一些复杂路径的移料，则需要多组移料机构，成本高，耗能大，不能适应需求。
【实用新型内容】
[0003]本实用新型要解决的技术问题是:克服现有技术中的移料设备效率较低的技术问题，提供一种安装在全自动机台中的多工位上下料位移载机构，来满足整机的工艺要求。
[0004]本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:
[0005]全自动清洗机台中的多工位上下料位移载机构，包括装载位、分装位、转向位、中间缓冲位、机械手抓取位；
[0006]所述装载位与分装位之间通过滑槽A连接，转向位通过滑槽A的延展部与分装位连接；
[0007]所述中间缓冲位包括两个分缓冲位，其中一个分缓冲位通过滑槽B-1与分装位连接，另一个分缓冲位通过滑槽B-2与转向位连接；
[0008]机械手抓取位包括两个分抓取位，其中一个分抓取位通过滑槽C-1与其中一个分缓冲位连接，另一个分抓取位通过滑槽C-2与另一个分缓冲位连接；
[0009]其中滑槽A与其延展部同轴设置，滑槽B-1、滑槽B-2与滑槽C-1、滑槽C-2同轴设置，滑槽B-1与滑槽A垂直设置，滑槽B-2与滑槽A的延伸端垂直设置；
[0010]在所述滑槽A对应装载位的位置设置有平移驱动机构A，在平移驱动机构A的升缩杆上设置有托举驱动机构A，在托举驱动机构A上设置有一个托板A，托板A的承托面积小于装载位的装载面积；
[0011 ]在所述转向位上设置有一个托举驱动机构B，在所述托举驱动机构B的驱动机构杆上设置有旋转驱动机构，在旋转驱动机构的驱动机构杆上设置有托板B;
[0012]所述滑槽B-1、滑槽B-2对应中间缓冲位的位置设置有平移驱动机构C，在平移驱动机构C的升缩杆端部上设置有托举驱动机构D，托举驱动机构D的升缩杆端部分别对应两个分缓冲位设置有托板C-1和托板C-2，平移驱动机构C的移动轴线与滑槽B-1、滑槽B-2平行；
[0013]所述滑槽C-1、滑槽C-2对应各机械手抓取位的位置设置有平移驱动机构B，在平行驱动机构B的升缩杆端部上设置有托举驱动机构C，托举驱动机构C的升缩杆端部分别对应两个分抓取位分别设置有托板D-1和托板D-2，平移驱动机构B的轴线与滑槽C-1、滑槽C-2平行。
[0014]作为本实用新型的进一步创新，所述旋转驱动机构的旋转角度为180°。
[0015]作为本实用新型的进一步创新，平移驱动机构C和平移驱动机构B为一体结构，所述托举驱动机构D和托举驱动机构C均位于同一个升缩杆端部上，所述托板C-1、托板C-2、托板D-1、托板D-1同步固定。
[0016]作为本实用新型的进一步创新，所述各驱动机构均为气缸。
[0017]作为本实用新型的进一步创新，在所述各托举驱动机构的升缩杆端部上还设置有用于检测各托板承重力的压力传感器。
[0018]本实用新型的有益效果是:
[0019]1、本实用新型通过在一个平台上安装实现各工步的物料运输设备，相比于传统的多设备传输，本实用新型不容易发生摆放基准的改变，缩小了设备的体积，提高了运输的效率和精准度。
[0020]2、气缸机构推动力大，而且对于定行程的传动而言，气缸速度快，准确度高，故障率低。
【附图说明】
[0021]下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
[0022]图1是本实用新型的工位不意图；
[0023]图2是本实用新型花篮托板的不意图。
【具体实施方式】
[0024]现在结合附图对本实用新型作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本实用新型的基本结构，因此其仅显示与本实用新型有关的构成。
[0025]如图1?2所示，本实用新型为全自动清洗机台中的多工位上下料位移载机构，其特征是:包括装载位、分装位、转向位、中间缓冲位、机械手抓取位；
[0026]所述装载位与分装位之间通过滑槽A连接，转向位通过滑槽A的延展部与分装位连接；
[0027]所述中间缓冲位包括两个分缓冲位，其中一个分缓冲位通过滑槽B-1与分装位连接，另一个分缓冲位通过滑槽B-2与转向位连接；
[0028]机械手抓取位包括两个分抓取位，其中一个分抓取位通过滑槽C-1与其中一个分缓冲位连接，另一个分抓取位通过滑槽C-2与另一个分缓冲位连接；
[0029]其中滑槽A与其延展部同轴设置，滑槽B-1、滑槽B-2与滑槽C-1、滑槽C-2同轴设置，滑槽B-1与滑槽A垂直设置，滑槽B-2与滑槽A的延伸端垂直设置；
[0030]在所述滑槽A对应装载位的位置设置有平移气缸A，在平移气缸A的活塞杆上设置有托举气缸A，在托举气缸A上设置有一个托板A，托板A的承托面积小于装载位的装载面积；
[0031]在所述转向位上设置有一个托举气缸B，在所述托举气缸B的气缸杆上设置有旋转气缸，所述旋转气缸的旋转角度为180°，在旋转气缸的气缸杆上设置有托板B;
[0032]所述滑槽C-1、滑槽C-2对应各机械手抓取位的位置设置有平移气缸B，在平行气缸B的活塞杆端部上设置有托举气缸C，托举气缸C的活塞杆端部分别对应两个分抓取位分别设置有托板D-1和托板D-2，平移气缸B的轴线与滑槽C-1、滑槽C-2平行；
[0033]在平移气缸B的活塞杆端部上还设置有托举气缸D，托举气缸D的活塞杆端部分别对应两个分缓冲位设置有托板C-1和托板c-2，平移气缸B的移动轴线与滑槽B-1、滑槽B-2平行；
[0034]其中托举气缸D和托举气缸C之间的间距等于滑槽C-1或滑槽C-2的长度，滑槽C-1或滑槽C-2的长度同时也等于滑槽B-1或滑槽B-1。
[0035]设两个花篮要移到分抓取位5-1和分抓取位5-2，需先保证分装位和转向位要都有花篮，才可以运行托板C和托板D，且所有托板都在下降的位置，:
[0036]先将第一个花篮放在装载位，托板A上升托起花篮后，平移到转向位，然后托板A下降返回到装载位，花篮落在转向位上，B托板上升托起花篮后旋转180度，然后下降；第一个花篮已完成转向放在转向位上;再将第二个花篮放在装载位，托板A上升托起花篮后，平移到分装位，然后托板A下降返回到装载位，花篮落在分装位上;托板C平移到分装位，同时也到转向位，上升托起两个花篮后，平移到中间缓冲位，然后托板C下降返回到分装位，两花篮落在中间缓冲位上，这时换托板D上升托起两个花篮后，平移到机械手抓取位，然后托板D下降，两花篮落在机械手抓取位，动作结束。
[0037]以上述依据本实用新型的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项实用新型技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项实用新型的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。
【主权项】
1.全自动清洗机台中的多工位上下料位移载机构，其特征是:包括装载位、分装位、转向位、中间缓冲位、机械手抓取位； 所述装载位与分装位之间通过滑槽A连接，转向位通过滑槽A的延展部与分装位连接； 所述中间缓冲位包括两个分缓冲位，其中一个分缓冲位通过滑槽B-1与分装位连接，另一个分缓冲位通过滑槽B-2与转向位连接； 机械手抓取位包括两个分抓取位，其中一个分抓取位通过滑槽C-1与其中一个分缓冲位连接，另一个分抓取位通过滑槽C-2与另一个分缓冲位连接； 其中滑槽A与其延展部同轴设置，滑槽B-1、滑槽B-2与滑槽C-1、滑槽C-2同轴设置，滑槽B-1与滑槽A垂直设置，滑槽B-2与滑槽A的延伸端垂直设置； 在所述滑槽A对应装载位的位置设置有平移驱动机构A，在平移驱动机构A的升缩杆上设置有托举驱动机构A，在托举驱动机构A上设置有一个托板A，托板A的承托面积小于装载位的装载面积； 在所述转向位上设置有一个托举驱动机构B，在所述托举驱动机构B的驱动机构杆上设置有旋转驱动机构，在旋转驱动机构的驱动机构杆上设置有托板B; 所述滑槽B-1、滑槽B-2对应中间缓冲位的位置设置有平移驱动机构C，在平移驱动机构C的升缩杆端部上设置有托举驱动机构D，托举驱动机构D的升缩杆端部分别对应两个分缓冲位设置有托板C-1和托板C-2，平移驱动机构C的移动轴线与滑槽B-1、滑槽B-2平行； 所述滑槽C-1、滑槽C-2对应各机械手抓取位的位置设置有平移驱动机构B，在平行驱动机构B的升缩杆端部上设置有托举驱动机构C，托举驱动机构C的升缩杆端部分别对应两个分抓取位分别设置有托板D-1和托板D-2，平移驱动机构B的轴线与滑槽C-1、滑槽C-2平行。2.如权利要求1所述的全自动清洗机台中的多工位上下料位移载机构，其特征是:所述旋转驱动机构的旋转角度为180°。3.如权利要求1所述的全自动清洗机台中的多工位上下料位移载机构，其特征是:平移驱动机构C和平移驱动机构B为一体结构，所述托举驱动机构D和托举驱动机构C均位于同一个升缩杆端部上，所述托板C-1、托板C-2、托板D-1、托板D-1同步固定。4.如权利要求1所述的全自动清洗机台中的多工位上下料位移载机构，其特征是:所述各驱动机构均为气缸。5.如权利要求1所述的全自动清洗机台中的多工位上下料位移载机构，其特征是:在所述各托举驱动机构的升缩杆端部上还设置有用于检测各托板承重力的压力传感器。
【专利摘要】本实用新型涉及全自动清洗机台中的多工位上下料位移载机构，装载位与分装位之间通过滑槽连接，转向位通过滑槽与分装位连接；中间缓冲位通过两个滑槽与转向位、分装位连接；机械手抓取位通过两个滑槽与中间缓冲位连接；在滑槽A对应装载位的位置设有气缸A，在气缸A的升缩杆上设有托举驱动机构A，在托举驱动机构A上设有托板A；在转向位上设有托举驱动机构B，在托举驱动机构B上设有旋转驱动机构，在旋转驱动机构上设有托板B；缓冲位设有气缸C，在气缸C上设有托举驱动机构D，托举驱动机构D设有两个托举板C；机械手抓取位位置设有气缸B，在平行驱动机构B上设有托举驱动机构C，托举驱动机构C的与两个托板D连接。
【IPC分类】B65G47/90
【公开号】CN205274658
【申请号】CN201520644864
【发明人】卡尔.罗伯特.休斯特
【申请人】硅密（常州）电子设备有限公司
【公开日】2016年6月1日
【申请日】2015年8月25日