专利名称：悬臂石英炉的制作方法
技术领域：
悬臂石英炉
技术领域：
本实用新型涉及半导体领域，尤其涉及一种悬臂石英炉。背景技术：
原来的悬臂石英炉的炉管管口是平滑设计，也没有相应的炉帽配套。在清洗炉管时由于外壁不可以接触酸液，因此，只能用保鲜膜来密闭管口。然而，采用保鲜膜密封悬臂石英炉的炉管，密封性较差，容易引入沾污，造成对产品质量的影响。
实用新型内容基于此，有必要提供一种管口密封性较好的悬臂石英炉。一种悬臂石英炉，包括炉管和炉帽，所述炉帽与所述炉管的管口套接在一起，所述管口和所述炉帽的接触面均为磨砂面，所述炉帽侧壁上开设有炉嘴，所述炉帽通过所述炉嘴与外界连通。优选的，所述管口为圆台形，所述炉帽与所述管口适配。优选的，所述管口的远离开口端向外凸起。优选的，所述炉帽套设在所述管口的外侧。优选的，所述炉帽收容在所述管口的内侧。这种悬臂石英炉，通过增加的炉帽套设在炉口处，炉帽和炉口的接触面均采用磨砂面，从而使得炉口密封性较好。
图1为一实施方式的悬臂石英炉的炉管的示意图；图2为一实施方式的悬臂石英炉的炉帽的示意图。
具体实施方式
以下结合附图和实施例对悬臂石英炉做进一步的解释说明。如图1和图2所示，一实施方式的悬臂石英炉，包括炉管10和炉帽20。炉管10的管口 12可以与炉帽20套接在一起。管口 12与炉帽20的接触面14、22 均为磨砂面，当炉帽20套接在管口 12上时，可以将管口 12很好的密封，炉口 12密封性较好。炉帽20侧壁上开设有炉嘴24，炉帽20通过炉嘴M与外界连通。管口 12远离开口端16向外凸起。管口 12为圆台形，炉帽20与管口 12适配。因此，炉帽20开口端也为圆台形，炉帽20开口的远离开口端沈向外凸起。本实施方式中，炉口 12沿炉管10的开口方向逐渐缩小，从而炉帽20沿炉帽20的开口方向逐渐增大。炉帽20套接在炉口 12外侧，炉帽20的内表面22以及炉口 12的外表面14为接触面，均为磨砂面。在其他的实施方式中，也可以选择炉口沿炉管的开口方向逐渐增大，炉帽沿炉帽的开口方向逐渐缩小，从而炉帽收容在炉口内侧。这样，炉帽的外表面和炉口的内表面为接触面，均采用磨砂面。这种悬臂石英炉，通过增加的炉帽20套设在炉口 12处，炉帽20和炉口 12接触面 14、22均采用磨砂面，从而使得炉口 12密封性较好。这样，在清洗炉管10时外壁不会接触到酸液，也不会因为炉口 12密封性差而引入沾污，产品质量得到保证。以上所述实施例仅表达了本实用新型的一种或几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。
权利要求1.一种悬臂石英炉，其特征在于，包括炉管和炉帽，所述炉帽与所述炉管的管口套接在一起，所述管口和所述炉帽的接触面均为磨砂面，所述炉帽侧壁上开设有炉嘴，所述炉帽通过所述炉嘴与外界连通。
2.如权利要求1所述的悬臂石英炉，其特征在于，所述管口为圆台形，所述炉帽与所述管口适配。
3.如权利要求2所述的悬臂石英炉，其特征在于，所述管口的远离开口端向外凸起。
4.如权利要求1 3所述的悬臂石英炉，其特征在于，所述炉帽套设在所述管口的外侧。
5.如权利要求1 3所述的悬臂石英炉，其特征在于，所述炉帽收容在所述管口的内侧。
专利摘要本实用新型公开了一种悬臂石英炉，包括炉管和炉帽，所述炉帽与所述炉管的管口套接在一起，所述管口和所述炉帽的接触面均为磨砂面，所述炉帽侧壁上开设有炉嘴，所述炉帽通过所述炉嘴与外界连通。这种悬臂石英炉，通过增加的炉帽套设在炉口处，炉帽和炉口的接触面均采用磨砂面，从而使得炉口密封性较好。
文档编号F27B17/00GK202221232SQ201120322988
公开日2012年5月16日 申请日期2011年8月30日 优先权日2011年8月30日
发明者刘波, 温晓鑫 申请人:深圳深爱半导体股份有限公司