一种蚀刻机除垢方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及电子行业玻璃减薄技术领域，尤其涉及一种蚀刻机除垢方法。
【背景技术】
[0002]蚀刻机是目前玻璃基板减薄的必要设备之一。随着蚀刻液的循环使用，蚀刻玻璃时所生成的氟硅酸(H2SiF6)浓度不断升高，蚀刻液中溶有的多种金属离子(Na+、K+、Ca2+)便会与H2SiF6形成相应的氟硅酸盐(如氟硅酸钠、氟硅酸钾、氟硅酸钙等)难溶物，混同其他酸不溶物一并在蚀刻机与酸液接触的各个设备部件表面结垢，形成坚硬致密的白色垢层。该类白色垢物经常会堵塞在管道、泵的进出口以及喷嘴出口处，降低了管道输送效率，严重影响喷淋效果，造成蚀刻机生产能力下降，使生产成本升高。
[0003]目前，对蚀刻机内部的结垢进行疏通和除垢常用的方法是配制一定浓度的强酸溶液定期清洗，然后再用高压水枪进行清水冲洗。但这种除垢方法并不理想，每次清洗耗时较长且不能彻底的清除掉结垢，随着生产的进行还会越积越厚。
【发明内容】
[0004]本发明的目的就是为了克服现有蚀刻机除垢存在的时间长、效果差的难题，提供的一种蚀刻机除垢方法。
[0005]本发明的技术方案为:
一种蚀刻机除垢方法，其特征在于它包含如下步骤:
1)、混合酸液浸泡，混合酸液是由质量百分比为5%-26 %的盐酸和10 %-38 %硫酸按体积比1:2比例配制，温度控制在20-25°C之间，酸液浸泡过程中采用机械或泵循环酸液；酸浸泡结束后用自来水进行第一次冲洗，清洗至pH=6-9之间；
2)、碱浸泡，碱液为质量百分比为15%-35 %的强碱溶液，温度控制在25-30°C之间，浸泡2小时，碱液浸泡过程中采用机械或泵循环碱液，碱液浸泡结束后用自来水进行第二次冲洗，清洗至pH=6-9之间；
3)、再用步骤一的混合酸液浸泡，浸泡温度控制20-25?之间，在泵循环流动作用下浸泡0.5小时，酸浸泡结束后用自来水进行第三次冲洗，清洗至pH = 6-9之间。
[0006]本发明的优点在于，除垢时间短，总时间一般需3.5小时左右。相比于其他除垢方法，时间上有了很大的缩减。除垢效果由之前的65 %左右提升到95 %以上。且浸泡除垢过程中对管道及它与酸液接触设备部件无损伤，对玻璃的蚀刻速度和蚀刻质量有了很好的
【具体实施方式】
[0007]实施例1
步骤一:配制质量百分比浓度分别为18 %的盐酸溶液和25 %的硫酸溶液的混合酸液，盐酸溶液和硫酸溶液按体积比1:2混合，将除垢零件浸泡于混合酸液中，浸泡温度控制20-25°C之间，在泵循环流动作用下浸泡0.5小时。酸浸泡结束后用自来水进行第一次冲洗，清洗至pH=6-9之间。
[0008]步骤二:然后用质量百分比浓度为24 %的氢氧化钠溶液浸泡除垢零件，浸泡温度控制25-30°C之间，在泵循环流动作用下浸泡2小时。碱浸泡结束后用自来水进行第二次冲洗，清洗至pH = 6-9之间。
[0009]步骤三:最后再用步骤一配制的混合酸液浸泡除垢零件，浸泡温度控制20_25°C之间，在泵循环流动作用下浸泡0.5小时。酸浸泡结束后用自来水进行第三次冲洗，清洗至pH = 6-9之间。结垢清除率达95%。
[0010]实施例2:
按实施例1同样操作，仅改变混合酸的质量百分比浓度和碱的百分比浓度:百分比浓度分别为盐酸9 %、硫酸10 %;氢氧化钠百分比浓度10 %。做相同测试，结垢清除率70%左右。
[0011]实施例3:
按实施例1同样操作，仅改变混合酸的质量百分比浓度和碱的百分比浓度:百分比浓度分别为盐酸26 %、硫酸37 %;氢氧化钠百分比浓度33 %，做相同测试，结垢清除率95 %左右。
【主权项】
1.一种蚀刻机除垢方法，其特征在于它包含如下步骤: 1)、混合酸液浸泡，混合酸液是由质量百分比为9%—26 %的盐酸和10 %-38 %硫酸，按体积比1:2比例混合配制组成，除垢零件浸泡于混合酸液中，温度控制在20-25°C之间，浸泡0.5小时，浸泡过程中采用机械或泵循环酸液，酸浸泡结束后用自来水进行第一次冲洗，清洗至pH=6-9之间； 2)、碱液浸泡，碱液为质量百分比为10%-35 %的强碱溶液，除垢零件浸泡于强碱溶液中，温度控制在25-30°C之间，浸泡2小时，浸泡过程中采用机械或泵循环碱液，浸泡结束后用自来水进行第二次冲洗，清洗至pH=6-9之间； 3)、再用步骤一的混合酸液对除垢零件浸泡，浸泡温度控制20-25?之间，在泵循环流动作用下浸泡0.5小时，浸泡结束后用自来水进行第三次冲洗，清洗至pH = 6-9之间。
【专利摘要】本发明涉及一种蚀刻机除垢方法，包括：1、除垢零件浸泡于由9%-26%的盐酸和10%-38%硫酸组成的混合酸液中，温度20-25℃，时间0.5小时，然后用自来水第一次冲洗，清洗至pH=6-9；2、除垢零件浸泡于10%-35%的强碱溶液中，温度25-30℃，时间2小时，然后用自来水第二次冲洗，清洗至pH=6-9；3、再用步骤一的混合酸液对除垢零件浸泡，温度20-25℃，时间0.5小时，然后用自来水第三次冲洗，清洗至pH=6-9。本发明的优点在于，除垢时间短，仅3.5小时，除垢效果由之前的65%左右提升到95%以上。除垢过程中对管道及它与酸液接触设备部件无损伤，对玻璃的蚀刻速度和蚀刻质量有了很好的提高。
【IPC分类】B08B11-04
【公开号】CN104668256
【申请号】CN201510100043
【发明人】彭寿, 茆令文, 鲍兆臣, 张少波, 杨金发, 陶明山
【申请人】安徽方兴科技股份有限公司, 蚌埠玻璃工业设计研究院
【公开日】2015年6月3日
【申请日】2015年3月7日