专利名称：多室型热处理装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及多室型热处理装置。本申请基于2010年7月2日在日本提出的特愿2010 - 151563号主张优先权，这里引用其内容。
背景技术：
以往，在对作为被处理物的金属零件进行淬火等处理时，使用具有多个处理室的多室型热处理装置，所述多个处理室包括热处理室(参照专利文献I)。该多室型热处理装置一般作为处理室而具有将被处理物加热的加热室、及将由加热室加热后的被处理物冷却的冷却室等。专利文献1:日本特开平11 - 153386号公报。
发明内容
以往，作为被处理物的冷却方法，一般使用气体冷却和油冷却。气体冷却是通过对被处理物喷吹冷却气体进行冷却的方法，因为能够容易地调节冷却气体的喷吹量及其分布，所以是冷却控制性优良的方法。油冷却是通过将被处理物相对于冷却油浸溃来冷却的方法，由于被处理物与冷却油的热传递效率较高，所以是冷却效率较高的方法。但是，气体冷却由于被处理物与冷却气体的热传递率较低，所以有冷却效率不高的问题。此外,油冷却因被处理物的整体浸溃在冷却油中而难以进行细致的冷却速度的调节，所以有冷却控制性不高的问题。因为上述理由，近年来，为了同时实现被处理物的冷却效率和冷却控制性，提出了在冷却室中通过液体粒子的潜热进行被处理物的冷却的方法。在通过液体粒子的潜热将被处理物冷却的情况下，向冷却室填充或喷出液体粒子，使液体粒子相对于被处理物附着，从被处理物夺去液体粒子气化时的潜热。结果，被处理物被冷却。 在上述多室型热处理装置中，在采用通过液体粒子的潜热将被处理物冷却的方法的情况下，需要向多室型热处理装置具备的冷却室中填充或喷出液体粒子。但是，在多室型热处理装置中，如果向冷却室填充或喷出液体粒子，则当然液体粒子也附着到被处理物以外的冷却室的内壁等上。结果，附着在被处理物以外的液体粒子因为附着区域的温度比被处理物低，所以没有气化而残留。如果在冷却室内残留没有气化的液体粒子，则在冷却室与其他处理室之间进行被处理物的交接时，液体粒子或液体粒子凝聚成的液体(即冷却液)将其他处理室污染。因而，也有随着处理室间的被处理物的交接、多室型热处理装置具备的全部的处理室被冷却液污染的情况。例如，在多室型热处理装置具备的加热室被冷却液污染的情况下，有起因于加热温度的下降而在被处理物上形成氧化膜、被处理物被意外着色的情况。
本发明的目的是在多室型热处理装置中防止冷却室以外的其他处理室被冷却液污染。本发明作为用来解决上述课题的手段而采用以下的结构。有关本发明的多室型热处理装置，是具备包括热处理室的多个处理室的多室型热处理装置，具备冷却室，是通过液体粒子的潜热进行被处理物的冷却的上述热处理室；其他处理室，与上述冷却室不同；干燥装置，进行上述冷却室的干燥。此外，也可以是，上述干燥装置具备对上述冷却室内供给热风的热风供给装置。此外，也可以是，上述干燥装置具备冷却气体供给装置，所述冷却气体供给装置将能够在上述被处理物的冷却中使用的冷却气体向上述冷却室内送风而进行干燥。此外，也可以是，具备向上述冷却室内喷雾上述液体粒子的喷嘴、和向上述喷嘴导引作为液体粒子的冷却液的集管；上述冷却气体供给装置通过上述喷嘴及上述集管将上述冷却气体向上述冷却室内送风。此外，也可以是，作为与上述冷却室不同的其他处理室，具备进行上述被处理物的加热处理的加热室。此外，也可以是，作为与上述冷却室不同的其他处理室，具备配置在上述加热室与上述冷却室之间的中间输送室。此外，也可以是，作为与上述冷却室不同的其他处理室，具备进行对上述被处理物的等离子处理的等离子处理室。此外，也可以是，具备电极，所述电极固定配置在上述等离子处理室的内部，并且当上述被处理物被运入到上述等离子处理室的内部时与载置上述被处理物的导电性托盘抵接。此外，也可以是，连接的上述处理室彼此在高度方向上配置；具备在连接的上述处理室间进行上述被处理物的交接的升降装置。此外，也可以是，上述热风供给装置能够在回火处理中使用，所述回火处理通过对载置有上述被处理物的上述冷却室内供给热风来进行。根据本发明，通过干燥装置进行冷却室的干燥。因而，通过在冷却室与其他处理室之间的被处理物的交接之前进行冷却室的干燥，残留在冷却室内的冷却液(包括液体粒子及上述液体粒子凝聚成的液体)蒸发，能够防止上述冷却液流入到其他处理室中。因而，根据本发明，在多室型热处理装置中，能够防止冷却室以外的其他处理室被冷却液污染。
图1是表示本发明的一实施方式的多室型热处理装置的概略结构的俯视图。图2是图1的A — A线剖视图。图3是图1的B— B线剖视图。图4是本发明的一实施方式的多室型热处理装置的功能框图。图5是本发明的一实施方式的多室型热处理装置的变形例具备的等离子处理室的剖视图。
具体实施例方式以下，参照附图，对有关本发明的多室型热处理装置的一实施方式进行说明。另夕卜，在以下的附图中，为使各部件成为能够认识的大小，适当变更了各部件的缩尺。图1是表示本实施方式的多室型热处理装置SI的概略结构的俯视图。图2是图1的A — A线剖视图。图3是图1的B — B线剖视图。此外，图4是本实施方式的多室型热处理装置SI的功能框图。另外，在图1 图3中，将图4所示的构成元件的一部分省略，在图4中，将图1 图3所示的构成元件的一部分省略。在图3中，将后述的冷却室3的图示省略。在图1及图3中，表示后述的上盖6被关闭的状态。此外，在图2中，表示后述的上盖6上升的状态。如图1及图4所示，本实施方式的多室型热处理装置SI是用来对作为金属零件的被处理物X进行淬火处理的热处理装置。多室型热处理装置Si具备中间输送室I (处理室)、加热室2 (处理室)、和冷却室3 (处理室)。中间输送室I配置在加热室2与冷却室3之间，是用来在加热室2与冷却室3之间输送被处理物X的腔室。中间输送室I具有中央室Ia和加热用升降室lb。另外，中间输送室I进行将被处理物X输送的处理。即，中间输送室I作为本发明的处理室之一发挥功倉泛。中央室Ia如图1所示，形状设定为正八边形，是由本实施方式的多室型热处理装置SI处理的全部的被处理物X通过的腔室。中央室Ia具备8个侧壁Ial la8。在作为侧壁Ial la8中的I个的侧壁Ial上，设有作为向本实施方式的多室型热处理装置SI的出入口的送入送出门4。被处理物X经由送入送出门4被送入到中央室Ia中，此外，经由送入送出门4被从中央室Ia送出。此外，中央室Ia如图1所示那样构成为，能够对侧壁Ia2、la4及la7安装加热用升降室lb。此外，中央室Ia构成为，能够对侧壁Ia3、la6及la8安装推压装置5。在本实施方式的多室型热处理装置SI中，对于侧壁la2及la7安装有加热用升降室lb。此外，对于与加热用升降室Ib对置的侧壁la3及la6安装有推压装置5。推压装置5通过推压载置被处理物X的托盘T，沿着设置在中间输送室I的内部的轨道，将被处理物X向水平方向前方推出而输送。中央室Ia可相对于地板部从下方安装冷却室3而构成，地板部的中央部设有从中央室Ia (即中间输送室I)向冷却室3连通的开口。此外，上述开口能够通过可开闭的上盖6封闭。S卩，中间输送室I和冷却室3通过将上盖6封闭而被隔离。在中央室Ia的内部，如图1及图3所示，用来将上盖6升降的上盖升降装置7设置在不与推压装置5干涉的位置上。此外，在上盖6的上表面上，如图2及图3所示，设有能够载置托盘T的载置台8，在上盖6被封闭的情况下能够在中央室Ia中收容被处理物X而构成。加热用升降室Ib是收容接着要从中间输送室I向加热室2送入的被处理物X、或者从加热室2送出到中间输送室I中的被处理物X的腔室。加热用升降室Ib能够收容加热室2的可开闭的地板部和设置在上述地板部上的载置台10，连同载置台10收容被处理物X。 如图2所示，在加热用升降室Ib的下方，设置有将被处理物X升降的升降装置9。被处理物X和载置台10 —起，由上述升降装置9使被处理物X和载置台10 —起在加热用升降室Ib内升降而输送。此外，如图1所示，在加热用升降室Ib的各自中，设有推压装置5，能够通过推压装置5将被处理物X从加热用升降室Ib向中央室Ia输送。如图4所示，对于中间输送室1，连接着用来向中间输送室I的内部供给气体环境形成气体的气体供给装置11。气体供给装置11作为气体环境形成气体而将氮气向中间输送室I供给。此外，如图4所示，气体供给装置11除了中间输送室I以外还与冷却室3连接，向冷却室3也供给气体环境形成气体。进而，如图4所示，对于中间输送室1，连接着用来将中间输送室I的内部抽真空的中间输送室用真空泵12。加热室2是进行被处理物X的加热处理的圆筒形状的腔室，设置在各加热用升降室Ib的上方。即，本实施方式的多室型热处理装置SI具备两个加热室2。另外，加热室2是对被处理物X进行加热处理这样的处理(热处理)的本发明的热处理室。即，加热室2相当于本发明中的与冷却室不同的其他处理室。在各加热室2中，设置有加热器13，通过加热器13发热，将被处理物X加热处理。另外，作为加热器13，可以使用以镍铬(Ni — Cr)、钥(Mo)或石墨为发热体的电热加热器、或通过高频电力进行加热的加热器等。如图4所示，在各加热室2上，连接着用来对加热室2的内部供给气体环境形成气体的气体供给装置14。气体供给装置14作为气体环境形成气体，例如将氮气及乙炔气体向加热室2供
5 口 ο进而，如图4所示，在加热室2上，连接着用来将加热室2的内部抽真空的加热室
用真空泵15。冷却室3是通过作为液体粒子的雾的潜热进行被处理物的冷却的热处理室，如上述那样连接在中间输送室I的中央室Ia的下方。在冷却室3的内部，设置有向冷却室3内喷雾的多个喷嘴16、和向多个喷嘴16导引作为雾的冷却液的多个集管17。在冷却室3上，如图4所示，连接着从冷却室3将冷却液回收、并将回收的冷却液再次冷却而向集管17供给的冷却液回收供给装置18。冷却液回收供给装置18如图4所示，具备将从冷却室3回收的冷却液积存的冷却液箱18a、将积存在冷却液箱18a中的冷却液向集管17压送的冷却液泵18b、和将由冷却液泵18b压送的冷却液冷却的热交换器18c。在本实施方式的多室型热处理装置SI中，在冷却室3上连接着用来进行冷却室3的干燥的热风供给装置19 (干燥装置)。热风供给装置19通过向冷却室3内供给热风，进行冷却室3内的干燥。此外，热风供给装置19与集管17连接，通过集管17及喷嘴16将热风向冷却室3内供给。另外，作为通过热风供给装置19成为热风的气体，可以使用空气或氮气等惰性气体。此外，热风的温度也取决于在冷却室3中使用的冷却液的种类、冷却室3的压力等，但在冷却液是水的情况下，优选的是约110°C 120°C。上述温度范围是在大气压下水能够蒸汽化(被从被处理物X除去)的温度范围，并且是能够减轻向设在上盖6或开口等上的密封件的负担的温度范围。在冷却室3上，如图4所示，连接着用来将冷却室3的内部抽真空的冷却室用真空泵20。进而，在冷却室3上，在冷却室3内连接着冷却风扇21。即，冷却室3构成为，也能够通过将气体环境形成气体从气体供给装置11向冷却室3内供给、驱动冷却风扇21而使冷却室3内的气体环境形成气体经由热交换器(是与热交换器18c不同的热交换器，在图4中没有图示)、集管17及喷嘴16循环，将被处理物X进行气体冷却。在本实施方式的多室型热处理装置SI中，气体供给装置11通过将能够用于被处理物X的冷却的冷却气体向冷却室3内送风，能够将冷却室3内干燥。S卩，在本实施方式的多室型热处理装置SI中，气体供给装置11能够作为本发明的冷却气体供给装置使用、也作为干燥装置发挥功能。另外，在使气体供给装置11作为干燥装置发挥功能的情况下，并不一定需要由热交换器18C进行的气体环境形成气体的冷却。另外，在本实施方式的多室型热处理装置SI中，气体供给装置11与集管17连接，通过集管17及喷嘴16将作为冷却气体的气体环境形成气体向冷却室3内送风。此外，在冷却室 3的内部，如图2所示，设置有能够连同托盘T载置被处理物X的载置台22，在冷却室3的下方设置有能够将载置台22升降的升降装置23。升降装置23在上述上盖6被开放的情况下，在中间输送室I与冷却室3之间进行被处理物X的交接。此外，升降装置23能够将载置台22上升到中间输送室I的中央室Ia内部。另外，在本实施方式的多室型热处理装置SI中，由于在冷却室3中使用液体(冷却液)，所以在上述液体最容易供给及排出的下方配置有冷却室3。如图2所示，在冷却室3的上方连接着中间输送室1，在中间输送室I的上方连接着加热室2。被处理物X的交接在冷却室3与中间输送室I之间及加热室2与中间输送室I之间使用升降装置9及23进行。即，在本实施方式的多室型热处理装置SI中，连接的处理室(中间输送室1、加热室2及冷却室3)彼此在高度方向上配置，被处理物X的交接在连接的处理室间由升降装置9及23进行。接着，对本实施方式的多室型热处理装置SI的淬火动作的一例进行说明。另外，本实施方式的多室型热处理装置Si具备未图示的控制装置，以下的动作主要是控制装置为主体进行的。首先，将设在中间输送室I的中央室Ia的侧壁Ial上的送入送出门4开放。向中间输送室I的中央室Ia送入载置在托盘T上的被处理物X。在将送入送出门4封闭后，将中间输送室I通过中间输送室用真空泵12抽真空。结果,将气体环境形成气体通过气体供给装置11向中间输送室I内供给。如果中间输送室I内的气体环境形成完成，则将被处理物X向预先决定的加热室2输送。
在中央室Ia的侧壁la2上安装有加热用升降室lb，例如，在将被处理物X输送到连接在加热用升降室Ib上的加热室2的情况下，将被处理物X使用安装在侧壁la6上的推压装置5将被处理物X连同托盘T推出，输送到加热用升降室lb。在加热用升降室Ib中，在将被处理物X送入之前，通过升降装置9将加热室2内的载置台10下降而待机。将由推压装置5推出的被处理物X配置到载置台10上。然后，将载置台10上的被处理物X通过升降装置9上升，由此输送到加热室2。加热室2预先被加热室用真空泵15抽真空，并由气体供给装置14供给气体环境形成气体。如果由升降装置9将被处理物X向加热室2送入，则将被处理物X通过加热器13加热处理。另外，在一个加热室2中进行被处理物X的加热处理的期间中，另一个加热室2被密闭。因而，在另一个加热室2空闲的情况下，在一个加热室2中将被处理物X加热处理的期间中，能够向另一个加热室2送入其他被处理物X。如果加热室2中的加热处理完成，则将收容在加热室2中的被处理物X通过升降装置9再次下降到中间输送室I的加热用升降室lb。将下降到加热用升降室Ib的被处理物X连同托盘T通过推压装置5输送到中央室Ia的中央。在中间输送室I中，在被从加热室2交接被处理物X之前，将上盖6通过上盖升降装置7上升。进而，将通过升降装置23上升的载置台22配置到打开的开口中。因而，将下降到加热用升降室Ib的被处理物X通过输送到中央室Ia的中央而输送到载置台22上。如果将被处理物X输送到载置台22上，则通过升降装置23将载置台22下降，将被处理物X输送到冷却室3内，再将上盖6封闭。冷却室3预先被冷却室用真空泵20抽真空，并且被从气体供给装置11供给气体环境形成气体。如果通过升降装置23将被处理物X送入到冷却室3中，则进行被处理物X的冷却处理。具体而言，通过由冷却液回收供给装置18向集管17供给冷却液、将该冷却液从喷嘴16向冷却室3内喷雾，则成为在冷却室3内填充着雾的状态。填充在冷却室3内的雾附着到被处理物X上,通过雾的潜热将被处理物X冷却。另外，在一个冷却室3中进行被处理物X的冷却处理的期间中，另一个冷却室3被密闭。因而，在冷却室3中将被处理物X冷却处理的期间中，能够向空闲的加热室2送入其他被处理物X。此外，也可以除了通过雾的冷却以外、或者代替通过雾的冷却，通过将冷却气体向被处理物X喷吹,进行将被处理物X冷却的气体冷却。在此情况下，通过从气体供给装置11将气体环境形成气体向冷却室3内供给、驱动冷却风扇21并用热交换器(是与热交换器18c不同的热交换器，在图4中没有图示)将气体环境形成气体冷却，经由集管17及喷嘴16向被处理物X喷吹冷却气体而进行冷却。在本实施方式的多室型热处理装置SI中，如果在冷却室3中被处理物X的冷却完成，则在将冷却室3开放到大气压中后，由热风供给装置19将热风向冷却室3内供给，由此将冷却室3干燥。此外，将来自热风供给装置19的热风通过最难以干燥的集管17及喷嘴16向冷却室3内供给。因而，冷却室3内的冷却液可靠地蒸发，可靠地进行冷却室3内的干燥。另外，也可以除了通过热风供给装置19进行的冷却室3的干燥处理以外、或者代替上述干燥处理，通过从气体供给装置11经过集管17及喷嘴16将气体环境形成气体(能够用于被处理物X的冷却的冷却气体)向冷却室3内送风，进行冷却室3的干燥。在进行上述冷却室3的干燥后，通过由上盖升降装置7将上盖6上升并由升降装置23将载置台22上升到中间输送室I内，将冷却处理完成的被处理物X向中间输送室I输送。然后，从送入送出门4将加热处理及冷却处理完成、淬火处理完成的被处理物X向本实施方式的多室型热处理装置Si的外部送出。根据上述本实施方式的多室型热处理装置SI，冷却室3的干燥在从冷却室3向中间输送室I交接被处理物X之前进行。因而，根据本实施方式的多室型热处理装置Si，在从冷却室3向中间输送室I交接被处理物X之前，残留在冷却室3内的冷却液(包括雾及上述雾凝聚成的液体)蒸发，能够防止上述冷却液流入到中间输送室I中。因而，根据本实施方式的多室型热处理装置SI，能够防止冷却室3以外的其他处理室(中间输送室I及加热室2)被冷却液污染。此外，在本实施方式的多室型热处理装置SI中，采用了热风供给装置19作为本发明的干燥装置发挥功能的结构，即本发明的干燥装置具备热风供给装置19的结构。根据采用上述结构的本实施方式的多室型热处理装置SI，将冷却室3内通过暴露在热风中而干燥。因而，能够干燥到冷却室3的各个角落，能够更可靠地进行冷却室3的干燥。另外，由冷却室3冷却后的被处理物X成为所谓的淬火处理完成的状态。通过该淬火处理在被处理物X中形成的组织(马氏体)是不稳定的组织。因此，如果将淬火处理完成的被处理物X在常温下放置，则有发生烧裂等的情况。因而，通常需要对淬火处理完成的被处理物X然后用别的装置进行再次以低温加热的回火处理。另一方面，本实施方式的多室型热处理装置SI具备热风供给装置19，在冷却室3中的被处理物X的冷却后，通过向冷却室3供给热风来进行冷却室3内的干燥。在此期间中，载置在冷却室3中的被处理物X被暴露在热风中。通过将被处理物X暴露在从热风供给装置19供给的热风中，实质地将被处理物X加热而进行上述回火处理。在本实施方式的多室型热处理装置SI中，热风供给装置19在被处理物X的回火处理中也能够使用。即，能够在同一装置中与对被处理物X的淬火处理一起进行回火处理。此外，在本实施方式的多室型热处理装置SI中，采用气体供给装置11 (冷却气体供给装置)作为本发明的干燥装置发挥功能的结构，即本发明的干燥装置具备气体供给装置11的结构。根据采用上述结构的本实施方式的多室型热处理装置SI，能够进行被处理物X的气体冷却，还能够进行冷却室3的干燥。此外，在本实施方式的多室型热处理装置SI中，采用了将来自热风供给装置19的热风及来自气体供给装置11的气体环境形成气体通过集管17及喷嘴16向冷却室3内送风的结构。因而，集管17及喷嘴16的内部被暴露在热风或气体环境形成气体中，能够连冷却液难以蒸发的集管17及喷嘴16的内部都可靠地干燥。此外，在本实施方式的多室型热处理装置SI中，采用了具备加热室2的结构。因而，能够仅用本实施方式的多室型热处理装置Si完成被处理物X的淬火处理。另外，本发明的多室型热处理装置并不一定需要具备加热室2。例如，也可以代替加热室2而具备将图5所示的被处理物X等离子处理的等离子处理室30。图5是等离子处理室30的剖视图。等离子处理室30与加热室2同样形状设定为圆筒形,至少内壁31由金属材料形成。在将被处理物X等离子处理的情况下，将被处理物X载置在金属制的导电性托盘Ta上而输送。在等离子处理室30的内部，具备与导电性托盘Ta导通的电极32。电极32如图5所示，固定配置在等离子处理室30的内部，配置在当被处理物X被运入到等离子处理室30中时与载置被处理物X的导电性托盘Ta抵接的位置上。根据具备上述等离子处理室30的多室型热处理装置，导电性托盘Ta和电极32在由升降装置9使被处理物X上升、向等离子处理室30收容完成的时点导通。即，能够不另外进行确保导电性托盘Ta与电极32的导通的动作而将导电性托盘Ta与电极32容易地导通。例如，将内壁31接地而作为基础电位，通过经由电极32对被处理物X附加负电压，在内壁31与被处理物X之间发生等离子，将被处理物X等离子处理。在本发明的多室型热处理装置中，也可以除了加热室2以外、或者代替加热室2而设置等离子处理室30。在具备等离子处理室30的情况下，能够将导电性托盘Ta和电极32容易地导通，能够容易地进行被处理物X的等离子处理。回到本实施方式的多室型热处理装置SI的说明。在本实施方式的多室型热处理装置SI中，采用了在加热室2与冷却室3之间具备中间输送室I的结构。根据采用上述结构的本实施方式的多室型热处理装置SI，即使是万一冷却液从冷却室3流出的情况，中间输送室I成为缓冲区域，也能够防止冷却液到达加热室2。因而，根据本实施方式的多室型热处理装置SI，能够稳定地进行对被处理物X的加热处理。此外，根据本实施方式的多室型热处理装置SI，连接的处理室(中间输送室1、加热室2及冷却室3)彼此在高度方向上配置，在连接的处理室间通过升降装置9及22进行被处理物X的交接。本实施方式的多室型热处理装置SI由于俯视形状变得紧凑，所以能够设置在较小的设置面积中。此外，由于一边将被处理物X从下方支承一边垂直输送的机会增加，所以能够将被处理物X稳定地输送。以上，一边参照附图一边对本发明的优选的实施方式进行了说明，但本发明并不限定于上述实施方式。在上述实施方式中表示的各结构部件的各形状及组合等是一例，在不脱离本发明的主旨的范围中能够基于设计要求等而进行各种变更。例如，在上述实施方式中，对作为冷却室3以外的其他处理室而具备中间输送室I及加热室2的结构进行了说明。但是，本发明并不限定于此，例如也可以在作为处理室而仅具备冷却室和加热室的多室型热处理装置、作为处理室而仅具备冷却室和输送室的多室型热处理装置、作为处理室而仅具备冷却室和等离子处理室的多室型热处理装置中应用。
此外，在上述实施方式中，对在冷却室3中通过雾的潜热将被处理物X冷却的结构进行了说明。但是，本发明并不限定于此，也可以在通过比雾粒径大的液体粒子的潜热将被处理物X冷却的多室型热处理装置中应用。此外，在上述实施方式中，对向冷却室3填充雾的结构进行了说明。但是，本发明并不限定于此，也可以采用对冷却室3内的被处理物X喷吹雾而将被处理物X冷却的结构。此外，在上述实施方式中，对具备热风供给装置19和气体供给装置11的两者、通过热风供给装置19和气体供给装置11的哪个都能够进行冷却室3的干燥的结构进行了说明。但是，本发明并不限定于此，例如也可以采用仅具备热风供给装置19的结构。此外，在上述实施方式中，对连接的处理室(中间输送室1、加热室2及冷却室3)彼此在高度方向上配置、通过升降装置9及23在连接的处理室间进行被处理物X的交接的结构进行了说明。但是，本发明并不限定于此，也可以将连接的处理室彼此水平地配置，通过水平输送进行连接的处理室间的被处理物X的交接。此外，在上述实施方式中，采用了在中间输送室I中将被处理物X送入送出的结构。但是，本发明并不限定于此，例如也可以采用在冷却室3中将被处理物X送入送出的结构、或在冷却室3中仅进行被处理物X的取出的结构。产业上的可利用性
根据本发明，通过干燥装置进行冷却室的干燥。因而，通过在冷却室与其他处理室之间的被处理物的交接之前进行冷却室的干燥，残留在冷却室内的冷却液(包括液体粒子及上述液体粒子凝聚成的液体)蒸发，能够防止上述冷却液流入到其他处理室中。因而，根据本发明，在多室型热处理装置中，能够防止冷却室以外的其他处理室被冷却液污染。附图标记说明
SI多室型热处理装置，I中间输送室(处理室)，la中央室，Ial la8侧壁，Ib加热用升降室，2加热室(处理室，热处理室)，3冷却室(处理室，热处理室)，4送入送出门，5推压装置，6上盖，7上盖升降装置，8载置台，9升降装置，10载置台，11气体供给装置(干燥装置)，12中间输送室用真空泵，13加热器，14气体供给装置，15加热室用真空泵，16喷嘴，17集管，18冷却液回收供给装置，18a冷却液箱，18b冷却液泵，18c热交换器，19热风供给装置(干燥装置)，20冷却室用真空泵，21冷却风扇，22载置台，23升降装置，30等离子处理室，31内壁，32电极，T托盘，Ta导电性托盘，X被处理物。
权利要求
1.一种多室型热处理装置，具备包括热处理室的多个处理室，其特征在于，具备 冷却室，是通过液体粒子的潜热进行被处理物的冷却的上述热处理室； 其他处理室，与上述冷却室不同； 干燥装置，进行上述冷却室的干燥。
2.如权利要求1所述的多室型热处理装置，其特征在于， 上述干燥装置具备对上述冷却室内供给热风的热风供给装置。
3.如权利要求1或2所述的多室型热处理装置，其特征在于， 上述干燥装置具备冷却气体供给装置，所述冷却气体供给装置将能够在上述被处理物的冷却中使用的冷却气体向上述冷却室内送风而进行干燥。
4.如权利要求3所述的多室型热处理装置，其特征在于， 具备向上述冷却室内喷雾上述液体粒子的喷嘴、和向上述喷嘴导引作为液体粒子的冷却液的集管； 上述冷却气体供给装置通过上述喷嘴及上述集管将上述冷却气体向上述冷却室内送风。
5.如权利要求1 4中任一项所述的多室型热处理装置，其特征在于， 作为与上述冷却室不同的其他处理室，具备进行上述被处理物的加热处理的加热室。
6.如权利要求5所述的多室型热处理装置，其特征在于， 作为与上述冷却室不同的其他处理室，具备配置在上述加热室与上述冷却室之间的中间输送室。
7.如权利要求1 6中任一项所述的多室型热处理装置，其特征在于， 作为与上述冷却室不同的其他处理室，具备进行对上述被处理物的等离子处理的等离子处理室。
8.如权利要求7所述的多室型热处理装置，其特征在于， 具备电极，所述电极固定配置在上述等离子处理室的内部，并且当上述被处理物被运入到上述等离子处理室的内部时与载置上述被处理物的导电性托盘抵接。
9.如权利要求1 8中任一项所述的多室型热处理装置，其特征在于， 连接的上述处理室彼此在高度方向上配置； 具备在连接的上述处理室间进行上述被处理物的交接的升降装置。
10.如权利要求2所述的多室型热处理装置，其特征在于， 上述热风供给装置能够在回火处理中使用，所述回火处理通过对载置有上述被处理物的上述冷却室内供给热风来进行。
全文摘要
一种多室型热处理装置(S1)具备包括热处理室的多个处理室，具备冷却室(3)，是通过体粒子的潜热进行被处理物的冷却的热处理室；其他处理室(1、2)，与冷却室(3)不同；干燥装置(11、19)，进行冷却室(3)的干燥。
文档编号F27B9/26GK103038593SQ20118003120
公开日2013年4月10日 申请日期2011年7月1日 优先权日2010年7月2日
发明者胜俣和彦 申请人:株式会社 Ihi, Ihi 机械系统股份有限公司