一种钨丝底部通气清洗改进装置的制作方法

本实用新型涉及钨丝生产技术领域，具体为一种钨丝底部通气清洗改进装置。

背景技术：

在设备钨5200应用材料(amat)使用底部持续气体清洗加热器波纹管以减少颗粒(p/d)影响并且在硬件设计中他们使用针阀控制底部气体清洗的流动。底部通气清洗的目的：在钨脱除期间，工艺气体将流入加热器波纹管，并且可能在加热器波纹管中形成薄的钨膜。因为加热器波纹管的温度低于腔室，加热器的波纹管总是上/下结构，所以加热器的波纹管中的薄膜会断裂并成为粒子源。底部清洗的气体管线连接到加热器的波纹管，并防止加热器波纹管中沉积钨，在这个过程中流过(氩气)ar1200sccm(流量单位)以继续吹扫加热器波纹管。

目前，现有的钨丝底部通气清洗装置利用针阀控制流量，这种设计只能提供稳定的流量，不能在不同状态下接收可变流量，实用性差。

因此，发明一种钨丝底部通气清洗改进装置来解决上述问题很有必要。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种钨丝底部通气清洗改进装置，以解决上述背景技术中提出的现有的钨丝底部通气清洗装置只能提供稳定的流量，实用性差的问题。

为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：

一种钨丝底部通气清洗改进装置，包括支撑架，所述支撑架的一侧上端固定连接有升降管安装架，所述升降管安装架内设有升降管，所述升降管内设有加热器，所述支撑架的一侧中部固定连接有上波纹管安装架，所述上波纹管安装架的顶端设有上波纹管，所述支撑架的一侧下端固定连接有下波纹管安装架，所述下波纹管安装架的顶端设有下波纹管，所述下波纹管的一侧底部固定连接有流量计，所述流量计的一端连通有底部清洗阀；

可选的，所述流量计为流量2000的流量计。

可选的，所述上波纹管和下波纹管相连通。

本实用新型的技术效果和优点：

本实用新型通过利用流量计代替针阀，能够在不同的状态下接收可变流量，方便了控制底部气体清洗，实用性强。

附图说明

图1为现有钨丝底部通气清洗装置的示意图；

图2为现有钨丝底部通气清洗装置的原理图；

图3为本实用新型装置的原理示意图。

图中：1、支撑架；2、升降管安装架；3、升降管；4、加热器；5、上波纹管安装架；6、上波纹管；7、下波纹管安装架；8、下波纹管；9、流量计；10、底部清洗阀。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接；可以是机械连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

本实用新型提供了如图1-3所示的一种钨丝底部通气清洗改进装置，包括支撑架1，支撑架1的一侧上端固定连接有升降管安装架2，升降管安装架2内设有升降管3，升降管3内设有加热器4，支撑架1的一侧中部固定连接有上波纹管安装架5，上波纹管安装架5的顶端设有上波纹管6，支撑架1的一侧下端固定连接有下波纹管安装架7，下波纹管安装架7的顶端设有下波纹管8，上波纹管6和下波纹管8相连通，下波纹管8的一侧底部固定连接有流量计9，流量计9为流量2000的流量计，流量计9的一端连通有底部清洗阀10，通过利用流量计9代替针阀，能够在不同的状态下接收可变流量，方便了控制底部气体清洗，实用性强。

该文中出现的电器元件均与外界的主控器及220v市电电连接，并且主控器可为计算机等起到控制的常规已知设备。

本实用工作原理：在沉降步骤的沉积步骤之前：由于底部气体清洗流量设置会影响一些工艺规格，钨阶梯覆盖和另一个特性，因此可以在中心和沉积期间使用低流量设置，沉淀配方的沉积步骤，清洁菜单和闲置吹扫菜单：为了减少颗粒p/d问题，在没有硅片的菜单中用高流量设置，如空闲吹扫菜单和清洁菜单。

最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换,凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

技术特征：

1.一种钨丝底部通气清洗改进装置，包括支撑架(1)，其特征在于：所述支撑架(1)的一侧上端固定连接有升降管安装架(2)，所述升降管安装架(2)内设有升降管(3)，所述升降管(3)内设有加热器(4)，所述支撑架(1)的一侧中部固定连接有上波纹管安装架(5)，所述上波纹管安装架(5)的顶端设有上波纹管(6)，所述支撑架(1)的一侧下端固定连接有下波纹管安装架(7)，所述下波纹管安装架(7)的顶端设有下波纹管(8)，所述下波纹管(8)的一侧底部固定连接有流量计(9)，所述流量计(9)的一端连通有底部清洗阀(10)。

2.根据权利要求1所述的一种钨丝底部通气清洗改进装置，其特征在于：

所述流量计(9)为流量2000的流量计。

3.根据权利要求1所述的一种钨丝底部通气清洗改进装置，其特征在于：

所述上波纹管(6)和下波纹管(8)相连通。

技术总结
本实用新型公开了一种钨丝底部通气清洗改进装置，涉及钨丝生产技术领域，该钨丝底部通气清洗改进装置，包括支撑架，所述支撑架的一侧上端固定连接有升降管安装架，所述升降管安装架内设有升降管，所述升降管内设有加热器，所述支撑架的一侧中部固定连接有上波纹管安装架，所述上波纹管安装架的顶端设有上波纹管，所述支撑架的一侧下端固定连接有下波纹管安装架，所述下波纹管安装架的顶端设有下波纹管，所述下波纹管的一侧底部固定连接有流量计，所述流量计的一端连通有底部清洗阀。本实用新型通过利用流量计代替针阀，能够在不同的状态下接收可变流量，方便了控制底部气体清洗，实用性强。

技术研发人员：顾泉
受保护的技术使用者：江苏旭宇腾半导体科技有限公司
技术研发日：2019.07.23
技术公布日：2020.06.30