硅片烘干设备的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种硅片烘干设备。
【背景技术】
[0002]在硅片制作工艺中，目前硅片烘烤都是采用专用烤箱或自己制作的烤箱来烘烤，这种烤箱的缺点是:1、功率大，能源浪费大；2、需要工作人员将需要烘烤的硅片放入烤箱内，烘烤完成后再从烤箱内取出，非常麻烦；3、从烤箱内取出烘烤过的硅片时，需要带隔热手套或者等到硅片在烤箱内凉透后再取，不仅麻烦而且浪费时间。
【实用新型内容】
[0003]为了克服现有硅片烘干箱的上述缺点，本实用新型的目的在于提供一种使用方便，能耗低的硅片烘干设备。
[0004]为了解决上述问题，本实用新型采用以下技术方案:一种硅片烘干设备，其特征在于:包括传送装置和烘干箱，所述传送装置包括支架、传送带和电机；所述烘干箱包括箱体和设置在箱体内的发热装置，在所述箱体的前后两侧分别设置有开口，所述传送带从所述箱体前侧的开口贯穿至后侧的开口，在所述开口上设置有挡帘；在所述箱体后侧的所述支架上设置有若干风扇。
[0005]进一步的，所述箱体底部设置有从箱体前侧贯穿至后侧的滑道，在所述传送带上横向设置有一对平行的限位带，所述限位带位于所述滑道内。
[0006]优选的，所述发热装置为浴霸灯。
[0007]进一步的，所述箱体的前侧面和后侧面为弧形，顶部为水平面，所述浴霸灯设置在箱体内部的顶部和左右两侧。
[0008]更进一步的，在所述箱体后侧的所述支架上设置有光电传感器。
[0009]本实用新型的有益效果是:在传送装置上设置烘干箱，实现硅片烘干流水作业，方便快捷，硅片经传送带缓慢送进烘干箱前端，经烘干箱后端送出后硅片已被烘干，再经过设置在支架上的风扇降温，工作人员可直接将烘干后的硅片取走；烘干箱内设置的浴霸灯烘烤效果好，能耗低，符合节能环保理念。
【附图说明】
[0010]下面结合附图和实施例对本实用新型做进一步的说明:
[0011]图1为本实用新型的整体结构示意图；
[0012]图2为图1中沿A-A线剖视图。
【具体实施方式】
[0013]如图1所示，本实用新型包括传送装置和烘干箱I，所述传送装置包括支架2、传送带3和电机4。所述烘干箱I包括箱体11和设置在箱体11内的发热装置12，优选的，所述发热装置12为浴霸灯，所述浴霸灯设置在箱体内部的顶部和左右两侧。在所述箱体11的前侧设置有进口 13，后侧设置有出口 14，所述传送带3从进口 13贯穿至出口 14，在所述进口 13和出口 14上设置有挡帘15，所述挡帘15为防火布材料制成。在所述箱体11后侧的所述支架2上设置有若干风扇5。
[0014]对于烘干箱I设置在传送装置上的方式有多种，本实用新型优选采用如图2所示的一种，在所述箱体11底部设置有从箱体11前侧贯穿至后侧的滑道111，滑道111即为箱体11底部的开口。在所述传送带3上横向设置有一对平行的限位带31，所述限位带31位于所述滑道111内，滑道111的宽度略大于两条限位带31之间的距离，优选的大于1CM。传送带3位于箱体底部，正好把滑道111堵住，传送带3、挡帘15和箱体11围成一个相对封闭的空间，可防止热量散失。传送带3采用耐高温材料制成，确保不会在烘干箱I内被烤坏。
[0015]对于箱体的形状，本实施例中箱体的前侧面和后侧面为弧形，顶部为水平面，前侧面和后侧面为弧形或者是倾斜面可减小箱体内部空间，温度提升快，保温效果好。当然，箱体也可以设计成矩形。
[0016]对于电机，本实用新型优选采用变频电机，可通过控制按钮对传送带的速度进行选择，而且当硅片全部送入烘干箱I后可以停止电机工作，让硅片多烘干一会后再打开电机将硅片运送出来。
[0017]为了防止工作人员不在现场而导致硅片从传送带3上落下，在所述箱体11后侧的所述支架2上设置有光电传感器6，传送带3左侧支架上设置光电传感器的发射端，右侧支架上设置光电传感器的接收端。
[0018]需要说明的是，对于传送装置的长度及烘干箱I的大小，可根据实际情况制作，如一般小车间，传送装置长度约十米，烘干箱长度约两米即可。
[0019]使用时，工作人员在烘干箱I的进口端传送带3上放置上盛有硅片的硅片托架，经传送带3将硅片运送到烘干箱I内，通过调节传送带的传送速度，可以控制硅片在烘干箱I内的烘烤时间。硅片烘烤完后，送出烘干箱I后，风扇对硅片吹风降温，然后工作人员可直接用手取硅片即可。若工作人员不在现场，当硅片被传送到光电传感器6位置后，传送带3停止工作。
【主权项】
1.一种硅片烘干设备，其特征在于:包括传送装置和烘干箱，所述传送装置包括支架、传送带和电机；所述烘干箱包括箱体和设置在箱体内的发热装置，在所述箱体的前后两侧分别设置有开口，所述传送带从所述箱体前侧的开口贯穿至后侧的开口，在所述开口上设置有挡帘，所述箱体的前侧面和后侧面为弧形，顶部为水平面，所述发热装置设置在箱体内部的顶部和左右两侧；在所述箱体后侧的所述支架上设置有若干风扇；在所述箱体后侧的所述支架上设置有光电传感器。
2.根据权利要求1所述的硅片烘干设备，其特征在于:所述箱体底部设置有从箱体前侧贯穿至后侧的滑道，在所述传送带上横向设置有一对平行的限位带，所述限位带位于所述滑道内。
3.根据权利要求1所述的硅片烘干设备，其特征在于:所述发热装置为浴霸灯。
【专利摘要】一种硅片烘干设备包括传送装置和烘干箱，所述传送装置包括支架、传送带和电机；所述烘干箱包括箱体和设置在箱体内的发热装置，在所述箱体的前后两侧分别设置有开口，所述传送带从所述箱体前侧的开口贯穿至后侧的开口，在所述开口上设置有挡帘；在所述箱体后侧的所述支架上设置有若干风扇。本实用新型在传送装置上设置烘干箱，实现硅片烘干流水作业，方便快捷，硅片经传送带缓慢送进烘干箱前端，经烘干箱后端送出后硅片已被烘干，再经过设置在支架上的风扇降温，工作人员可直接将烘干后的硅片取走；烘干箱内设置的浴霸灯烘烤效果好，能耗低，符合节能环保理念。
【IPC分类】F26B15-18, F26B25-00, F26B23-04
【公开号】CN204301448
【申请号】CN201420606603
【发明人】韩雨珊
【申请人】韩雨珊
【公开日】2015年4月29日
【申请日】2014年10月20日