一种金刚石线锯切割硅片的清洗生产线的制作方法

本实用新型涉及硅片制造技术领域，尤其涉及一种金刚石线锯切割硅片的清洗生产线。

背景技术：

现有的中国专利数据库中公开了硅片清洗装置，其申请号为201710294092.2，申请日为2017.04.28，申请公布号为CN106955864A，申请公布日为2017.07.18，该装置包括清洗槽，还包括环状清洗机架，环状清洗机架上设有输送轨道，输送轨道上设有多个硅片输送托架，输送轨道包括输送直道、与输送直道相连接的输送斜波道以及环状机架两端的环形输送道，在环形清洗机架的直线段设有清洗室，环形清洗机架的在另一直线段处设有干燥室，清洗室内设有多个倾斜下沉清洗槽，输送轨道输送经过清洗室，倾斜下沉清洗槽内的槽内输送轨道具有槽内输送直道和槽内输送斜波段，倾斜下沉清洗槽两端均设有槽内输送斜波段，槽内输送斜波段高端头与上输送直道相连接，相邻倾斜下沉清洗槽相互间由上输送直道相输送连接；清洗室顶部设有多个上喷淋管，多个上喷淋管在清洗室内的高度采用可升降调节的结构方式，多个上喷淋管分别设置在内输送斜波段上方位置处，多个倾斜下沉清洗槽内底部均设有超声波清洗结构和加热结构；在环状清洗机架的一个环状端处设有多个环端倾斜下沉清洗槽，多个环端倾斜下沉清洗槽内底部均设有超声波清洗结构和加热结构。其不足之处在于：该清洗装置结构过于复杂，生产成本过高，且自动化程度较低，需要人为或其他装置将待清洗的硅片运送到清洗装置内，同时需要人为或其他装置将已清洗好的硅片从清洗装置内运出。

技术实现要素：

本实用新型的目的是针对现有技术存在的不足，提供一种自动化程度高的硅片清洗产线。

为了实现上述目的，本实用新型一种金刚石线锯切割硅片的清洗生产线所采取的技术方案：

一种金刚石线锯切割硅片的清洗生产线，包括有超声波清洗池，位于超声波清洗池外围设有旋转运送机构，位于旋转运送机构外围分别设有用于运送待清洗的硅片的第一输送装置以及用于运送已清洗的硅片的沥水输送装置，所述旋转运送机构包括有竖直设置的支撑杆，支撑杆上部套接有旋转套管，旋转套管的上部外周呈放射性铰接有多根连杆，各连杆的自由端设有向上翘起的弯钩部，所述旋转套管的下部外周呈放射性铰接有多个气缸，各气缸的活塞杆自由端与对应连杆的中部铰接，还包括有用于盛放硅片的提篮。

本实用新型工作时，操作人员使旋转套管转动，旋转套管上的任一连杆朝向第一输送装置设置，与朝向第一输送装置连杆对应的气缸活塞杆收缩，连杆的弯钩部下落到第一输送装置的正上方，第一输送装置启动，将盛放有待清洗的硅片的提篮运向落下的弯钩部，提篮的把手套在弯钩部上，气缸活塞杆伸长，连杆的弯钩部将盛放有待清洗硅片的提篮提起离开第一输送装置，然后操作人员使旋转套管转动，提有提篮的连杆运动到超声波清洗池上方时旋转套管停止，对应的气缸活塞杆收缩，提篮落到超声波清洗池内，超声波清洗池工作，清洗硅片，硅片清洗干净后，对应的气缸活塞杆伸长，将提篮拖出超声波清洗池，操作人员再使旋转套管转动，提有提篮的连杆运动到沥水输送装置上方时旋转套管停止，对应的气缸活塞杆收缩，提篮落到沥水输送装置上，弯钩部与提篮分离，启动沥水输送装置，将盛有硅片的提篮运送到下道工序。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果为：由于旋转运送机构与第一输送装置、超声波清洗池以及沥水输送装置相配合，旋转运送机构将待清洗的硅片运送到超声波清洗池清洗，再从超声波清洗池捞出放置到沥水输送装置上进入下道工序。

还包括有驱动电机，驱动电机的输出轴经连接件与旋转套管的端头传动连接，驱动电机使旋转套管有效地转动，提高生产效率。

所述连接件为单臂外啮合槽轮机构，单臂外啮合槽轮机构包括有安装在旋转套管端头上的槽轮，与槽轮相配合且铰接在驱动电机输出轴上的转臂，转臂的端头设有圆柱销，所述槽轮上开设有与圆柱销相配合的开口槽，单臂外啮合槽轮机构使旋转套管间歇性的转动，从而便于弯钩部提取或放下提篮，同时便于硅片在超声波清洗池内长时间清洗。

位于旋转运送机构外围还设有漂洗已清洗硅片的清水池。

所述沥水输送装置为输送辊台，第一输送装置为输送辊台或输送带。

所述超声波清洗池包括盛放洗涤液体的开口池以及设置在开口池内的若干超声波探头。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

图2为单臂外啮合槽轮机构的结构示意图。

其中，1超声波清洗池，2旋转运送机构，201支撑杆，202旋转套管，203连杆，204弯钩部，205气缸，206提篮，3第一输送装置，4沥水输送装置，5驱动电机，501连接件，502单臂外啮合槽轮机构，503槽轮，504转臂，505圆柱销，506开口槽，6清水池。

具体实施方式

如图1-2所述，为一种金刚石线锯切割硅片的清洗生产线，包括有超声波清洗池1，位于超声波清洗池1外围设有旋转运送机构2，位于旋转运送机构2外围分别设有用于运送待清洗的硅片的第一输送装置3以及用于运送已清洗的硅片的沥水输送装置4，位于旋转运送机构2外围还设有漂洗已清洗硅片的清水池6，旋转运送机构2包括有竖直设置的支撑杆201，支撑杆201上部套接有旋转套管202，旋转套管202的上部外周呈放射性铰接有多根连杆203，各连杆203的自由端设有向上翘起的弯钩部204，旋转套管202的下部外周呈放射性铰接有多个气缸205，各气缸205的活塞杆自由端与对应连杆203的中部铰接，还包括有用于盛放硅片的提篮206和驱动电机5，驱动电机5的输出轴经连接件501与旋转套管202的端头传动连接，驱动电机5使旋转套管202有效地转动，提高生产效率，连接件501为单臂外啮合槽轮机构502，单臂外啮合槽轮机构502包括有安装在旋转套管202端头上的槽轮503，与槽轮503相配合且铰接在驱动电机5输出轴上的转臂504，转臂504的端头设有圆柱销505，槽轮503上开设有与圆柱销505相配合的开口槽506，单臂外啮合槽轮机构502使旋转套管202间歇性的转动，从而便于弯钩部204提取或放下提篮206，同时便于硅片在超声波清洗池1内长时间清洗，沥水输送装置4为输送辊台，第一输送装置3为输送辊台或输送带，超声波清洗池1包括盛放洗涤液体的开口池以及设置在开口池内的若干超声波探头。

工作时，操作人员使驱动电机5工作，驱动电机5经单臂外啮合槽轮机构502间歇性的驱动旋转套管202转动，旋转套管202上的任一连杆203朝向第一输送装置3设置，与朝向第一输送装置3连杆203对应的气缸205活塞杆收缩，连杆203的弯钩部204下落到第一输送装置3的正上方，第一输送装置3启动，将盛放有待清洗的硅片的提篮206运向落下的弯钩部204，提篮206的把手套在弯钩部204上，气缸205活塞杆伸长，连杆203的弯钩部204将盛放有待清洗硅片的提篮206提起离开第一输送装置3，然后旋转套管202转动，提有提篮206的连杆203运动到超声波清洗池1上方时旋转套管202停止，对应的气缸205活塞杆收缩，提篮206落到超声波清洗池1内，超声波清洗池1工作，清洗硅片，硅片清洗干净后，对应的气缸205活塞杆伸长，将提篮206拖出超声波清洗池1，旋转套管202转动，提有提篮206的连杆203运动到清水池6上方时旋转套管202停止，对应的气缸205活塞杆收缩，提篮206落到清水池6内，漂洗硅片，硅片漂洗干净后，对应的气缸205活塞杆伸长，将提篮206拖出清水池6，旋转套管202转动，提有提篮206的连杆203运动到沥水输送装置4上方时旋转套管202停止，对应的气缸205活塞杆收缩，提篮206落到沥水输送装置4上，弯钩部204与提篮206分离，启动沥水输送装置4，将盛有硅片的提篮206运送到下道工序。

本实用新型并不局限于上述实施例，在本实用新型公开的技术方案的基础上，本领域的技术人员根据所公开的技术内容，不需要创造性的劳动就可以对其中的一些技术特征作出一些替换和变形，这些替换和变形均在本实用新型的保护范围内。