炉管的清洗台的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及半导体电子元器件制造技术领域，尤其涉及对炉管的清洗台提出的改进。
【背景技术】
[0002]传统工艺中，实际操作人员在对炉管进行清洗时，通常直接将炉管全部浸泡与酸液中并通过人工滚动炉管以达到炉管壁的清洗的目的。然而，这样的加工方式存在着酸液耗费量大、安全隐患高的缺陷。
[0003]对此，如国家局于2011年10月11日公告的一份名为“炉管清洗台”、申请号为“201120384709.8”的文献，该案中提出了一种以电机驱动从而对炉管进行清洗的技术方案，然而，此类操作方式仍需耗费大量的酸液。此外，由于炉管内常伴随有结痂、固化的残渣，因此，常规的浸泡手段可能存在清洗不完全的问题。
【实用新型内容】
[0004]本实用新型针对以上问题，提出了一种结构简单、使用效果好，使用时酸液消耗量低、安全性高且清洗效果好的炉管的清洗台。
[0005]本实用新型的技术方案为:包括台体、引流管、密封盖和两组滚轮，所述引流管平行设置在台体的上方、且引流管的一端通过支架与所述台体固定连接，两组所述滚轮沿所述引流管对称分布、且均通过滚轮架固定连接在台体的顶面上；所述炉管架设在两组所述滚轮上、且空套所述引流管，所述密封盖套接在所述引流管上、且与所述炉管的一端可拆卸的连接；
[0006]所述引流管分为引流部和出流部，所述出流部伸入所述炉管内，所述出流部远离所述引流部的一端呈密封状、且出流部的表面上设有若干出流孔。
[0007]若干所述出流孔均朝上设置。
[0008]所述清洗台还包括驱动装置，所述驱动装置包括电机和驱动盘，所述电机固定连接在台体的上方，所述驱动盘与所述密封盖相贴合、且在电机的驱动下驱动密封盖做旋转运动。
[0009]本实用新型使用时，可直接自引流部向引流管中注入酸液，从而使得酸液最终自出流孔中喷出，以冲洗的方式完成对炉管内壁的清洗。其清洗过程中酸液的耗费量极小，且有效完成了针对炉管内壁上的结痂、固化的残渣的清洗，清洗效果极好。此外，清洗时由于酸液均处于炉管内，也具有安全性高、使用效果好的特点。
【附图说明】
[0010]图1是本实用新型的结构示意图，
[0011]图2是图1的左视图，
[0012]图3是本实用新型的优化实施方式示意图；
[0013]图中I是台体，2是引流管，20是出流部，21是出流孔，3是密封盖，4是滚轮，5是电机，6是驱动盘，7是炉管。
【具体实施方式】
[0014]本实用新型如图1-3所示，包括台体1、引流管2、密封盖3和两组滚轮4，所述引流管2平行设置在台体I的上方、且引流管2的一端通过支架与所述台体I固定连接，两组所述滚轮4沿所述引流管2对称分布、且均通过滚轮架固定连接在台体I的顶面上；所述炉管7架设在两组所述滚轮4上、且空套所述引流管2，所述密封盖3套接在所述引流管2上、且与所述炉管7的一端可拆卸的连接；
[0015]所述引流管2分为引流部和出流部20，所述出流部20伸入所述炉管7内，所述出流部20远离所述引流部的一端呈密封状、且出流部20的表面上设有若干出流孔21。
[0016]若干所述出流孔21均朝上设置。从而避免了在炉管底部有酸液沉积后，无法再次对其内壁进行冲洗的问题，进一步提升了清洗效果和工作效率。
[0017]所述清洗台还包括驱动装置，所述驱动装置包括电机5和驱动盘6，所述电机5固定连接在台体I的上方，所述驱动盘6与所述密封盖3相贴合、且在电机5的驱动下驱动密封盖3做旋转运动。本实用新型利用密封盖尺寸大、摩擦系数大的特点，通过电机驱动驱动盘，再驱动密封盖，最终带动炉管做持续的旋转运动。
【主权项】
1.炉管的清洗台，其特征在于，包括台体、引流管、密封盖和两组滚轮，所述引流管平行设置在台体的上方、且引流管的一端通过支架与所述台体固定连接，两组所述滚轮沿所述引流管对称分布、且均通过滚轮架固定连接在台体的顶面上；所述炉管架设在两组所述滚轮上、且空套所述引流管，所述密封盖套接在所述引流管上、且与所述炉管的一端可拆卸的连接； 所述引流管分为引流部和出流部，所述出流部伸入所述炉管内，所述出流部远离所述引流部的一端呈密封状、且出流部的表面上设有若干出流孔。
2.根据权利要求1所述的炉管的清洗台，其特征在于，若干所述出流孔均朝上设置。
3.根据权利要求1或2所述的炉管的清洗台，其特征在于，所述清洗台还包括驱动装置，所述驱动装置包括电机和驱动盘，所述电机固定连接在台体的上方，所述驱动盘与所述密封盖相贴合、且在电机的驱动下驱动密封盖做旋转运动。
【专利摘要】炉管的清洗台。涉及半导体电子元器件制造技术领域。提出了一种结构简单、使用效果好，使用时酸液消耗量低、安全性高且清洗效果好的炉管的清洗台。包括台体、引流管、密封盖和两组滚轮，所述引流管平行设置在台体的上方、且引流管的一端通过支架与所述台体固定连接，两组所述滚轮沿所述引流管对称分布、且均通过滚轮架固定连接在台体的顶面上；所述炉管架设在两组所述滚轮上、且空套所述引流管，所述密封盖套接在所述引流管上、且与所述炉管的一端可拆卸的连接；所述引流管分为引流部和出流部，所述出流部伸入所述炉管内，所述出流部远离所述引流部的一端呈密封状、且出流部的表面上设有若干出流孔。具有安全性高、使用效果好的特点。
【IPC分类】B08B13-00, B08B9-032
【公开号】CN204365671
【申请号】CN201420843449
【发明人】王万世, 王毅
【申请人】扬州扬杰电子科技股份有限公司
【公开日】2015年6月3日
【申请日】2014年12月26日