多晶炉的制作方法

文档序号:4642482阅读:1433来源:国知局
多晶炉的制作方法
【专利摘要】本实用新型涉及一种多晶炉,它包括多晶炉炉体,其特征在于所述多晶炉炉体内设置有石墨护板(1)、坩埚(2)、加热器(3)、下保温板(4)、下保温板导流结构(5)、溢流棉(6)、超导热材料层(7)以及溢流线(8),所述石墨护板(1)设置于坩埚(2)的外围,所述加热器设置于石墨护板(1)的外围,所述下保温板(4)设置于坩埚(2)的下方,所述下保温板导流结构(5)设置于下保温板(4)上,多晶炉炉体的底部内表面依次向内设置超导热材料层(7)以及溢流棉(6),所述溢流线(8)设置于下保温板导流结构(5)出口处的溢流棉(6)上。该多晶炉具有能够有效避免炉体熔穿、保护炉体安全的优点。
【专利说明】多晶炉
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种多晶炉。
【背景技术】
[0002]在多晶炉铸锭过程中,硅料装进坩埚中,加热融化,如果坩埚出现破裂,高温硅液会从坩埚中流出,炉体底部保护不良好有熔穿炉体的危险。高温的融化的硅液发生了溢流,顺着热场溢流结构流到炉体底部溢流棉上面的溢流线上,溢流线被熔断,触发报警,炉体立即停止加热,加热源停止发出热量,流出的硅液在溢流棉上,溢流棉的保温效果一般,热量散发不好,存在损坏炉体的现象比较多,修复速度慢,耽误生产。因此寻求一种能够有效避免炉体熔穿、保护炉体安全的多晶炉尤为重要。

【发明内容】

[0003]本实用新型的目的在于克服上述不足,提供一种能够有效避免炉体熔穿、保护炉体安全的多晶炉。
[0004]本实用新型的目的是这样实现的:
[0005]一种多晶炉,它包括多晶炉炉体,所述多晶炉炉体内设置有石墨护板、坩埚、加热器、下保温板、下保温板导流结构、溢流棉、超导热材料层以及溢流线,所述石墨护板设置于坩埚的外围,所述加热器设置于石墨护板的外围,所述下保温板设置于坩埚的下方,所述下保温板导流结构设置于下保温板上,多晶炉炉体的底部内表面依次向内设置超导热材料层以及溢流棉,所述溢流线设置于下保温板导流结构出口处的溢流棉上,所述超导热材料层的形状与多晶炉炉体的底部内表面的形状相互适应。
[0006]与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:
[0007]本实用新型在靠近多晶炉炉体的炉壁的地方加一层超导热材料层,超导热材料层紧贴炉壁,超导热材料层接受到的高温能很快的散发到炉壁上,避免小面积局部高温损坏设备,因此该多晶炉具有能够有效避免炉体熔穿、保护炉体安全的优点。
【专利附图】

【附图说明】
[0008]图1为本实用新型多晶炉的结构示意图。
[0009]其中:
[0010]石墨护板1、坩埚2、加热器3、下保温板4、下保温板导流结构5、溢流棉6、超导热材料层7、溢流线8。
【具体实施方式】
[0011]参见图1,本实用新型涉及的一种多晶炉,它包括多晶炉炉体,所述多晶炉炉体内设置有石墨护板1、坩埚2、加热器3、下保温板4、下保温板导流结构5、溢流棉6、超导热材料层7以及溢流线8,所述石墨护板I设置于坩埚2的外围,所述加热器设置于石墨护板I的外围,所述下保温板4设置于坩埚2的下方,所述下保温板导流结构5设置于下保温板4上,多晶炉炉体的底部内表面依次向内设置超导热材料层7以及溢流棉6,所述溢流线8设置于下保温板导流结构5出口处的溢流棉6上。所述超导热材料层7采用铜或者其他导热系数高的材料制成,且导热系数大于多晶炉炉体炉壁材料的导热系数。所述超导热材料层7的形状与多晶炉炉体的底部内表面的形状相互适应,可以为方形、圆形、椭圆形等。
[0012]超导热材料层需要根据多晶炉炉体底部的形状进行测绘,测量出的数据安排加工,加工的方式可以是冷轧、模压、锻造。
[0013]由于多晶炉炉体的形状是多种形状的,有方形的,圆形的,椭圆形的,其中紧密的贴合程度成为关键的要素。
[0014]做好成型的超导热材料层装入多晶炉炉体底部,然后放入石墨支撑柱、溢流棉、溢流线,保温溢流结构、DS块。
[0015]安装完成后,铸锭炉开始装料运行。当炉体内部温度达到1420度,硅料开始融化,温度升高,硅料融化的速度越快,当硅变为液体后在坩埚中,如果坩埚出现裂纹,液体会从裂缝中流出。
[0016]娃液流到i甘祸外部甘祸外部有石墨护板,石墨护板底部有半圆形孔,娃液从半圆形孔中流出,流到石墨底板上。
[0017]硅液从石墨底板的边缘往下流,流到下保温板的溢流导流孔中,导流孔对准溢流线,硅液滴落到溢流线上,溢流线被熔断,触发铸锭炉报警,铸锭炉停止加热,硅液继续往下流。
[0018]此时硅液约有1400度,溢流棉对硅液进行吸附和缓慢散热,热量散发到超导热材料层上,超导热材料层吸热,因为超导热材料层的热传导效能较高,所以热量会被超导热材料层均匀散发到多晶炉炉体的炉壁上,避免了局部温度过高对炉壁的损坏。
【权利要求】
1.一种多晶炉,它包括多晶炉炉体,其特征在于所述多晶炉炉体内设置有石墨护板(I)、坩埚(2)、加热器(3)、下保温板(4)、下保温板导流结构(5)、溢流棉(6)、超导热材料层(7)以及溢流线(8),所述石墨护板(I)设置于坩埚(2)的外围,所述加热器设置于石墨护板(I)的外围,所述下保温板(4)设置于坩埚(2)的下方,所述下保温板导流结构(5)设置于下保温板(4)上,多晶炉炉体的底部内表面依次向内设置超导热材料层(7)以及溢流棉(6),所述溢流线(8)设置于下保温板导流结构(5)出口处的溢流棉(6)上,所述超导热材料层(7)的形状与多晶炉炉体的底部内表面的形状相互适应。
【文档编号】F27B14/08GK203668548SQ201320754913
【公开日】2014年6月25日 申请日期:2013年11月27日 优先权日:2013年11月27日
【发明者】魏俊, 郭宽新 申请人:海润光伏科技股份有限公司
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