一种适用于不同管径的光学镜筒水冷装置的制造方法
【专利摘要】本实用新型涉及一种适用于不同管径的光学镜筒水冷装置，与现有技术相比解决了光学镜筒工作时易产生高温形变的缺陷。本实用新型中上过水管的前端设有进水口，上过水管的尾端设有挡块A，下过水管的前端设有出水口，下过水管的尾端设有挡块B，冷凝块为中空结构，冷凝块的上部开有上水口，冷凝块的下部开有下水口，上水口与下水口相通；上过水管上设有渗透孔A，下过水管上设有渗透孔B，冷凝块的上部安装在上过水管上且上水口抵在渗透孔A上，冷凝块的下部安装在下过水管上且下水口抵在渗透孔B上，上过水管和下过水管均环绕安装在镜筒的外壁且冷凝块贴在镜筒的外壁上。本实用新型能够对光学镜筒进行水冷降温。
【专利说明】
一种适用于不同管径的光学镜筒水冷装置
技术领域
[0001]本实用新型涉及光学镜筒技术领域，具体来说是一种适用于不同管径的光学镜筒水冷装置。
【背景技术】
[0002]光学镜筒是不可或缺的光学部件，光线通过安装在镜筒中的镜片作用到工作面，达到光路设计人员设计的效果。在工作时，光学镜筒随着温度变化会产生形变，镜筒中镜片则发生了不该有的位移，如何控制镜筒的变形量是使用过程中的难题。特别是在精密的光刻设备中，穿过镜片的是高能量的激光，伴有大量的热量，镜筒形变的情况出现更是普遍。而受热变形的镜筒会扭曲光路，最终设备无法正常工作。如何限制光学镜筒的高温形变已经成为急需解决的技术问题。
【实用新型内容】
[0003]本实用新型的目的是为了解决现有技术中光学镜筒工作时易产生高温形变的缺陷，提供一种适用于不同管径的光学镜筒水冷装置来解决上述问题。
[0004]为了实现上述目的，本实用新型的技术方案如下:
[0005]—种适用于不同管径的光学镜筒水冷装置，包括镜筒，还包括水冷限位组件，所述的水冷限位组件包括上过水管、下过水管和冷凝块，上过水管的前端设有进水口，上过水管的尾端设有挡块A，下过水管的前端设有出水口，下过水管的尾端设有挡块B，冷凝块为中空结构，冷凝块的上部开有上水口，冷凝块的下部开有下水口，上水口与下水口相通；
[0006]上过水管上设有渗透孔A，下过水管上设有渗透孔B，冷凝块的上部安装在上过水管上且上水口抵在渗透孔A上，冷凝块的下部安装在下过水管上且下水口抵在渗透孔B上，上过水管和下过水管均环绕安装在镜筒的外壁且冷凝块贴在镜筒的外壁上。
[0007]所述的渗透孔A、渗透孔B和冷凝块三者的数量均为若干个。
[0008]还包括固定块，固定块为“几”字形，固定块将下过水管的前端压在挡块B上且固定块与挡块B通过螺栓安装。
[0009]所述的冷凝块上围绕上水口的一圈粘有AB胶，冷凝块通过AB胶粘接在上过水管上。
[0010]有益效果
[0011]本实用新型的一种适用于不同管径的光学镜筒水冷装置，与现有技术相比不仅能够对光学镜筒进行水冷降温，还能对光学镜筒的受热变形进行变形限制，可以适应于不同管径的镜筒，有效的控制不同镜筒受热变形造成光路变形的问题。具有结构简单、成本低廉的特点。
【附图说明】
[0012]图1为本实用新型的结构示意图；
[0013]图2为本实用新型中水冷限位组件的结构示意图；
[0014]图3为本实用新型中上过水管的结构示意图；
[0015]图4为本实用新型中下过水管的结构示意图；
[0016]图5为本实用新型中冷凝块的结构示意图；
[0017]图6为本实用新型中固定块的结构示意图；
[0018]其中，1-水冷限位组件、2-冷凝块、3-镜筒、4-固定块、11-上过水管、12_下过水管、13-进水口、14-渗透孔A、15-挡块A、16-出水口、17-渗透孔B、18-挡块B、21-上水口、22-下水
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【具体实施方式】
[0019]为使对本实用新型的结构特征及所达成的功效有更进一步的了解与认识，用以较佳的实施例及附图配合详细的说明，说明如下:
[0020]如图1所示，本实用新型所述的一种适用于不同管径的光学镜筒水冷装置，包括镜筒3，镜筒3在工作时会产生由于高温而导致的变形，因此在此采用水冷限位组件I进行限制降温。水冷限位组件I的主要作用是在镜筒3的外侧形成一个水循环冷却系统，以克服镜筒3工作时产生的高温；另一个辅助作用是对镜筒3变形的限制，若水冷限位组件I的冷却无法克服镜筒3的高温时，由于水冷限位组件I限制在镜筒3的外围，则可以对镜筒3的热胀变形起到一定的抵制作用。
[0021 ] 如图2所示，水冷限位组件I包括上过水管11、下过水管12和冷凝块2。如图3所示，上过水管11的前端(一端)设有进水口 13，上过水管11的尾端(另一端)设有挡块A15，冷却水从进水口 13进入，到挡块A15截止。同时，上过水管11上设有渗透孔A14，因此冷却水从进水口 13进入后，从渗透孔Al4流出。如图4所示，下过水管12的前端(一端)设有出水口 16，下过水管12的尾端(另一端)设有挡块BI8，冷却水从出水口 16流出，而下过水管12上设有渗透孔B17，因此冷却水在下过水管12上是从渗透孔B17流入，再从出水口 16流出。如图5所示，冷凝块2为中空结构，冷凝块2的上部开有上水口 21，冷凝块2的下部开有下水口 22，上水口 21与下水口 22相通，即从上水口 21进入的冷却水经过冷凝块2的中部再从下水口 22流出。冷凝块2在此不仅起到针对镜筒3的降温作用，还起到了连接上过水管11和下过水管12水路循环的作用。冷凝块2的上部安装在上过水管11上且上水口 21抵在渗透孔A14上，即上过水管11的渗透孔A14流出的冷却水直接进入到冷凝块2的上过水管11中。为了简化冷凝块2与上过水管11的安装方式，也为了增加两者之间的密封性，可以在冷凝块2上围绕上水口 21的一圈粘有AB胶，冷凝块2通过AB胶粘接在上过水管11上。这样AB胶不仅将冷凝块2与上过水管11粘接起来，还可以在上水口 21的周围起到了密封作用，防止冷却水的泄露。冷凝块2的下部安装在下过水管12上且下水口 22抵在渗透孔BI 7上，同理，冷凝块2的下水口 22流出的冷却水直接进入到下过水管12的渗透孔B17内。同样，在此针对下水口 22与渗透孔B17的密封(冷凝块2与下过水管12的安装)也可以采用AB胶的粘接方式。
[0022]如图1所示，上过水管11和下过水管12均环绕安装在镜筒3的外壁，由于上过水管11和下过水管12均与冷凝块2安装，则冷凝块2也环绕安装在镜筒3的外壁，为了起到冷却效果，将冷凝块2贴在镜筒3的外壁上，在镜筒3的外壁上形成以上过水管11、冷凝块2和下过水管12三者组成的冷却水降温循环系统。
[0023]在此，针对冷凝块2可以将其在形状上设计成弧形，围绕镜筒3进行布置。也可以如图2所示，将冷凝块2设计成条形，通过多个冷凝块2与上过水管11和下过水管12的安装形成在镜筒3的围绕布置，这时，渗透孔A14、渗透孔B17和冷凝块2三者的数量均相同，都为多个。即一个渗透孔A14对应一个冷凝块2，并且对应一个渗透孔B17。如图6所示，下过水管12在镜筒3外壁的围绕安装可以采用固定块4，固定块4为“几”字形。固定块4利用凸起的部分将下过水管12的前端压在挡块B18上，固定块4再与挡块B18通过螺栓安装，从而将下过水管12围绕安装在镜筒3外壁。
[0024]在实际使用时，进水口13接冷却水进水管，出水口 16接冷却水出水管。冷却水从进水口 13进入，流入过水管11的内部，再从渗透孔A14经上水口 21流入冷凝块2，从冷凝块2穿过后从下水口 22流出，经渗透孔B17流入下过水管12，最终从下过水管12的出水口 16流出装置，形成针对镜筒3的冷却降温水循环系统，达到针对镜筒3的降温目的，避免镜筒3使用时的受热变形。
[0025]以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型的范围内。本实用新型要求的保护范围由所附的权利要求书及其等同物界定。
【主权项】
1.一种适用于不同管径的光学镜筒水冷装置，包括镜筒(3)，其特征在于:还包括水冷限位组件(I)，所述的水冷限位组件(I)包括上过水管(11)、下过水管(12)和冷凝块(2)，上过水管(11)的前端设有进水口( 13)，上过水管(11)的尾端设有挡块A( 15 )，下过水管(12 )的前端设有出水口( 16)，下过水管(12)的尾端设有挡块B( 18)，冷凝块(2)为中空结构，冷凝块(2)的上部开有上水口(21)，冷凝块(2)的下部开有下水口(22)，上水口(21)与下水口(22)相通； 上过水管(11)上设有渗透孔A( 14)，下过水管(12 )上设有渗透孔B(17)，冷凝块(2 )的上部安装在上过水管(11)上且上水口(21)抵在渗透孔A( 14)上，冷凝块(2)的下部安装在下过水管(12)上且下水口(22)抵在渗透孔B( 17)上，上过水管(11)和下过水管(12)均环绕安装在镜筒(3 )的外壁且冷凝块(2 )贴在镜筒(3 )的外壁上。2.根据权利要求1所述的一种适用于不同管径的光学镜筒水冷装置，其特征在于:所述的渗透孔A(14)、渗透孔B(17)和冷凝块(2)三者的数量均为若干个。3.根据权利要求1所述的一种适用于不同管径的光学镜筒水冷装置，其特征在于:还包括固定块(4)，固定块(4)为“几”字形，固定块(4)将下过水管(12)的前端压在挡块B(IS)上且固定块(4)与挡块B(IS)通过螺栓安装。4.根据权利要求1所述的一种适用于不同管径的光学镜筒水冷装置，其特征在于:所述的冷凝块(2)上围绕上水口(21)的一圈粘有AB胶，冷凝块(2)通过AB胶粘接在上过水管(11)上。
【文档编号】F25D1/02GK205536739SQ201620109031
【公开日】2016年8月31日
【申请日】2016年2月3日
【发明人】沈显勇
【申请人】合肥亚歌半导体科技合伙企业（有限合伙）