一种晶圆清洗机的制作方法
【专利摘要】本实用新型涉及半导体清洗设备技术领域，具体公开了一种晶圆清洗机，包括相连通的清洗通道和烘干通道，该两通道内设有连续的传送装置，用于传送晶圆料盒连续的依次通过该两通道，烘干通道上设有送风装置，用于向烘干通道内送风，烘干通道设有出口封闭装置，包括控制器和与控制器连接的动力挡板、传感器，动力挡板设于烘干通道出口处，由控制器控制，能够封闭和打开该出口，传感器包括第一传感器和第二传感器，分别位于烘干通道内和烘干通道出口外，用于侦测在烘干通道出口内、外的晶圆料盒。本实用新型能够保证晶圆烘干需求的情况下，降低烘干用热风的使用量，节约送风机电能，降低晶圆清洗机周围环境的温度，提高人员工作环境舒适度。
【专利说明】
一种晶圆清洗机
技术领域
[0001 ]本实用新型涉及半导体清洗设备技术领域。
【背景技术】
[0002]为了提高工作效率，现有晶圆清洗机都配套设有烘干装置，晶圆在清洗通道内经清洗后由传送装置传送直接进入烘干通道，利用热风吹扫使之烘干。烘干通道内温度在75-80度之间，烘干通道出口为半封闭设计，出口处设有出料口，吹扫热风通过烘干通道后经出料口直接进入环境，使得清洗机周围人员操作环境温度较高，舒适度差，且吹扫的热风利用率低，送风机电功耗大，造成能源浪费。
【实用新型内容】
[0003]本实用新型要解决的技术问题是提供一种晶圆清洗机，能够保证晶圆烘干需求的情况下，降低烘干用热风的使用量，节约送风机电能，降低晶圆清洗机周围环境的温度，提高人员工作环境舒适度。
[0004]为解决上述技术问题，本实用新型所采取的技术方案是:一种晶圆清洗机，包括相连通的清洗通道和烘干通道，该两通道内设有连续的传送装置，用于传送晶圆料盒连续的依次通过该两通道，所述烘干通道上设有送风装置，用于向烘干通道内送风，所述烘干通道设有出口封闭装置，包括控制器和与控制器连接的动力挡板、传感器，所述动力挡板设于烘干通道出口处，由所述控制器控制，能够封闭和打开该出口，所述传感器包括第一传感器和第二传感器，分别位于烘干通道内和烘干通道出口外，用于侦测在烘干通道出口内、外的晶圆料盒；
[0005]所述第一传感器侦测到晶圆料盒时，将其侦测信号发送至所述控制器，所述控制器控制动力挡板打开烘干通道出口，所述第二传感器侦测到晶圆料盒时，将其侦测信号发送至所述控制器，所述控制器控制动力挡板封闭烘干通道出口。
[0006]所述动力挡板包括封闭板和与之固定连接的气缸，所述气缸驱动封闭板能够向下运动，以封闭烘干通道出口，所述气缸驱动封闭板能够向上运动，以打开烘干通道出口。
[0007]所述封闭板为铝箔，所述气缸包括活塞杆，所述铝箔通过连接件与所述活塞杆固定连接;所述连接件包括吊板和位于吊板下方的支板，所述支板与所述吊板均为长条状，支板的顶部固定连接于吊板，所述吊板与所述活塞杆固定连接，所述铝箔与所述支板焊接固定。
[0008]所述送风装置为轴风机。
[0009]所述传送装置包括两条平行且同步运行的动力传送带，对称分布，贯穿所述清洗通道和烘干通道。
[0010]动力挡板上在动力传送带的对应位置设有缺口，所述缺口的宽度大于动力传送带的带宽，使得动力挡板封闭烘干通道出口时，动力传送带能够从该缺口穿过动力挡板。
[0011]采用上述技术方案所产生的有益效果在于:本实用新型晶圆清洗机利用封闭装置自动封闭烘干通道出口，使得烘干通道内的热风形成回流，在烘干通道内延长停留时间，降低了送风装置的送风量，提高了热风的利用率;料盒需要经烘干通道出口出料时，封闭装置自动打开烘干通道出口，同时烘干通道内经冷却的热风大量吹出，新风补入烘干通道内，保证烘干效果;热风在烘干通道内具有更高的热交换量，其吹出烘干通道出口后，对晶圆清洗机周围环境温度的影响降低，提高人员工作环境舒适度。
【附图说明】
[0012]图1是本实用新型晶圆清洗机的结构不意图；
[0013]图2是图1的右视图；
[0014]图3是本实用新型出口封闭装置的系统框图；
[0015]图4是本实用新型出口封闭装置的一种实施例的结构示意图。
[0016]其中，1、传送装置;2、清洗通道;3、烘干通道;4、送风装置;5、气缸;6、封闭板;7、第一传感器;8、第二传感器;9、料盒;1、控制器;11、动力传送带;51、吊板;52、支板;61、缺口。
【具体实施方式】
[0017]为了解决现有晶圆清洗机烘干用热风利用率低、能耗高、人员操作环境温度高等技术问题，本实用新型公开了一种晶圆清洗机，通过采用烘干通道出口设自动封闭装置的技术手段，能够提高热风利用率、节约电能和热能、改善人员操作环境。
[0018]为了能够更加清楚地描述本实用新型，下面结合附图和【具体实施方式】对本实用新型作进一步详细的说明。
[0019]—种晶圆清洗机，见图1和图2，包括相连通的清洗通道2和烘干通道3，清洗通道2和烘干通道3均由机罩与机床围成前后开口的通道，其前部为清洗通道2，内设喷淋清洗装置，其后部为烘干通道3。该两通道内设有连续的传送装置I，用于传送晶圆料盒9连续的依次通过该两通道。烘干通道3上设有送风装置4，用于向烘干通道3内送热风，送风装置4为轴风机，其送风管道连通于烘干通道3顶部的送风口，风向在烘干通道3内由上自下对晶圆吹扫，之后主要经烘干通道3出口排出。
[0020]烘干通道3设有出口封闭装置，见图1-3，包括控制器10和与控制器10连接的动力挡板、传感器，动力挡板设于烘干通道3出口处，由控制器10控制，能够封闭和打开该出口，传感器包括第一传感器7和第二传感器8，分别位于烘干通道3内和烘干通道3出口外，用于侦测在烘干通道3出口内、外的晶圆料盒9;
[0021]工作状态时，晶圆料盒9经传送装置I传送向烘干通道3出口靠近，第一传感器7侦测到晶圆料盒9时，将其侦测信号发送至控制器10，控制器10控制动力挡板打开烘干通道3出口，晶圆料盒9经烘干通道3出口出离烘干通道3，待晶圆料盒9完全离开烘干通道3出口，晶圆料盒9继续远离烘干通道3靠近第二传感器8，第二传感器8侦测到晶圆料盒9时，将其侦测信号发送至控制器10，控制器10控制动力挡板封闭烘干通道3出口。
[0022]出口封闭装置技术原理与日常使用的感应自动门原理相同，控制器10和传感器采用常用的感应自动门控制系统的控制器和传感器，如PLC控制器、红外传感器。
[0023]第一传感器7适宜固定在烘干通道3内机罩上，靠近烘干通道3出口。第二传感器8适宜固定在烘干通道3外机床上。
[0024]见图3和图4，动力挡板包括封闭板6和与之固定连接的气缸5，气缸5驱动封闭板6能够向下运动，以封闭烘干通道3出口，气缸5驱动封闭板6能够向上运动，以打开烘干通道3出口。
[0025]封闭板6为铝箔，气缸5包括活塞杆，铝箔通过连接件与活塞杆固定连接;连接件包括吊板51和位于吊板51下方的支板52，支板52与吊板51均为长条状，支板52的顶部固定连接于吊板51，吊板51与活塞杆固定连接，铝箔与支板52点焊焊接固定。支板52为两个，对称分布，作为骨架支撑铝箔呈展开状，作为封闭板6使用。
[0026]铝箔质量小，具有柔性，其对烘干通道3出口不会形成密闭，在阻挡热风的同时，保证一定的通风量，使烘干通道3内风向较为稳定，防止出现强乱流。
[0027]传送装置I包括两条平行且同步运行的动力传送带11，对称分布，贯穿清洗通道2和烘干通道3。动力挡板的封闭板6上在动力传送带11的对应位置设有缺口 61，缺口 61的宽度大于动力传送带11的带宽，使得动力挡板封闭烘干通道3出口时，动力传送带11能够从该缺口 61穿过封闭板6。动力传送带11包括电机和齿轮传送带，由电机驱动齿轮传送带运动。
[0028]本实施例晶圆清洗机经使用检验，改进前原来由两部轴风机送风，改进后停用一部轴风机也能满足硅片自动烘干，节约了能耗，环境温度明显降低。
[0029]以上对本实用新型进行了详细介绍，本实用新型中应用具体个例对本实用新型的实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本实用新型，应当指出，对于本技术领域的技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可对本实用新型进行若干改进，这些改进也落入本实用新型权利要求的保护范围内。
【主权项】
1.一种晶圆清洗机，包括相连通的清洗通道(2)和烘干通道(3)，该两通道内设有连续的传送装置(1)，用于传送晶圆料盒(9)连续的依次通过该两通道，所述烘干通道(3)上设有送风装置(4)，用于向烘干通道(3)内送风，其特征在于，所述烘干通道(3)设有出口封闭装置，包括控制器(10)和与控制器(10)连接的动力挡板、传感器，所述动力挡板设于烘干通道(3)出口处，由所述控制器(10)控制，能够封闭和打开该出口，所述传感器包括第一传感器(7)和第二传感器(8)，分别位于烘干通道(3)内和烘干通道(3)出口外，用于侦测在烘干通道(3)出口内、外的晶圆料盒(9); 所述第一传感器(7)侦测到晶圆料盒(9)时，将其侦测信号发送至所述控制器(10)，所述控制器(10)控制动力挡板打开烘干通道(3)出口，所述第二传感器(8)侦测到晶圆料盒(9)时，将其侦测信号发送至所述控制器(10)，所述控制器(10)控制动力挡板封闭烘干通道(3)出口。2.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗机，其特征在于，所述动力挡板包括封闭板(6)和与之固定连接的气缸(5)，所述气缸(5)驱动封闭板(6)能够向下运动，以封闭烘干通道(3)出口，所述气缸(5)驱动封闭板(6)能够向上运动，以打开烘干通道(3)出口。3.根据权利要求2所述的一种晶圆清洗机，其特征在于，所述封闭板(6)为铝箔，所述气缸(5)包括活塞杆，所述铝箔通过连接件与所述活塞杆固定连接;所述连接件包括吊板(51)和位于吊板(51)下方的支板(52)，所述支板(52)与所述吊板(51)均为长条状，支板(52)的顶部固定连接于吊板(51)，所述吊板(51)与所述活塞杆固定连接，所述铝箔与所述支板(52)焊接固定。4.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗机，其特征在于，所述送风装置(4)为轴风机。5.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗机，其特征在于，所述传送装置(I)包括两条平行且同步运行的动力传送带(11)，对称分布，贯穿所述清洗通道(2)和烘干通道(3)。6.根据权利要求5所述的一种晶圆清洗机，其特征在于，动力挡板上在动力传送带(11)的对应位置设有缺口(61)，所述缺口(61)的宽度大于动力传送带(11)的带宽，使得动力挡板封闭烘干通道(3)出口时，动力传送带(11)能够从该缺口(61)穿过动力挡板。
【文档编号】F26B3/04GK205718209SQ201620568623
【公开日】2016年11月23日
【申请日】2016年6月14日
【发明人】王会敏, 何京辉, 李立伟, 张立涛, 张稳, 尚玉晓
【申请人】邢台晶龙电子材料有限公司