一种硅片烘干装置的制作方法

1.本实用新型涉及硅片加工设备领域，尤其涉及一种硅片烘干装置。


背景技术：

2.在硅片的生产过程中需要对其进行清洗并烘干，目前的烘干装置在对硅片进行烘干作业时，无法对硅片的两面进行充分烘干，因此，设计一种硅片烘干装置成为了本领域技术人员亟待解决的技术问题。


技术实现要素：

3.本实用新型所要解决的技术问题是克服现有技术中存在的不足，提供一种硅片烘干装置。
4.本实用新型是通过以下技术方案予以实现：一种硅片烘干装置，其特征在于，包括传送机构以及烘干箱，所述传送机构包括传送板，传送带，第一气缸以及与传送板滑动连接的固定架，所述传送板的表面设有第一滑轨，所述传送带位于传送板的下方，所述第一滑轨的端部设有第一气缸，所述第一气缸的输出端与固定架连接，所述固定架与滑轨滑动连接且固定架上设有调节机构，所述调节机构包括固接在固定架两侧的转动电机以及固定板，所述转动电机的输出端设有转动齿轮，所述转动齿轮上设有与之相啮合的齿条，固定板与齿条的端部相连，所述烘干箱的表面开设有进料口以及出料口，内部设有吸附机构以及热风机，所述传送板与传送带分别通过进料口与出料口进入烘干箱的内部，所述吸附机构包括吸附箱，连接板以及固接在烘干箱顶面的第二气缸，所述吸附箱包括上吸附箱以及下吸附箱，所述第二气缸的输出端与连接板固接，所述连接板上设有第二滑轨，所述第二滑轨的端部设有电动推杆，所述电动推杆的输出端与上吸附箱相连，所述下吸附箱固接在烘干箱的底部，所述热风机包括上热风机以及下热风机，所述上热风机向下吹风，所述下热风机向上吹风。
5.根据上述技术方案，优选地，传送带的表面设有用于放置硅片的卡槽。
6.根据上述技术方案，优选地，上、下吸附箱上均设有多个真空吸盘。
7.本实用新型的有益效果是：通过固定架上的转动电机与固定板共同作用，保证固定架可以对不同大小硅片进行夹持固定；上、下热风机可以在上、下吸附箱的作用下分别对硅片的上、下表面进行烘干，保证了烘干效率。
附图说明
8.图1示出了本实用新型实施例的结构图。
9.图2示出了本实用新型实施例固定架的侧视图。
10.图3示出了本实用新型实施例烘干箱的侧视图。
11.图中：1、烘干箱；2、传送板；3、传送带；4、第一气缸；5、固定架；6、滑轨；7、转动电机；8、固定板；9、转动齿轮；10、齿条；11、进料口；12、出料口；13、连接板；14、第二气缸；15、
上吸附箱；16、下吸附箱；17、第二滑轨；18、电动推杆；19、上热风机；20、下热风机； 21、卡槽；22、真空吸盘。
具体实施方式
12.为了使本技术领域的技术人员更好地理解本实用新型的技术方案，下面结合附图和最佳实施例对本实用新型作进一步的详细说明。
13.如图所示，本实用新型提供了一种硅片烘干装置，其特征在于，包括传送机构以及烘干箱1，所述传送机构包括传送板2，传送带3，第一气缸 4以及与传送板2滑动连接的固定架5，所述传送板2的表面设有第一滑轨6，所述传送带3位于传送板2的下方，所述第一滑轨6的端部设有第一气缸4，所述第一气缸4的输出端与固定架5连接，所述固定架5与滑轨6滑动连接且固定架5上设有调节机构，所述调节机构包括固接在固定架5两侧的转动电机7以及固定板8，所述转动电机7的输出端设有转动齿轮9，所述转动齿轮9上设有与之相啮合的齿条10，固定板8与齿条10 的端部相连，所述烘干箱1的表面开设有进料口11以及出料口12，内部设有吸附机构以及热风机，所述传送板2与传送带3分别通过进料口11 与出料口12进入烘干箱的内部，所述吸附机构包括吸附箱，连接板13以及固接在烘干箱1顶面的第二气缸14，所述吸附箱包括上吸附箱15以及下吸附箱16，所述第二气缸14的输出端与连接板13固接，所述连接板 13上设有第二滑轨17，所述第二滑轨17的端部设有电动推杆18，所述电动推杆18的输出端与上吸附箱15相连，所述下吸附箱16固接在烘干箱1 的底部，所述热风机包括上热风机19以及下热风机20，所述上热风机19 向下吹风，所述下热风机20向上吹风。
14.根据上述实施例，优选地，传送带3的表面设有用于放置硅片的卡槽 21，保证硅片在传送带的稳定。
15.根据上述实施例，优选地，上、下吸附箱上均设有多个真空吸盘22。
16.本实用新型的工作原理为：将清洗完成需要烘干的硅片放置在固定架 5上，通过转动电机7带动转动齿轮9旋转从而带动固定板8将硅片夹紧，保证了固定架可以对不同大小型号的硅片进行固定，随后第一气缸4推动固定架5传送至烘干箱1内，此时电动推杆18将上吸附箱15推至硅片的正上方并由第二气缸14控制连接板13升降，电动推杆18与第二气缸14 的共同作用实现了上吸附箱15在烘干箱1内的自由移动，从而使真空吸盘22吸附住硅片的上表面并将其从固定架5内移出，由下热风机20对硅片的下表面进行烘干，当对硅片的下表面烘干完成后，下吸附箱16上的真空吸盘22吸取硅片的下表面，由上热风机19对硅片的上表面进行烘干，当对硅片的上表面烘干完成后，上吸附箱15的真空吸盘22会将硅片运送到传送带上，由传送带将其送出烘干箱。
17.本实用新型的有益效果是：通过固定架5上的转动电机7与固定板8 共同作用，保证固定架5可以对不同大小硅片进行夹持固定；上、下热风机可以在上、下吸附箱的作用下分别对硅片的上、下表面进行烘干，保证了烘干效率。
18.以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。


技术特征：
1.一种硅片烘干装置，其特征在于，包括传送机构以及烘干箱，所述传送机构包括传送板，传送带，第一气缸以及与传送板滑动连接的固定架，所述传送板的表面设有第一滑轨，所述传送带位于传送板的下方，所述第一滑轨的端部设有第一气缸，所述第一气缸的输出端与固定架连接，所述固定架与滑轨滑动连接且固定架上设有调节机构，所述调节机构包括固接在固定架两侧的转动电机以及固定板，所述转动电机的输出端设有转动齿轮，所述转动齿轮上设有与之相啮合的齿条，固定板与齿条的端部相连，所述烘干箱的表面开设有进料口以及出料口，内部设有吸附机构以及热风机，所述传送板与传送带分别通过进料口与出料口进入烘干箱的内部，所述吸附机构包括吸附箱，连接板以及固接在烘干箱顶面的第二气缸，所述吸附箱包括上吸附箱以及下吸附箱，所述第二气缸的输出端与连接板固接，所述连接板上设有第二滑轨，所述第二滑轨的端部设有电动推杆，所述电动推杆的输出端与上吸附箱相连，所述下吸附箱固接在烘干箱的底部，所述热风机包括上热风机以及下热风机，所述上热风机向下吹风，所述下热风机向上吹风。2.根据权利要求1所述的一种硅片烘干装置，其特征在于，所述传送带的表面设有用于放置硅片的卡槽。3.根据权利要求1所述的一种硅片烘干装置，其特征在于，所述上、下吸附箱上均设有多个真空吸盘。

技术总结
本实用新型提供了一种硅片烘干装置，涉及硅片加工设备领域，包括传送机构以及烘干箱，传送机构包括传送板，传送带，第一气缸以及固定架，第一滑轨的端部设有第一气缸，固定架上设有调节机构，烘干箱的内部设有吸附机构以及热风机，吸附机构包括吸附箱，连接板以及第二气缸，第二气缸的输出端与连接板固接，电动推杆的输出端与上吸附箱相连，所述下吸附箱固接在烘干箱的底部，热风机包括上热风机以及下热风机。通过固定架上的转动电机与固定板共同作用，保证固定架可以对不同大小硅片进行夹持固定；上、下热风机可以在上、下吸附箱的作用下分别对硅片的上、下表面进行烘干，保证了烘干效率。率。率。


技术研发人员：高如山
受保护的技术使用者：天津西美科技有限公司
技术研发日：2021.07.22
技术公布日：2021/12/31