一种靶材烧结载板的制作方法
【专利摘要】本实用新型涉及一种靶材烧结载板，包括烧结载板本体，所述烧结载板本体上均布有固定孔，所述固定孔内嵌设有圆珠体，所述圆珠体凸出于烧结载板表面，采用以上结构，靶材与烧结载板本体之间因为圆珠体的存在形成间隙，因此能够显著地减少靶材发生粘接的现象，从而改善了靶材的烧结质量。本实用新型结构简单、设计合理，成本低廉，具有良好的经济技术效益。
【专利说明】一种靶材烧结载板
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种靶材烧结载板。
【背景技术】
[0002]烧结，是把粉状物料转变为致密体，是一个传统的工艺过程，人们很早就利用这个工艺来生产陶瓷。现有技术对陶瓷靶材进行烧结时，一般是在烧结载板表面铺上一层氧化铝粉末，再将靶材置于烧结载板上进行烧结。这种烧结载板结构，使用时存在明显的缺陷，例如烧结的靶材容易粘接在一起，冷却后无法分开，烧结质量差，同时烧结后的靶材也比较难于冷却，影响了工作效率。
【发明内容】
[0003]本实用新型的目的在于克服现有技术的不足，提供一种能够显著改善靶材烧结质量的靶材烧结载板。
[0004]为实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案:
[0005]一种靶材烧结载板，包括烧结载板本体，所述烧结载板本体上均布有固定孔，所述固定孔内嵌设有圆珠体，所述圆珠体凸出于烧结载板本体表面。
[0006]所述烧结载板本体两端设有缺口。
[0007]所述烧结载板本体由刚玉成型。
[0008]所述固定孔呈矩阵排列。
[0009]所述圆珠体的球径为0.5?lcm。
[0010]所述圆珠体为氧化铝成型。
[0011]本实用新型采用以上技术方案，在烧结载板本体上均布固定孔，所述固定孔内嵌设圆珠体，采用这样的结构，靶材与烧结载板本体之间因为圆珠体的存在形成间隙，增加空气流通，从而改善了靶材的烧结质量，同时，靶材与烧结载板之间是点接触，而不是现有技术的面接触，因此能够显著地减少靶材发生粘接的现象。此外，由于在烧结过程中烧结载板本体因为受热会膨胀，在烧结载板本体的两侧设置缺口，有利于热量释放，可以提高烧结载板本体的使用寿命。本实用新型结构简单、设计合理，成本低廉，并且显著改善了靶材的烧结质量，具有良好的经济技术效益。
【专利附图】
【附图说明】
[0012]以下结合附图和【具体实施方式】对本实用新型做进一步详细的说明:
[0013]图1为本实用新型的结构示意图；
[0014]图2为本实用新型的剖视图。
【具体实施方式】
[0015]如图1或2所示，本实用新型的靶材烧结载板，包括烧结载板本体I，所述烧结载板本体I上均布有固定孔，所述固定孔内嵌设有圆珠体3，所述圆珠体3凸出于烧结载板本体I表面。
[0016]所述烧结载板本体I两端设有缺口 2，所述烧结载板本体I由刚玉成型。
[0017]所述固定孔呈矩阵排列。
[0018]所述圆珠体3的球径为0.5?lcm,所述圆珠体3为氧化招成型。
[0019]本实用新型的靶材烧结载板，靶材与烧结载板本体I之间因为圆珠体3的存在形成间隙，增加空气流通，从而改善了靶材的烧结质量，同时，靶材与烧结载板本体I之间是点接触，而不是现有技术的面接触，因此能够显著地减少靶材发生粘接的现象。此外，由于在烧结过程中烧结载板本体I因为受热会膨胀，在烧结载板本体I的两侧设置缺口 2，有利于热量释放，可以提高烧结载板本体I的使用寿命。
【权利要求】
1.一种靶材烧结载板，包括烧结载板本体，其特征在于:所述烧结载板本体上均布有固定孔，所述固定孔内嵌设有圆珠体，所述圆珠体凸出于烧结载板本体表面。
2.根据权利要求1所述的一种靶材烧结载板，其特征在于:所述烧结载板本体两端设有缺口。
3.根据权利要求1所述的一种靶材烧结载板，其特征在于:所述烧结载板本体由刚玉成型。
4.根据权利要求1所述的一种靶材烧结载板，其特征在于:所述固定孔呈矩阵排列。
5.根据权利要求1所述的一种靶材烧结载板，其特征在于:所述圆珠体的球径为0.5?Icm0
6.根据权利要求1所述的一种靶材烧结载板，其特征在于:所述圆珠体为氧化铝成型。
【文档编号】F27D5/00GK204165404SQ201420562054
【公开日】2015年2月18日 申请日期:2014年9月26日 优先权日:2014年9月26日
【发明者】侯则良, 王维纲 申请人:福建省诺希新材料科技有限公司