专利名称：过滤机、过滤机的反洗方法、过滤装置及发电设备的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种为除去高温水中所包含的固态杂质的过滤机及其逆洗方法、带有过滤机的过滤装置及设置该过滤机或过滤装置的发电设备。
背景技术：
在现有的发电设备中，在除去从冷凝器的结构材料或配管材料所生成的固态悬浊物、主要是铁的氧化物时，在对给水加热之前采用聚乙烯制空心丝膜过滤器及褶裥(百褶)型过滤器等的过滤机。
另外，在对给水加热后的高温水中除去固态悬浊物时，采用了金属过滤器、电磁过滤清器等(例如，参照特开平10-339793号公报)但是，采用上述过滤器的过滤机，为了抑制热传导阻碍及在配管内面的腐蚀，设置了具有降低悬浊物浓度机构的过滤器或过滤材料，但是由于上述聚乙烯制的空心丝膜过滤机的耐热温度在60°左右，所以不能在给水加热器中配置使用。在给水中存在的悬浊物也发生在给水加热器中。
另外，金属过滤器存在化学上不稳定，使用的金属材料溶解析出，或者金属表面腐蚀形成氧化皮膜，过滤器的孔堵塞等问题，而对电磁过滤器来说，其除铁性能受很大地悬浊物的性质和状态所左右。
另外，一般耐热性空心状多孔膜过滤器组件中，所熟知的制造方法是在外筒和空心状多孔膜的间隙中注入环氧树脂、聚氨基甲酸酯树脂、硅酮树脂等低粘度的树脂，加热硬化密封(例如，参照特公昭44 5526号公报、特公昭56-40602号公报)。
但是，作为从进行高度水质管理的发电厂的给水及加热器排出等100℃以上的高温水中除去固态悬浊物的过滤器来说，即使空心状多孔膜的材料本身从耐热性及溶解析出性的观点看具有充分的性能，但从作为密封剂使用的这些树脂的溶解析出量多、溶解析出性不足够，从而将这些树脂用于过滤器是困难的。
为了解决这一问题，提出了通过将上述空心状多孔膜由氟化乙烯树脂制作，由热熔化性氟化乙烯树脂对该空心状多孔膜进行密封，具有耐热性、并且只用溶解析出量少的氟化乙烯树脂制造过滤器组件的方法(例如，参照特许第2993217号公报)。
图21是表示用上述方法所得到的空心状多孔膜过滤器组件密封部一例的断面图。
如图21所示，空心状多孔膜过滤器组件104的构成是在外筒101的内侧由热熔化性树脂的聚四氟乙烯/六氟丙烯共聚合体(FEP)对作为一种氟化乙烯树脂的聚四氟乙烯(PTFE)制的空心多孔膜102进行密封，形成FEP的支撑部103。外筒101可以使用不锈钢等金属、PTFE、FEP、四氟乙烯/全氟烃基乙烯醚共聚合体(PFA)等。作为密封剂可以使用的热熔化性树脂是氟化乙烯树脂FEP、PFA。
在该方法中，由于可以只由金属和氟化乙烯树脂、或者只由氟化乙烯构成过滤器组件，所以作为分离发电厂的高温水中所包含的固态悬浊物的过滤器，从必要的耐热性及溶解析出性的观点看比有上述问题的过滤器有所改善。
为此在上述现有发电设备中，为了防止水中包含的悬浊物及溶解成分向配管的析出、堆积所造成的传热性能的降低、或泵的振动等，而设置过滤机及脱盐装置，用于除去水中的悬浊物及离子。
但是，对低温的冷凝水，虽然可以设置上述聚乙烯制过滤器的过滤机，除去固态悬浊物，但对除去在高温水中发生的固态悬浊物，由于用上述聚乙烯制过滤器其耐热温度低，所以不能适用于100℃以上的高温水。
另外，在100℃以上的给水中使用的金属过滤器，由于化学不稳定，或固态物析出而使孔眼堵塞、或从水质管理标准看从原料溶解析出成分造成水质污染，所以很难在高温水中应用。
而对电磁过滤器来说能够除去的只是带磁性的悬浊物，所以过滤性能低，使除去分离的固态悬浊物的过滤器再生很困难。
另外，在如图21所示的过滤器中，无法回避处理发电厂高温水的热循环，热膨胀系数不同的不同材料的外筒101和支撑部103之间因热循环而伸缩剥离，过滤器组件104容易破损。
另外，在作为冷凝水过滤用的过滤机中，可以对构成过滤器的空心丝膜进行反洗再生。这时，采用了利用的比气体能通过膜的压力(阀门点)低的压力，气体不能通过膜的性能，加比阀门点低的压力压出过滤机上部空间的水，除去在膜表面堆积的固态悬浊物的方法。
另一方面，当在发电设备中所用的阀门点比反洗时的压力高时，可以使用现有的方法，但是阀门点低的填充材料或膜，当反洗时通过气体时就进行了疏水化，还需要亲水化处理工序，系统净化处理要花多余的时间，还需要药液处理。
另外，由于在高温使用的过滤器不能在高温下直接反洗，所以需要在冷却后进行反洗，加热再起动。为此，需要冷却及加热的设备，另外冷却·加热要花很长时间，直到再起动需要很长时间。
本发明要解决的课题如上所述，在现有技术中存在的问题是，由于用聚乙烯制的空心丝膜过滤机时的耐热温度为60℃左右，所以在给水加热器中不能使用，而用金属过滤器时化学不稳定，或者使用的金属材料溶解析出，或因孔的腐蚀(形成氧化皮膜)而堵塞，而用电磁过滤器时除铁性能受悬浊物性质和状态所左右等。
另外，在如图21所示的过滤器中的问题是，无法回避处理发电厂高温水的热循环，热膨胀系数不同的不同种材料的外筒101和支撑部103之间因热循环而伸缩，容易使空心状多孔膜102破损，引起过滤器原材料造成的水质污染。另外该过滤器再生困难，在要求高度水质管理和长期稳定性的发电厂中很难作为除去高温水中包含的固态悬浊物的过滤器使用。
另外，在现有的过滤机反洗技术中的问题是，当过滤器是阀门点低的填充材料或膜时，由于反洗通过气体时造成疏水化，而需要过滤器的亲水化处理工序，系统的净化处理时间花的更多，还需要药液处理，另外，高温使用的过滤器不能在高温下直接反洗，所以要冷却以后进行反洗，需要加热再起动，需要为冷却及加热的设备，冷却·加热要花很长时间，到再起动需要很长时间。
发明的内容本发明考虑到上述情况，其目的在于提供一种过滤机及过滤机的反洗方法，化学稳定、不考虑从过滤器的溶解析出，可以良好地除去高温水中所包含的悬浊物，可以从过滤器的溶解析出少、满足管理水质，可以防止因热循环造成过滤器的破损及透水性能的降低。
另外，本发明的另一目的在于提供一种采用上述过滤机的过滤装置，不需要复杂的设备和每次反洗操作的亲水化处理，而通过简单的设备构成在高温下可进行反洗。
另外，本发明的又一目的在于提供一种发电设备，可以使用上述过滤机或过滤装置，从给水或加热器排水等的高温水中除去固态悬浊物。
为了解决上述问题，本发明采取以下技术方案作为过滤材料，对特别是超过150℃的高温水中也不会从过滤器溶解析出材料，对化学稳定的材料进行各种选定的结果可知氟化乙烯树脂可满足这一条件。但是，由于氟化乙烯树脂制的过滤器是对过滤器原材料拉伸制造的，所以当使用时与高温水接触时，存在过滤器变形，透水性能降低，或者因热循环使过滤器破损的情况。
为此，发明1所涉及的一种过滤机，其特征在于在分别连接流入被处理液的被处理液流入管道及流出处理液的处理液流出管道的容器内，设置对上述被处理液进行过滤的氟化乙烯树脂制过滤器，并且该氟化乙烯树脂制过滤器是在使用前至少在气体中及液体中的一方中进行了加热的热处理的过滤器。
根据本发明，通过在容器内设置过滤被处理液的氟化乙烯制过滤器，可以在高温水中有耐久性，特别是可以可靠地除去在超过150℃的高温水中包含的悬浊物。在200℃热水中浸渍时，从氟化乙烯树脂从溶解析出的氟在100ppt以下，该浓度不会造成配管材料的腐蚀，可以很好的保持处理液的水质，可以减低悬浊物。另外，根据本发明，通过使用前在氟化乙烯树脂熔点(327℃)以下的温度在气体及液体的某一种中进行热处理，预先除去氟化乙烯树脂过滤器制造时的残留应力，可以防止由与过滤器使用时的高温水间接触造成过滤器变形所引起的透水性能的降低，并且很难发生过滤器原材料和支撑部间粘接部的破损。
在过滤器的热处理温度不到100℃时，从氟化乙烯树脂溶解析出的氟量增加，并且透水性能明显降低。另外，即使过滤器的热处理温度超过250℃时，如果保持时间不足1小时，则透水性能也是良好的，不过从氟化乙烯树脂中溶解析出的氟量增加。另外，当过滤器的热处理温度为100℃～250℃、并保持时间不足1小时时，则从氟化乙烯树脂中溶解析出的氟量增加，并且透水性能下降。
为此，本发明2，其特征在于上述热处理包括在100℃～250℃的温度，并且1个小时以上保持上述氟化乙烯树脂制过滤器的工序。
根据本发明，通过在上述温度条件下进行处理，可以除去由过滤器使用时与高温水间接触造成过滤器原材料变形引起透水性能的下降，及过滤器原材料和过滤器支撑部破损的原因所造成的制造时的残留应力。
本发明3，其特征在于上述氟化乙烯树脂制过滤器是在使用前透过由热水及蒸气中的某一种构成的流体进行了流体透过处理的过滤器。
根据本发明，由于可以对过滤器进行热处理除去制造时的残留应力，所以可得到稳定的透水性能，并且可以防止过滤器原材料和过滤器支撑部的破损，还由于透过热水及蒸气中的一种予先除去溶解析出成分，所以可以防止水质污染。
另外，根据本发明，由于可以对过滤器进行热处理除去制造时的残留应力，所以可以得到稳定的透水性能，并且可以防止过滤器原材料和过滤器支撑部的破损，还由于透过热水及蒸气中的一种予先除去溶解析出成分，所以可以防止水质污染。
本发明4，提供一种过滤机，其特征在于在分别连接流入被处理液的被处理液流入管道及流出处理液的处理液流出管道的容器内，设置对上述被处理液进行过滤的氟化乙烯树脂制过滤器，并且该氟化乙烯树脂制过滤器是在使用前透过由热水及蒸气中的某一种构成的流体进行了流体透过处理的过滤器。
根据本发明，通过在过滤器透过高纯度的热水及蒸气中的一种，可以由清洗或材料改质予先除去在高温下使用过滤器时在水中溶解析出的成分，可以防止在使用过滤器时从过滤器对水质污染。
本发明5，其特征在于在上述流体透过处理中透过氟化乙烯树脂制过滤器的流体的温度为100℃～250℃，上述流体的过滤器通过时间为1小时以上。
根据本发明，在上述的温度、时间条件下，通过在过滤器上透过热水，可以用短时间除去溶解析出成分，可以防止使用过滤器时从过滤器对水质污染。另外，根据本发明，在上述条件下通过在过滤器上通过蒸气，可以用短时间除去溶解析出成分，可以防止使用过滤器时从过滤器对水质污染。
本发明6，其特征在于上述流体是热水，并且是至少包含发电设备的PH值、溶解在水中的氧浓度及化学成分的一部分的水质。
根据本发明，通过在与过滤器的使用环境相同或类似的水质的热水中进行透过处理，比只用热水可更高效地用洗净或材料改质予先除去高温下使用过滤器时在水中溶解析出的成份，可以比只用热水可以抑制降低使用过滤器时从过滤器的水质粘污。
本发明7，其特征在于上述氟化乙烯树脂制过滤器是从空心状、褶裥状、平膜状及管状中所选择的形状。
根据本发明，不论过滤器的形状如何，都可得到稳定的透水性能及水质污染少的氟化乙烯树脂制的过滤器。
本发明8，其特征在于至少包括除去附着在上述氟化乙烯树脂制过滤器表面的悬浊物的反洗设备及清洗设备的一种。
根据本发明，通过用反洗设备或清洗设备对氟化乙烯树脂制过滤器进行反洗或清洗，可以去掉附着在氟化乙烯树脂制过滤器表面上的悬浊物污染。另外，在氟化乙烯树脂制过滤器表面上游动附着的悬浊物，可以通过用水及空气的反洗设备除去。这样，可以在不更换氟化乙烯树脂制过滤器的情况下进行再使用，并可以良好地保持处理液的水质。
本发明9，其特征在于上述氟化乙烯树脂制过滤器由多个空心状多孔膜构成，以比上述氟化乙烯树脂的熔点低的热熔化性氟化乙烯树脂，对这些空心状多孔膜的端部进行熔敷，形成支撑部。
根据本发明，删去了由热循环使不同材料的伸缩大、粘接部剥离引起空心状多孔膜破损的外筒，不同材料接触只是在空心状多孔膜和密封部之间，从而可以减小由热循环造成不同材料的伸缩，很难发生空心状多孔膜的破损。
本发明10，其特征在于上述氟化乙烯树脂制过滤器由多个空心状多孔膜构成，以上述氟化乙烯树脂对这些空心状多孔膜的端部进行熔敷，形成支撑部，以比这些熔点低的热熔化性氟化乙烯树脂，对上述空心状多孔膜和上述支撑部之间进行熔化密封，形成密封部。
根据本发明，没有外筒，粘接的只是空心状多孔膜和密封部，及密封部和支撑部之间，可以减小由热循环造成不同材料的伸缩，很难发生空心状多孔膜的破损。
本发明11提供一种过滤机的反洗方法，其特征在于具有在使用前至少利用气体和液体中的一方进行加热处理的氟化乙烯树脂制过滤器；分离为在过滤处理时有被处理液，通过上述氟化乙烯树脂制过滤器实施过滤处理的第1空间，及位于该第1空间的上方，在过滤处理时有处理液的第2空间；包括第1反洗处理，用于从上述过滤机的上述第2空间一侧供给由水、空气、水蒸气中的一种或者其组合组成的反流体，通过上述氟化乙烯树脂制过滤器后，向上过滤机的外部排出；及第2反洗处理，用于从过滤机的第1空间一侧供给水，经过上述氟化乙烯树脂制过滤器后，从上述过滤机的上述第2空间一侧向外部排出。
根据本发明，通过并用2个反洗处理，可以有效去掉随着过滤操作而附着在过滤器表面上的悬浊物粘污。
本发明12，其特征在于在上述第2反洗处理时，调整供给上述过滤机的水的流量，使上述过滤机的上述第1空间的压力和上述第2空间的压力差在上述氟化乙烯树脂制过滤器的阀门点以上。
根据本发明，通过使第2反洗时水流流畅，可以用短时间、高效进行反洗处理。
本发明13，其特征在于在上述第1反洗处理和上述第2反洗处理之间进行发泡处理，即从上述过滤机的上述第1空间一侧供给发泡气体，在摇动上述氟化乙烯树脂制过滤器之后将上述发泡气体向上述过滤机的外部排出。
这样，播动过滤器，可更可靠地去掉附着在过滤器上的悬浊物，并且由于将沉降在过滤机下部的悬浊物排出到外部，所以可以更有效地进行反洗处理。
本发明14提供一种过滤装置，其特征在于包括在分别连接流入被处理液的被处理液流入管道和流出处理液的处理液流出管道的容器内，设置对上述被处理液进行过滤的过滤器构成的过滤机；及对该过滤机供给反洗用水的反洗罐；上述反洗罐通过使水容易通过而使气体难于通过的隔断分割为2个室，该2个室是连接可进行压力控制的气体供给管道和供给反洗用补给水的补给水管道的第1室、及连接在上述过滤机处理液积存处侧的第2室。
根据本发明，利用反洗罐的隔断可以通过水、难以通过气体的情况，可以只将充满隔断上部的水瞬时供给过滤机上部水积存处进行反洗。由于气体通过过滤器使包含的水蒸发，不会使过滤器疏水化，所以不需要亲水化处理，节省了亲水化及其后的净化时间，可以大幅度缩短到再起动的时间，并且由于不需要亲水化中使用的药品及其处理，所以可以减少废弃物的发生。与其他机械方式瞬间只供给一定量的水的装置规模大相比，本发明只用隔断就可控制水供给量，可使装置简单化。
本发明15，其特征在于包括第1漏泄阀，设置在上述过滤机的处理液积存处一侧上连结的第1漏泄管道上，将上述过滤机的处理液积存处一侧内的气体排出到外部；及第2漏泄阀，设置在上述反洗罐的第1室一侧上连结的第2漏泄管道上，将上述反洗罐的第1室内的气体排出到外部。
根据本发明，在反洗操作前打开连结过滤机上部的水积存处的漏泄阀，经反洗罐供给补给水，可以用水置换过滤机上部水积存处中聚集的气体，在接着的反洗操作中气体通过过滤器，可以更有效避免过滤器进行疏水化。另外，通过在反洗罐的补给水连结的室中设置漏泄阀，可以在反洗后立即用水置换罐内的气体，可以用短时间反复进行反洗。
本发明16，其特征在于上述反洗罐的隔断，是亲水性的充填物或膜。
根据本发明，通过使隔断为亲水性的填充物或膜，可以提高气体和水的分离性能，可以减少气体通过隔断的量，可以使过滤器更难疏水化。
本发明17，其特征在于上述反洗罐的隔断为平膜、褶裥状、园筒状或空心丝状。
根据本发明，通过使隔断为平膜、褶裥状、圆筒状、空心丝状，增大面积，可以抑制降低隔断的压损，可缩短反洗水的注入时间，提高反洗效率。
本发明18提供一种过滤装置，其特征在于包括在分别连接流入被处理液的被处理液流入管道和流出处理液的处理液流出管道的容器内，设置对上述被处理液进行过滤的过滤器构成的过滤机；从该过滤机的上述被处理液流入端排出的排出管道；及在该排出水管道上所设置的冷却器。
根据本发明，可以不带入反洗水，而利用过滤机内部的高温高压水进行过滤机的反洗。由于是使过滤机内部的高温高压水的压力降低膨胀的同时拔出时，由冷却器反回排出到水中，所以不需要大的急冷罐。另外，过滤机上部的水积存处部分的水最初由于压力高，所以是液体状态，当压力下降时则沸腾形成蒸气，体积急骤膨胀。从而，在沸腾后蒸气以很大的线速度大量通过过滤器，所以可以用过滤机的处理液积存处的高温高压水进行过滤器的反洗。另外，由于通过过滤器的只有蒸气，所以可以避免疏水化。
本发明19，其特征在于在上述过滤机的容器内的上述处理液流出管道一侧连接了供给蒸气的蒸气管道。
根据本发明，由于可以从过滤机的处理液一侧发生的蒸气之外供给蒸气，所以可以对反洗供给足够的需要蒸气，完全能够从过滤器除去固态悬浊物。
本发明20，其特征在于上述过滤机的过滤器是氟化乙烯树脂制过滤器，该过滤器在使用前进行了至少在气体及液体的一方中加热的热处理，或者在使用前进行了使由热水及蒸气的一种形成的流体透过的透过处理。
本发明21提供一种发电设备，其特征在于包括蒸气发生装置；由该蒸气发生装置所供给的蒸气驱动的汽轮机(透平机〕；将从该汽轮机的排出蒸气为冷凝水的冷凝器；从该冷凝器对上述蒸气发生装置供给冷凝水的给水管道；在该给水管道上设置的加热器；及连接在上述给水管道上、将从上述加热器所排出的排水再次供给上述加热器的加热器排水管道；将权利要求1或4所述的过滤装置至少配置在上述给水管道、及上述加热器排出管道的一方上。
根据本发明，通过在给水管道或加热器排水管道上插入上述过滤机，可以减低给水中或加热器排水的悬浊物，由该悬浊物减低效果，可以减少配管内面上腐蚀、减少传热管表面附着悬浊物引起的传热阻碍、及减少传热管清洗频率。
另外，根据本发明的发电设备，通过予先除去过滤器的残留应力及溶解析出成分，可以以稳定的透水性能在没有水质污染的情况下，从加热器排水及给水等的高温水中除去固态悬浊物。
本发明22提供一种发电设备，其特征在于包括蒸气发生装置；由该蒸气发生装置所供给的蒸气驱动的汽轮机；将从该汽轮机的排出蒸气变为冷凝水的冷凝器；从该冷凝器对上述蒸气发生装置供给冷凝水的给水管道；在该给水管道上设置的加热器；及连接在上述给水管道上、将从上述加热器所排出的排水再次供给上述加热器的加热器排水管道；将发明1或4所述的过滤装置至少配置在上述给水管道、及上述加热器排出管道的一方上。
根据本发明，由于可以除去由冷凝水、给水、高压加热器及低压加热器中发生的固态悬浊物，所以可以减低由固态悬浊物造成的腐蚀，并且可以降低对蒸气发生器内面附着固态物造成的传热效率。
另外，根据本发明，由于可以除去在给水、高压加热器及低压加热器上发生的固态悬浊物，所以可以减低固态悬浊物造成的腐蚀，并且可以降低向蒸气发生器内面附着固态物的传热效率。
附图的简要说明
图1是表示本发明第1实施例的过滤机的构成图。
图2(A)、(B)是表示在第1实施例中，设置在罐内的氟化乙烯树脂制过滤器形成空心状例子的概略图。
图3是表示在第1实施例中，设置在罐内的氟化乙烯树脂制过滤器形成褶裥状例子的概略图。
图4是表示本发明的第2实施例的过滤机的构成图。
图5是表示本发明的第3实施例为调制过滤机的过滤器组件的装置构成图。
图6是表示本发明的第4实施例的过滤器组件非热处理和热处理的差压和透水性能的关系图。
图7是表示本发明的第4实施例为调制过滤机的过滤器组件的装置构成图。
图8是表示本发明的第4实施例从氟化乙烯树脂制的空心状多孔膜在热水中氟溶解析出速度的时间变化图。
图9是表示本发明的第5实施例的过滤机的组件密封部的断面图。
图10是表示本发明的第6实施例的过滤机的组件密封部的断面图。
图11是本发明的第7实施例具有气体反洗设备的高温过滤装置的系统图。
图12是本发明的第8实施例利用高温高压水的膨胀，进行反洗的高温过滤装置的系统图。
图13是本发明的第9实施具有蒸气反洗设备的高温过滤装置的系统图。
图14是表示本发明的第10实施例的发电设备的系统图。
图15是表示本发明的第11实施例的发电设备的系统图。
图16是表示本发明的第12实施例的发电设备的系统图。
图17是表示本发明的第13实施例的发电设备的系统图。
图18是表示本发明的第14实施例的发电设备的系统图。
图19是表示本发明的第15实施例的发电设备的系统图。
图20是表示本发明的第16实施例的发电设备的系统图。
图21是表示现有的空心状多孔膜的过滤器组件密封部一例的断面图。
(发明的实施例)下面参照附图对本发明所涉及的过滤机、过滤装置及发电设备的实施例进行说明。
第1实施例(图1～图3)图1是表示本发明的第1实施例的过滤机的构成图。如图1所示，过滤机1具有作为容器的罐2，该罐2在内部设置有氟化乙烯树脂制过滤器3，同时在底部连接流入被处理液的被处理液流入管道4a，并且在上部通过氟化乙烯树脂制过滤器3连接使过滤处理液流出的处理液流出管道4b。此处被处理液是指由过滤器3进行过滤处理之前的溶液，处理液是指由过滤器3过滤的溶液。
被处理液流入管道4a例如是从发电设备的冷凝器与压力容器或蒸气发生装置(图中未画出)连接的给水管道等，在给水中包含铁等悬浊物的管道。氟化乙烯树脂制过滤器3由氟化乙烯树脂(PTFE)形成空心状或褶裥状，其表面穿有多个孔径为0.01μm～0.5μm的细孔。最好设定孔径为0.05μm～0.45μm。
在氟化乙烯树脂制过滤器3中，采用了在接近或超过使用温度下的温度的热水或气体中进行热处理1个小时以上的过滤器。
图2(A)、(B)是表示在本实施例中罐2内设置了氟化乙烯树脂制过滤器形成空心状过滤器例子的概略图，图2(A)表示氟化乙烯制空心状过滤清器设置成U字形的例子，图2(B)表示氟化乙烯树脂制空心状过滤器设置为I字形的例子。
在图2(A)中，氟化乙烯树脂制空心状过滤器3a的两端由密封部5保持，氟化乙烯树脂制空心状过滤器3a设置成U字形。
在图2(B)中，氟化乙烯树脂制空心状过滤器3a的一端由密封部5保持，氟化乙烯树脂制空心状过滤器3a设置成I字形。
保持氟化乙烯树脂制空心状过滤器3a的密封部5配置在罐2内的上部，具有作为被处理液与处理液间隔板的功能，其材质选择在高温水中有耐久性的材料，例如不锈钢或四氟乙烯——六氟丙烯共聚合树脂(FEP)或PFA。
图3是表示在本实施例中罐2内设置的氟化乙烯树脂制过滤器形成褶裥状例子的概略图。如图3所示，氟化乙烯树脂制褶裥状过滤器3b一端由密封部5保持，而另一端通过由褶裥过滤器支撑板6所支撑的褶裥过滤器固定板7进行固定。
下面说明本实施例的作用。例如，从发电设备的冷凝器排出的被处理液通过被处理液流入管道4a流入罐2内，在该罐2内被处理液通过氟化乙烯树脂制过滤器3进行过滤。氟化乙烯树脂制过滤器3无论是氟化乙烯树脂制空心状过滤器3a还是氟化乙烯树脂制褶裥状过滤器3b中都同样进行过滤。
此处，在氟化乙烯树脂制过滤器3中设置了多个孔径为0.01μm～5μm的细孔，所以大于该直径的悬浊物收集在氟化乙烯树脂制过滤器3的表面上。这样过滤的处理液从罐2的上部经处理液流入管道4b，供给图中未画出的给水管道。
这样，本实施例的过滤机1，通过在罐2内设置了过滤被处理液的氟化乙烯树脂制过滤器3，可以在高温水中具有耐久性，特别可以可靠地除去在超过150℃的高温水中所包含的悬浊物。在浸清到200℃热水中时，从氟化乙烯树脂溶解析出的氟在100ppt以下，该浓度不会造成配管材料的腐蚀，可以良好地保持处理液的水质，可使悬浊物减少。另外，氟化乙烯树脂制过滤器3通过使用在接近或超过使用温度的温度下的热水或气体中加热处理1小时以上的过滤器，可以减少从过滤器材料溶解析出的杂质，可以良好地保持处理水的水质。
在本实施例中，氟化乙烯树脂制过滤器3的材质使用了四氟乙烯树脂，但是也可以使用其他氟化乙烯树脂。
第2实施例(图4)图4是表示本发明的第2实施例的过滤机的构成图。
在本实施例中与上述第1实施例相同或对应的部分采用了相同的标号，并且只说明与上述第1实施例不同的构成及作用。罐2内的结构是与上述第1实施例相同的。
本实施例为了除去附着在氟化乙烯树脂制过滤器3表面上的悬浊物，设置了可以进行反洗的设备，其反洗流体至少由从水、空气、水蒸气中选择的一种组成。即，如图4所示，在罐2的上部连接将反洗流体送入罐2内的反洗管道8的一端，该反洗管道8的另一端连接在反洗设备9上。罐2下部与反洗设备9之间由反洗管道8a连络。而且在罐2的下部，将反洗流体等排出到罐2外的流体排出管道10连接到位于罐2的处理液积存处下方的空间上。
另外，在罐2的下部，对罐2内供给发泡气体的发泡气体供给管道11的一端延伸到内部，在该发泡气体供给管道11的另一端上连接发泡气体供给设备12。
而且，在罐2的上部连接用于排出罐2的处理液积存处中流体等的流体排出管道13，并且在罐2的底部上连接了为将沉降到罐2底部的悬浊物排出的排出管道14。
下面说明本实施例的作用。在被处理液中包含的悬浊物附着氟化乙烯树脂制滤清器3表面上。假使不除去悬浊物直接继续进行过滤处理时，在罐2内部的压力损失加大，从而罐2的入口部和出口部间的压差变大，阻碍被处理液的流动，所以单位时间的处理量降低，处理效率下降。另外，悬浊物的一部分被压流出，使罐2出口部的水质恶化。
为此，为了良好的维持处理液的流量及水质，在达到一定压差时需要停止向过滤机1通水，利用水、空气、水蒸气等流体，去掉附着在氟化乙烯树脂制过滤器3表面上的悬浊物。过滤机1分为在过滤处理时有被处理液的第1空间、及位于其上方在过滤处理时有处理液的第2空间。对于具有该结构的过滤机，停止过滤操作，进行以下说明的2个反洗处理。
即，当关闭被处理液流入管道4a上设置的图中未画出的阀，停止从被处理液流入管道4a向罐2的通水后，第1反洗处理将由水、空气、水蒸气中的一种或其组合构成反洗流体从反洗设备经过反洗管道8供给罐2内的第2空间一侧，该反洗流体通过第1空间一侧的氟化乙烯树脂制过滤器3，与其表面上附着悬浊物一起从流体排出管道10排出。通过该操作，除去氟化乙烯树脂制过滤器3表面上附着的悬浊物。
第2反洗处理，从反洗设备经过反洗管道8a将水供给罐2的第1空间一侧，通过氟化乙烯树脂制过滤器3，从罐2的空间一侧的流体排出管道13或处理液流出管道4b排出。这时，以氟化乙烯树脂制过滤器3具有阀门点以上的压力差在第1空间一例和第2空间一侧产生的流量进行流动。阀门点是构成氟化乙烯树脂制过滤器3的膜在用乙醇浸湿时空气通过膜时所需要的。称为第1空间压力和第2空间压力的压力差。为使达到阀门点以上的压力差而相对调节反洗流体的上流端，即调节水的流量，使第1空间的压力提高，这样水从第1空间向第2空间通水容易，第2反洗处理可顺利进行。
根据实验可知，与阀门点为0.1MPa的氟化乙烯树脂制过滤器3相比，当使第1空间和第2空间的压差为0.2MPa以上时，第2反洗处理可明显高效进行。从此事可理解为最佳情况是调节水的流量，使压力差在阀门点的2倍以上。
通过该第2反洗处理，可使由第1反洗处理降低的透水性能恢复。还可以确认氟化乙烯树脂制过滤器3的健全性。
该第2反洗处理最好在第1反洗处理之后接着进行，但是，这时例如在第1反洗处理和第2反洗处理之间进行以下说明的发泡处理就更好了。
即，发泡处理是从发泡气体供给设备12经过发泡气体供给管道11向罐2内供给发泡气体，使该发泡气体从流体排出管道10排出，这样，摇动氟化乙烯树脂制过滤器3，可以除去氟化乙烯树脂制过滤器3表面上附着的悬浊物。而且，从氟化乙烯树脂制过滤器3表面除去、沉降在罐2下部的悬浊物，从排出管道14排出。此处的发泡气体例如可使用空气。
本实施例可以使用氟化乙烯树脂制空心状过滤器3a或氟化乙烯树脂制褶裥状滤器3b的任一种。另外，在本实施例中，也可以不用反洗设备9，而设置利用化学药品清洗过滤器的化学清洗设备。在化学清洗设备中所用的化学药品例如是双氧水、盐酸、硫酸、硝酸、草酸等酸、或者氢氧化钠等碱。
这样，本实施便通过反洗设备9或清净设备对氟化乙烯树脂制过滤器3进行反洗或清洗，可以除去氟化乙烯树脂制过滤器3表面上附着的悬浊物粘污。另外，在氟化乙烯树脂制过滤器3表面上游动附着的悬浊物也可以通过利用反洗流体的反洗设备9或化学清洗设备或发泡气体供给设备12除去。这样，不用更换氟化乙烯树脂制过滤器3就可以再使用，还可以良好保持处理液的水质。
第3实施例(图5、图6)图5是表示本发明第3实施例为调制过滤机的过滤器组件的装置构成图。
如图5所示，在密闭的空心状热处理容器15中上下方向上埋设或设置加热器16，并且内部充满空气A。而且在热处理容器15内装放氟化乙烯树脂一种的PTFE制的过滤器组件17，通过加热器16对内部的空气A进行加热，对过滤器组件17进行热处理。
(实施例1～6)图6是表示当将不进行热处理的过滤器组件直接透过热水时、与利用图5所示的装置在大气(空气A)中200℃保持1小时进行热处理并透过热水时的压差及透水能力的关系图。
如图6所示，在大气中进行热处理除去残留应力，抑制透过热水时热变形的过滤器17，即使反复透过热水，透水能力也不变化，可减少从PTFE溶解析出的氟。这时的透水能力及氟化乙烯树脂的溶解析出量如表1的实施例1所示，基准值为100。
在惰性气体中100℃保持2小时调制的过滤器组件(实施例2)、在惰性气体中250℃保持1小时调制的过滤器组件(实施例3)、在150℃的纯水中保持1小时调制的过滤器组件(实施例4)、在200℃的纯水中保持1.5小时调制的过滤器组件(实施例5)、在250℃的纯水中保持1小时调制的过滤器组件(实施例6)，得到了表1所列的值。
(比较例1～3)另一方面，在惰性气体中90°保持2小时调制的过滤器组件(比较例1)、在惰性气体中100℃保持0.8小时调制的过滤器组件(比较例2)、在250℃的纯水中保持0.9小时调制的过滤器组件(比较例3)，得到表1所列的值。
在表1中，透水能力最好的基准值100以上，溶解析出量的容许范围是130以下。
从图6及表1中所示的结果可知，如实施例1～6所示，使用前在气体中或纯水中的保护介质中在PTFE的熔点(327℃)以下的温度100℃～250℃保持1小时以上进行热处理，除去残留应力，抑制了透过热水时的热变形，可提高透水能力，并且可减少氟化乙烯树脂的溶解析出量。
另一方面，如表1中所示，当热处理温度不满100℃时，从氟化乙烯树脂溶解析出的氟量将增加，并且透水性能明显下降(比较例1)。另外，当热处理温度为100℃、且保持时间不足1小时时，从氟化乙烯树脂溶解析出的氟量增加，且透水性能明显下降(比较例2)。另外，热处理温度即使是250℃的情况下，当保持时间不足1小时时，透水性能可提高，但从氟化乙烯树脂溶解析出的氟量却增加了(比较例3)。
从而，如图6中所示，未进行热处理的过滤器组件，每当透过热水时由于制造时的残留应力使膜变形，透水能力下降。
由实施例1～6所得到的过滤器组件17在加热器排水及给水等频繁进行热循环的过滤机中使用时，通过预先进行热处理，除去制造时的残留应力，可以提供耐热循环性能稳定的过滤器组件17。
在热处理溶器15内使温度上升的时间，花1小时以上使其上升到上述处理温度，以一定温度保持1小时以上除去残留应力后，再花3～6小时慢慢冷却。附带说明的是因为氟化乙烯树脂间在热膨胀系数上有差别，所以急骤升温有可能使过滤器组件7破损，从而在1小时以上越长越好。
另外，为了得到使用时难以热变形的过滤器组件7，上述冷却时间越长越可使残留应力减少，所以最好尽可能慢慢冷却。
如上所述，保持的热处理温度为100℃～250℃是合适的，最好比过滤器组件17及膜制造时的温度高0～10℃。另外，在气体中热处理后再在液体中处理，在使用过滤器的环境下进行热处理，从提高过滤器组件17的耐热循环性的观点看也是有效的。
上述过滤器组件17是由具有耐热性及耐药品性的氟化乙烯树脂制造，形成空心状、平膜状或管状，或者也可以构成在圆筒状容器中填充粒状氟化乙烯树脂的填充塔，向膜的组件进行固定的材料也最好是氟化乙烯树脂。
另外，在热处理容器15内充满的气体除了上述空气A之外，最好是氮、氩等惰性气体、水蒸气等对组件材质进行热处理时不老化的气体。而且，在热处理容器15内充满的除大气(空气A)等气体外也可以是液体，能使用的液体是纯水、超纯水等不包含对组件污染的杂质的液体，如果是过滤器使用环境的PH值、溶存氧浓度及化学成分的水质的液体，则更好。
这样，实施例1～6由于在组件使用前进行热处理可以除去制造时的残留应力，所以即使对于在使用时反复进行热循环，也可以得到稳定的处理性能。
另外，氟化乙烯树脂制的过滤器组件17由于是由空心状、褶裥状、平膜状及管状中的一种所选择的形状，从而可得到稳定的透水性能及水质污染少的氟化乙烯树脂制过滤器。
第4实施例(图7)图7是表示本发明的第4实施例为调制过滤机的过滤器组件的装置系统图。与上述第3实施例相同或对应的部分使用相同标号进行说明。
如图7所示，在热水清洗用压力容器18内充满高温的热水W，装放过滤器组件17。而且在热水清洗用压力容器18的出口端的管道L1上插装冷却器19、过滤器20及填充离子交换体的脱盐装置21，该管道L1与泵22的给水端相连接。该泵22的排出端连接管道L2，在该管道L2上插装加热器23，该管道L2与热水清洗用压力容器18相连接。
从而，通过驱动泵22，热水清洗用压力容器18内的高温清洗液由冷却器19冷却后，由过滤器20可从清洗液中包含的过滤器组件17的溶解析出物中除去固态悬浊物，通过脱盐装置21将除去离子成分的清洗水供给泵22。而且，从泵22排出的清洗水作为热水W进行加热，供给热水清洗用压力容器18的入口端。
(实施例7～12)对氟化乙烯树脂制空心丝膜的过滤器组件17的不沸腾的压力以上230℃热水浸渍1小时，对浸渍液中的溶解析出成分检查的结果，没有检测出氟以外的成分，透水能力也提高了。对此如下述表2的实施例9所示。
另外，150℃及200℃热水浸渍1小时的情况如实施例7、8所示，150℃、200℃及230℃透过蒸气1小时的情况如实施例10～12所示，在这些实施例中，从表2可以看出，透水能力提高了，氟的溶解析出量也明显减少了。
图8是表示由热压器进行膜的热水浸渍时氟溶解析出速度的时间变化图。从图8可以看出，在初期的数小时大部分的氟溶解析出之后几乎不溶解析出。由此可知通过数小时热水处理，可以除去溶解析出的氟。
(比较例4～10)另一方面如表2的比较例4～10所示，在过滤器组件7中透过热水W及蒸气之一时，当热水W或蒸气的温度不足100℃时，从氟化乙烯树脂溶解析出的氟量增加，并且透水性能明显下降(比较例7、9)。另外，在热水W或蒸气的温度超过250℃时，透过时间不足1小时时，透水性能也变好，不过从氟化乙烯树脂溶解析出的氟量增加了(比较例6、8、10)。当热水W或蒸气的温度为100℃～250℃，且保持时间不足1小时时，从氟化乙烯树脂溶解析出的氟量增加，且透水性能明显降低(比较例4、5)。
(实施例13～16)
表3中所示的实施例13、14是表示由惰性气体进行的热处理，温度为100℃～250℃保持1小时以上，然后热水透过处理在不沸腾的压力以上使100℃～250℃温度的热水W通过过滤器1小时以上的情况，而实施例15、16是表示由纯水进行的热处理，温度为100℃～250℃保持1小时以上，然后蒸气透过处理100℃～250℃温度的蒸气通过过滤器1小时以上的情况。
从表3可以看出，通过在上述条件下对过滤器进行热处理，可以高效地除去制造时的残留应力，还通过在上述条件下透过热水W或蒸气，可以在短时间内除去使用过滤器时氟溶解析出污染水质的成分。
这样，在本实施例中，通过图7中所示的装置，由于在使热水W透过过滤器组件17的同时，可由过滤器20除去溶解析出成分，可循环使用通过脱盐装置21脱盐处理后的热水，所以比分批处理可以有效、短时间内除去溶解析出成分直到低浓度。
另外，分批处理很难除去膜内侧的溶解析出成分，但是上述循环方式，直到内侧都能高效率地在短时间内除去溶解析出成分。而且，像上述的填充塔那样，即使将氟化乙烯树脂制过滤器作为填充物时也可以有效除去。
本实施例是从氟化乙烯树脂制的过滤器组件17的外侧向内侧进行清洗，但是也可以将热水清洗用压力容器18的出口和入口反过来，从内侧向外侧清洗过滤器组件17。
另外，在本实施例中所使用的热水W的温度，如上所述为100℃～250℃，处理时间为1小时～1周是合适的。
本实施例的热水W是纯水或水蒸气，或者对于PH值、溶存氧气浓度、化学成分至少一部分中的至少一种，根据发电厂使用环境模拟所得到的液体是最佳的。
另外，透过的温度在除去溶解析出成分的同时，通过的步进状或一定速度慢慢增加，可以避免由过滤器组件17的热冲击造成的破损，而且通过在进行除去溶解析出成分的同时进行升温，可以抑制溶解析出成分对系统内的污染，所以可缩短处理时间。
另外，由于过滤器组件17是疏水性的，所以最好在用热水W清洗之前，浸渍在异丙醇等醇类中进行亲水化处理。而且通过将本实施例的加热器23及冷却器19改为热交换器，可以使系统简化，还可以提高热利用效率。
这样，根据本实施例，由于用热水W清洗过滤器组件17，可以预先除去溶解析出成分，所以在发电厂设置使用时可以防止因设置过滤器而造成水质降低。
另外，当热水W是对于发电设备的PH值、溶存氧气浓度及化学成分的一部分或全部中至少一种，通过使用环境模拟所得到的水质时，通过用与过滤器组件17的使用环境相同或类似水质的热水W进行透过处理，比只用热水可以更有效清洗或通过材料改质预先除去高温下使用过滤器组件17时在水中溶解析出的成分，比只用热水可以对使用时从过滤器组件17来的水质污染控制到更低。
第5实施例(图9)图9是表示本发明的第5实施例的过滤机的过滤器密封部的断面图。如图9所示，在本实施例中氟化乙烯树脂一种的聚四氟乙烯(PTFE)制空心状多孔膜24的端部，是通过比PTFE低熔点的热熔化性氟化乙烯树脂的四氟化乙烯/六氟丙烯共聚合体(PFA)构成的支撑部25进行熔敷，直接密封。
下面说明本实施例的作用。在处理发电5高温水的过滤器中无法避免热循环，但在图21中所示的现有过滤器由于热膨胀系数不同的不同材料的外筒101和支撑部103在热循环中伸缩，所以过滤器组件104容易破损。
为此，在本实施例中，删除了在热循环中不同材料伸缩的差很大，粘接部剥离引起过滤器组件破损的外筒101，不同材料接触只是在空心丝状多孔膜24和支撑部25之间进行，所以可以减少由热循环而产生的不同材料的伸缩，难以发生过滤器组件的破损。
本实施例的密封方法例如可以通过特许第2993217号公报的方法，对空心状多孔膜24只用热熔化性的PFA进行熔化密封，不使用其他密封剂，同时进行密封和支撑部25的形成。
在本实施例中使用的氟化乙烯树脂制的空心状多孔膜24如上所述最好是PTFE。而且作为形成支撑部25的密封剂使用的热熔化性氟化乙烯树脂，例如有PFA、FEP、ETFE、聚氯三氟乙烯(PCTFE)、聚亚乙烯氟化物(PVdF)等。其中，有耐热性，对酸及碱的耐药品性优良的PFA和FEP是与PTFE空心丝同种的树脂，亲和性高，作为密封剂最佳。
对于根据本实施例制造的过滤器组件，如果用上述第3实施例或/及上述第4实施例所述的方法进行热处理和热水透过，则可得到稳定的透水性能，并且可以提供适合水质污染少的发电厂高温水的过滤器。
这样，根据本实施例，空心状多孔膜24的外周和密封剂之间不同材料接触的长度非常小，由热循环产生的伸缩长度差也很微小，可以形成对热循环很强的组件密封部。
第6实施例(图10)图10是表示本发明的第6实施例的过滤机组件密封部的断面图。如图10所示，本实施例是将上述第5实施例的PFA制的支撑部25作为由PTFE构成的支撑部25b，在该支撑部25b和PTFE制的空心状多孔膜24之间，通过比PTFE低熔点、作为热熔化性氟化乙烯树脂的PFA构成的密封部26进行密封。
例如，在PTFA制的空心状多孔膜24进行密封的部分上复盖PFA管，将PFA管插入在支撑部25b上形成的孔中，与上述第5实施例同样对PFA进行热熔化，将空心状多孔膜24密封在PTFE构成的支撑部25b上。
在本实施例中使用的氟化乙烯制的空心状多孔膜最好是PTFE。而且，支撑部25b的材质最好是不锈钢等金属及PTFE、PFA、FEP。作为密封剂使用的热熔化性氟化乙烯树脂是与PTFE制的空心状多孔膜24同种的树脂，最好是亲和性高的PFA及FEP。
另外，对于根据本实施例制造的过滤器组件，如果用上述第1实施例或/及上述第2实施例所述的方法进行热处理和热水透过，则可以得到稳定的透水性能、并且可以提供适合水质污染水的发电厂的高温水的过滤器。
这样，根据本实施例，由于在空心状多孔膜24的外周和密封部4的粘接部之间、及支撑部25b和密封部26的粘接部之间，不同材料接触的长度非常小，所以由热循环产生的伸缩长度差也很微小，可以形成具有对于热循环很强的组件密封部的支撑部。
第7实施例(图11)图11是表示本发明的第7实施例的过滤装置构成的系统图。
本实施例的过滤装置在容器2内具有通过罐板30a吊设过滤器30的过滤机31，在该过滤机31上分别连接流入被处理液的被处理液流入管道4a、及流出处理液的处理液流出管道4b。过滤机31的罐板30a上是处理液积存处37，在该处理液积存处37一侧连接供给反洗用水32的反洗管道33，在该反洗管道33上设置贮存水32的反洗罐34。
反洗罐34通过容易通过水32等液体、而难以通过气体35等气体的隔断36，分割成2个室。而且被分割的一个室(第1室)36a连结供给气体35的气体供给管道38、及供给反洗用补给水39的补给水管道40，另一个室(第2室)36b通过反洗管道33连结到过滤机31的处理积存处37一侧。在气体供给管道38上设置气体罐41，可以进行供给气体35的压力控制。
在过滤机31的处理液积存处37一侧和反洗罐34的第1室36a一侧上，分别设置具有漏泄阀42a、43a的漏泄管道42、43。另外，在过滤机31的下方配置废液接收槽44，在该废液接收槽44上从过滤机31的被处理液一侧上部(罐板30a的下部)及过滤机31的底部分别引出排水管道45、46。在各管道4a、4b、33、38、40、45、46上分别设置开闭用的阀47a～47g。
下面说明作用。在通常的被处理液过滤时，只打开被处理液流入管道4a的阀47a及处理液流出管道4b的阀47b，其他的阀全部关闭，从被处理液流入管道4a对过滤机31供给系统水，通过过滤器30过滤后。从处理液流出管道4b流出系统。
另一方面，在反洗时被处理液流入管道4a的阀47a及处理液流出管道4b的阀47b关闭。而且，首先在反洗的操作前阶段，打开过滤机31的处理液积存处37上连接的漏泄管道42的漏泄阀42a，同时打开反洗管道33的阀47c，从反洗罐34对过滤机31供给水32。这样，当在过滤机31的处理液积存处37中残留气体时，可以用水32置换该气体。这样可以有效防止过滤器30的疏水化。
接着，作为反洗操作是在过滤机31不足100℃的状态，在连结反洗罐34和过滤机31的反洗管道33的阀47c为开的状态，打开气体供给管道38的阀47d，从气体罐41对反洗罐34的第1室36a供给规定压力的气体35。这样，通过气体35的压力，反洗罐34内的水32注入到过滤机31中，以与过滤处理时相反的方向对过滤器30通水。这时，打开过滤机31的处理液一侧上部的排出管道45的阀47f，通过溢出由废液接收槽44接收排水。
即，如上所述，反洗罐34的内部设置使水32容易通过而使气体35难以通过的隔断36，分割为2个室，第2室36b充满水32，连接在过滤机31上。另外，在第1室36a上连接有开闭用的阀47d的气体供给管道38、及有阀47e的供给补给水39用的补给水管道40。为此，在可补给反洗所需要量的补给水39的同时，可供给为对水32加压的气体35。
气体35由于难以通过隔断36，所以在反洗罐34的第1室36a内的水32没有的时刻，停止向过滤机31供给水32。为此关闭气体供给管道38的阀47d。接着打开排水阀47f，将从过滤器30除去的固态悬浊物与过滤机31内的水一起回收到废液接收槽44中。当过滤器30由通过注入水中的气泡上升使膜振动的空心丝膜构成时，在从反洗罐34的反洗操作之后，接着从过滤机31的下部注入气体进行发泡操作，对除去过滤器30上的固态悬浊物是有效的。
另外，在反洗罐34的第1室36a上由于设置了有漏泄阀43a的漏泄管道43，所以在通过漏泄阀43a打开进行放气的同时，可以用短时间对第1室36a供给补给水39。从而可以反复进行反洗，可以有效进行从过滤器30除去固态悬浊物。
反洗罐34内部的隔断36，例如如果是从亲水性物质的填充物及膜构成的亲水性材料时，则由于气体35和水32间的分离性提高，所以可有效避免过滤器30的疏水化。当在隔断36上利用平膜、褶裥状、圆筒、空心丝等膜，使隔断36的膜面积增大的结构时，由于可以降低隔断36的压力损失，所以可以降低供给气体35的压力。
另外，压出反洗罐34的水32的气体压力不是固定值，一旦在罐41中贮存气体之后，如果瞬时将反洗罐34的水32供给过滤机31，则可以有效的进行反洗。为了使反洗罐34的第1室36a的水压出时刻的压力能在隔断36开始通气体35的最低压以下，而使气体罐41的压力例如增到10倍时，则气体罐41的容量为反洗水容量的1/9倍，可以使气体罐41小型化，是很经济的。对水32压出时刻的压力与气体35通过隔断36的压力相比为0.1Mpa以上1Mpa以下的程度，气体罐41的压力在1Mpa以上15Mpa以下是适当的。
根据以上的实施例，由于可使过滤器30不疏水化，而只用气体压力进行反洗，所以设备可以简单，并且可以删去热水化处理、过滤机内的清洗处理时间，缩短过滤机31再起动时间，而且也不存在药品废弃物的发生及其处理。
在本实施例的过滤器30中如第1～第4实施例所述，可以使用在使用前至少在气体及液体的一方中进行加热的热处理、或者在使用前进行透过热水及蒸气中的一种组成的流体的流体透过处理的氟化乙烯树脂制过滤器。
第8实施例(图12)图12是表示本发明的第8实施例的过滤装置构成的系统图。
在本实施例中，具有在容器2内由罐板30a吊设过滤器30构成的过滤机，在该过滤机31上分别连接流入被处理液的被处理液流入管道4a，及流出处理液的处理液流出管道4b。在过滤机31的罐板30a上面形成处理液积存处37。
而且，在从过滤机31的低部引出的排水管道45上，设置有阀47g和排水冷却用的冷却器50。利用水的反洗管道33可以省略。
在本实施例中，反洗操作时关闭系统的阀47a、47b，在使过滤机31在高温高压状态不变的情况下以阀47g的开度控制流量，同时由冷却器50对过滤机31内的液体冷却，排出到废液接收槽44中。随着过滤机31内压力的降低，过滤机31的处理液积存处37一侧内的水膨胀，通过过滤器30，这样来进行反洗作用。即，通过该压力的降低，通过过滤器30的流体从液体变为蒸气，与液体相比体积急聚增加。从而，通过过滤器30的液体体积也显著增加，可以得到比用液体清净更高的清洗效果。固态悬浊物与蒸气一起带走，保持在由冷却器50凝缩的液体中，回收到废液接收槽44中。
根据本实施例，由于可以在对过滤机31不冷却的高温状态不变的情况下，只使用过滤机31内的高温高压水进行反洗，所以可以大幅度缩短过滤机31再起动的时间。另外，由于不从外部供给反洗水，所以产生废液少。
即，根据本实施例，不必带入反洗水，而利用过滤机31内部的高温高压水，就可以进行过滤机的反洗。当降低过滤机内部的高温高压水的压力，使其膨胀的同时抽出时，由冷却器50反回到水中排出，所以不需要大的急冷罐。
另外，过滤机31上部的处理液积存处37部分的水，由于最初压力高，所以是液体，但当压力下降时沸腾变为蒸气，体积急聚膨胀。从而，在沸腾后，由于蒸气以很大的线速度大量通过过滤器，所以可以用过滤机的处理液积存处的高温高压水进行过滤器的反洗。由于通过过滤器的只是蒸气，所以可以避免疏水化。
在本实施例的过滤器30中，如第1～第4实施例中说明的那样，也可使用在使用前至少在气体及液体的一方中进行加热的热处理、或者在使用前透过热水及蒸气中的一种组成的流体的流体透过处理的氟化乙烯树脂制过滤器。另外，在本实施例中也可以并用与第7实施例同样的反洗装置。
第9实施例(图13)图13是表示本发明的第9实施例的过滤装置构成的系统图。
在本实施例中，具有在容器2内由罐板30a吊设过滤器30构成的过滤机，在该过滤机31上分别连接流入被处理液的被处理液流入管道4a、及流出处理液的处理液流出管道4b。在过滤机31的罐板30a上面形成处理液积存处37。在过滤机31的处理液积存器37上通过有阀47h的蒸气管道51，连接蒸气发生器52。在从过滤机31的低部引出的排水管道45上与阀47g一起设置有排水冷却用的冷却器50。
在这样的构成中，反洗操作时用与第8实施例同样的方法排出过滤机31内的液体后，打开阀47h经过蒸气管道51从蒸气发生器52将蒸气53供给过滤机31，通过蒸气53对过滤器30上的固态悬浊物进行清洗除去，通过冷却器50使蒸气凝缩，保持在液体中，回收到废液接收槽44中。这样由于可持续得到蒸气53，所以可以根据固态悬浊物的附着状态，自由调整清洗的蒸气量。
另外，过滤机31不到100℃，从阀47g排出过滤机31内的水之后，也可以用蒸气发生器52的蒸气进行反洗。由于用低压进行蒸气反洗，所以可以避免过滤器30的疏水化，由于在过滤机31内蒸气53泠凝，所以可以删去排水冷却用的冷却器50，还可以减小设备容量。
根据本实施例，由于在反洗中使用蒸气，所以可以防止过滤器30的疏水化，另外，由于蒸气53冷凝变成水，体积明显减小，所以可以进行废弃物量少的反洗。
在本实施例的过滤器30中，如第1实施例、第2实施例、第3实施例及第4实施例中说明的那样，也可使用在使用前至少在气体及液体的一方中进行加热的热处理、或者在使用前透过热水及蒸气中的一种组成的流体的流体透过处理的氟化乙烯树脂制过滤器。
第10实施例(图14)图14是表示本发明的第10实施例的发电设备的系统图。
如图14所示，本实施例的发电设备具有从冷凝器55经冷凝水脱盐设备56、低压加热器57及高压加热器58，向蒸气发生装置59提供给水的给水管道。在该给水管道60中，驱动下述的汽轮机的湿蒸气通过冷凝器55进行冷却，变成冷凝水，该冷凝水通过冷凝水脱盐设备56除去离子性杂质，成为给水，该给水经低压加热器57及高压加热器58变成高温的给水，供给蒸气发生装置59。
另外，本实施例的发电设备具有从蒸气发生装置59到高压汽轮机61、低压汽轮机62的主蒸气管道63，在该主蒸气管道63中，由蒸气发生装置59产生的蒸气驱动高压汽轮机61及低压汽轮机62。
本实施例的发电设备的构成还具有从高压汽轮机61抽气的蒸气经高压加热器58冷凝、流到给水管道60的高压加热器排水管道64，及从低压汽轮机62抽气的蒸气经低压加热器57冷凝，流到给水管道60的低压加热器排水管道65，在这些加热器排水管道64、65中，从高压汽轮机61及低压汽轮机62抽气的蒸气分别在高压加热器58及低压加热器57中对给水加热后冷凝，该冷凝水(排出水)反回到给水管道60中。
而且，在本实施例的发电设备中，在从冷凝器55经冷凝水脱盐设备56，低压加热器57及高压加热器58向蒸气发生装置59流动的给水管道60上，设置有与上述第1～第9实施例中任一个有同样构成的给水过滤机66。
即，这些给水过滤机66分别插入在低压加热器的前段、高压加热器58的前段及后段的给水管道60上。
这样，根据本实施例，通过在低压加热器57的前段、高压加热器58的前段及后段上的给水管道60上分别插入给水过滤机66，可以减少给水中的悬浊物，由该悬浊物的减低效果，可以减少配管内面上的腐蚀、减少对传热管表面附着悬浊物造成的阻碍、及减少传热管清洗频度。
第11实施例(图15)图15是表示本发明的第11实施例的发电设备的系统图。在本实施例中，在与上述发电设备的第10实施例相同或对应的部分上加有相同标号进行说明，只说明与上述第10实施例不同的构成及作用，其他发电设备的各实施例也同样。
如图15所示，本实施例的发电设备在从高压汽轮机61经高压加热器58引到给水管道60上的高压加热器管道64、及从低压汽轮机62经低压加热器57引到给水管道60上的低压加热器排水管道65上，分别插入与上述第1～第9实施例中任一个同样构成的加热器排水过滤机67。
这样，根据本实施例，通过在加热器排水管道64、65上分别插入排水过滤机67，可以减少加热器排水的悬浊物，由该悬浊物的减低效果，可以减少配管内面上的腐蚀、减少对传热管表面附着悬浊物造成的阻碍、及减少传热管清洗频度。
第12实施例(图16)图16是表示本发明的第12实施例的发电设备的系统图。
如图16所示，本实施例的发电设备与图14中所示的第10实施例同样，在从冷凝器55经冷凝水脱盐设备56、低压加热器57及高压加热器58向蒸气发生装置59流动的给水管道60上，设置有多个与上述第1～第9实施例中任一个有同样构成的给水过滤机68。
即，这些给水过滤机68分别插入在低加热器57的前段、高压加热器58的前段及后段上的给水管道60上。
在本实施例中，在各给水过滤机68上分别连接反洗管道69，这些反洗管道69连接在反洗设备9上。
这样，根据本实施例，除了可得到与第10实施例同样的效果之外，通过在各给水过滤机68上设置了反洗设备9，可以总是维持各给水过滤机68本来的性能。
本实施例其构成也可以在发电设备中，代替反洗设备9或者增加化学清洗设备或发泡气体供给设备12。
第13实施例(图17)图17是表示本发明的第13实施例的发电设备的构成图。
如图17所示，本实施例的发电设备与图15中所示的第11实施例一样，在从高压汽轮机61经高压加热器58引导到给水管道60的高压加热器排水管道64、及从低压汽轮机62经低压加热器57引导到给水管道60的低压加热器排水管道65上，分别插入与上述第1～第9实施例中任一个同样构成的加热器排水过滤机70。
另外，本实施例在各加热器排水过滤机70上分别连接反洗管道71，这些反洗管道71连接在反洗设备9上。
这样，根据本实施例，除了可得到与第11实施例同样的效果之外，通过在各加热器排水过滤机68上设置反洗设备9，可以总是维持各加热器排水过滤机70本来的性能。
第12实施例及本实施例其构成也可以在发电设备中代替反洗设备9或者增加化学清洗装置或发泡气体供给设备12。
第14实施例(图18)图18是表示本发明的第14实施例的发电设备的系统图。本实施例的发电设备表示了沸水型原子能发电厂(BWR)中设置了第1～第9实施例中任一个所示的过滤机的例子。
如图18所示，本实施例的发电设备具有从冷凝器55经冷凝水脱盐设备56、低压加热器57及高压加热器58向原子反应堆压力容器72供水的给水管道66。
另外，本实施例的发电设备具有从原子反应堆压力容器72向高压汽轮机61、低压汽轮机62的主蒸气管道63，并且具有从高压汽轮机61经高压加热器58引导到给水管道60的高压加热器排水管道64、及从低压汽轮62经低压加热器引导到给水管道60的低压排水管道65。
另外，在本实施例的发电设备中，在从冷凝器55经冷凝水脱盐设备56、低压加热器57及高压加热器58，向原子反应堆压力容器72流动的给水管道60上，设置多个与上述第1～第9实施例的任一个有同样构成的给水过滤机66。
即，这些给水过滤机66分别插入在低压加热器57的前段、高压加热器58的前段及后段上的给水管道60上。
在本实施例的发电设备中，还在从高压汽轮机61经高压加热器58引导到给水管道60的高压加热器排水管道64、及从低压汽轮机62经低压加热器57引导到给水管道60的低压加热器排水管道65上，分别插入与上述第1第9～实施例的任一个过滤机具有同样构成的加热器排水过滤机67。
这样，根据本实施例，在低压加热器57的前段、高压加热器58的前段及后段上的给水管道60上，分别插入给水过滤机66，并且通过在加热器排水管道64、65上分别插入加热器排水过滤机67，可以减少给水中及加热器排水的悬浊物，根据该悬浊物的减低效果可以减少配管内面上的腐蚀、减少对传热管表面附着的悬浊物产生的传热阻碍、减少传热管清洗频度、及减少放射能。
第15实施例(图19)图19是表示本发明的第15实施例的发电设备的系统图。在本实施例的发电设备中表示了在压水型原子能发电厂(PRW)中设置了第1～第9实施例所示的过滤机的例子。
如图19中所示，本实施例的发电设备具有从冷凝器55经冷凝水脱盐设备56、低压加热57、除气器71及高压加热器58向蒸气发生器74给水的给水管道60。此处，除气器71使非冷凝气体与若干蒸气一起排出到大气中。另外，位于高压汽轮机61和低压汽轮机62之间、经过气水分离器排水管道76，与除气器73连络的气水分离器75用于除去蒸气中存在的液滴。
另外，本实施例的发电设备具有从蒸气发生器74向高压汽轮机61、低压汽轮机62的主蒸气管道63，并且具有从高压汽轮机61经高压加热器58引导到给水管道60的高压加热器排水管道64、及从低压汽轮机62经低压加热器57引导到给水管道60的低压加热器排出管道65。
另外，在实施例的发电设备中，在从冷凝器15经冷凝水脱盐设备56、低压加热器57、除气器71及高压加热器58向蒸气发生器74流动的给水管道60上，设置多个与上述第1～第9实施例中任一个的过滤机有同样构成的给水过滤机66。
即，这些给水过滤机66分别插入在低压加热器57的前段、高压加热器58的前段及后段上的给水管道60上。
在本实施例的发电设备中，在从高压汽轮机61经高压加热器58引导到给水管道60上的高压加热器排水管道64，从低压汽轮机62经低压加热器57引导到给水管道60的低压加热器排水管道65，及从气水分离器75引到除气器73的气水分离器排水管道76上，分别插入与上述第1～第9实施例有同样构成的加热器排水过滤机67或气水分离器排水过滤机77。
这样，根据本实施例，在低压加热器57的前段、高压加热器58的前段及后段上的给水管道60上，分别插入给水过滤机66，并且通过在加热器排水管道64、65上分别插入加热器排水过滤机67，及在气水分离器排水管道76上分别插入气水分离器排水过滤机77，可以减少给水中及加热器排水的悬浊物，根据该悬浊物的减低效果可以减少配管内面上的腐蚀、减少对传热管表面附着的悬浊物产生的传热阻碍、减少传热管清洗的频度，及减少蒸气发生器74的化学除污频度。
第16实施例(图20)图20是表示本发明的第16实施例的发电设备的系统图。在本实施例的发电设备中表示了在火力发电厂中设置了第1～第9实施例所示的过滤机。
如图11所示，本实施例的发电设备具有从冷凝器55经冷凝水脱盐设备56、低压加热器57、除气器73、高压加热器58及省煤器78向蒸发器77给水的给水管道60。此处的省煤器78是为了使剩余氧气再使用而进行收集的设备。
另外，本实施例的发电设备具有从蒸发器77到高压汽轮机61、低压汽轮机62的主蒸气管道63，并且具有从高压汽轮机6 1经高压加热器58引导到给水管道60的高压加热器排水管道64、及从低压汽轮机62经低压加热器57引导到给水管道60的低压加热器排水管道65。
另外，在本实施例的发电设备中，从冷凝器55经冷凝水脱盐设备56、低压加热器57、除气器31、高压加热器58及省煤器73流向蒸发器74的给水管道60上，设置多个与上述第1～第9实施例中的任一个有同样构成的给水过滤机66。
即，这些给水过滤机66分别插入在低压加热器57的前段、高压加热器58的前段及后段的给水管道60上。
在本实施例的发电设备中，还在从高压汽轮机61经高压加热器58引导到给水管道60上的高压加热器排水管道64、及从低压汽轮机62经低压加热器57引导到给水管道60的低压加热器排水管道65上，分别插入与上述第1～第9实施例有同样构成的加热器排水过滤机67。
这样，根据本实施例，在低压加热器57的前段、高压加热器58的前段及后段的给水管道60上，分别插入给水过滤机66，并且在加热器排水管道64、65上分别通过插入加热器排水过滤机67，可以减少给水中及加热器排水的悬浊物，根据该悬浊物的减低效果可以减少配管内面上的腐蚀、减少对传热管表面附着的悬浊物产生的传热阻碍、减少传热管清洗频度、及缩短火力发电设备起动前的清洗时间。
本发明不限定于上述各实施例，可以有种种变形。例如，在上述发电设备的第14、15实施例及本实施例中，对在给水管道60及加热器排水管道64、65双方上都设置了过滤机的例子进行了说明，但是只要在至少一方上设置过滤机即可。
另外，在上述发电设备的第10～第16实施例中所使用的第1～第9实施例的过滤机或过滤装置，既可以设置予先通过例如如图4所示的装置进行了过滤器组件使用前的热处理或流体透过处理的装置，也可以在发电设备设置过滤机后，进行过过滤器组件使用前的热处理或流体透过处理。
如上所述，根据本发明所涉及的过滤机，在高温水中具有耐久性，可以可靠地除去高温水中所包含的悬浊物。结果，可以良好保持处理液的水质，可以减少悬浊物。
另外，根据本发明所涉及的过滤机，通过使用前在氟化乙烯树脂熔点以下的温度对氟化乙烯树脂制的过滤器进行热处理，可以减少从过滤器的溶解析出，满足管理水质，可以未然防止由热循环造成过滤器的破损及透水性能的下降。
另外，根据本发明所涉及的过滤装置，当对从发电设备的低温的冷凝水、高温的给水或加热器排水等水中除去固态悬浊物的过滤器进行反洗时，与用现有反洗方法进行疏水化，亲水化处理所需要的过滤机相比，可以避免疏水化而进行简单的反洗。
根据本发明所涉及的发电设备，还可以减少给水中或加热器排水的悬浊物，根据该悬浊物减低效果可以减少配管内面上的腐蚀、减少对传热管表面附着的悬浊物产生的传热阻碍、及减少传热管清洗频度。另外，通过予先除去过滤器残留应力及溶解析出成分，可以以稳定的透水性能、无水质污染地从加热器排水及给水等高温水中除去固态悬浊物。
权利要求
1.一种过滤机，其特征在于在分别连接流入被处理液的被处理液流入管道、及流出处理液的处理液流出管道的容器内，设置对上述被处理液进行过滤的氟化乙烯树脂制过滤器，并且该氟化乙烯树脂制过滤器是在使用前至少在气体中及液体中的一方中进行了加热的热处理的过滤器。
2.如权利要求1所述的过滤机，其特征在于上述热处理包括在100℃～250℃的温度，并且1个小时以上保持上述氟化乙烯树脂制过滤器的工序。
3.如权利要求1所述的过滤机，其特征在于上述氟化乙烯树脂制过滤器是在使用前透过由热水及蒸气中的某一种构成的流体进行了流体透过处理的过滤器。
4.一种过滤机，其特征在于在分别连接流入被处理液的被处理液流入管道及流出处理液的处理液流出管道的容器内，设置对上述被处理液进行过滤的氟化乙烯树脂制过滤器，并且该氟化乙烯树脂制过滤器是在使用前透过由热水及蒸气中的某一种构成的流体进行了流体透过处理的过滤器。
5.如权利要求3或4所述的过滤机，其特征在于在上述流体透过处理中透过氟化乙烯树脂制过滤器的流体的温度为100℃～250℃，上述流体通过过滤器的时间为1小时以上。
6.如权利要求3或4所述的过滤机，其特征在于上述流体是热水，并且是至少包含发电设备的PH值、溶解氧浓度及化学成分的一部分的水质。
7.如权利要求1或4所述的过滤机，其特征在于上述氟化乙烯树脂制过滤器是从空心状、褶裥状、平膜状及管状中所选择的形状。
8.如权利要求1或4所述的过滤机，其特征在于至少包括除去附着在上述氟化乙烯树脂制过滤器表面的悬浊物的反洗设备及清洗设备的一种。
9.如权利要求1或4所述的过滤机，其特征在于上述氟化乙烯树脂制过滤器由多个空心状多孔膜构成，以比上述氟化乙烯树脂的熔点低的热熔化性氟化乙烯树脂，对这些中空状多孔膜的端部进行熔敷，形成支撑部。
10.如权利要求1或4所述的过滤机，其特征在于上述氟化乙烯树脂制过滤器由多个空心状多孔膜构成，以上述氟化乙烯树脂对这些空心状多孔膜的端部进行熔敷，形成支撑部，以比这些熔点低的热熔化性氟化乙烯树脂，对上述空心状多孔膜和上述支撑部之间进行熔化密封，形成密封部。
11.一种过滤机的反洗方法，其特征在于该过滤机具有在使用前至少利用气体和液体中的一方进行加热处理的氟化乙烯树脂制过滤器；分离为在过滤处理时有被处理液，通过上述氟化乙烯树脂制过滤器实施过滤处理的第1空间，及位于该第1空间的上方，在过滤处理时有处理液的第2空间；其包括第1反洗处理，用于从上述过滤机的上述第2空间一侧供给由水、空气、水蒸气中的一种或者其组合组成的反流体，通过上述氟化乙烯树脂制过滤器后，向上过滤机的外部排出；及第2反洗处理，用于从过滤机的第1空间一侧供给水，经过上述氟化乙烯树脂制过滤器后，从上述过滤机的上述第2空间一侧向外部排出。
12.如权利要求11所述的过滤机的反洗方法，其特征在于在上述第2反洗处理时，调整供给上述过滤机的水的流量，使上述过滤机的上述第1空间的压力和上述第2空间的压力差，在上述氟化乙烯树脂制过滤器的阀门点以上。
13.如权利要求11或12所述的过滤机的反洗方法，其特征在于在上述第1反洗处理和上述第2反洗处理之间进行发泡处理，即从上述过滤机的上述第1空间一侧供给发泡气体，在摇动上述氟化乙烯树脂制过滤器之后将上述发泡气体向上述过滤机的外部排出。
14.一种过滤装置，其特征在于包括在分别连接流入被处理液的被处理液流入管道和流出处理液的处理液流出管道的容器内，设置对上述被处理液进行过滤的过滤器构成的过滤器；及对该过滤机供给反洗用水的反洗罐；上述反洗罐通过使水容易通过而使气体难于通过的隔断，分割为2个室，该2个室是连接可进行压力控制的气体供给管道和供给反洗用补给水的补给水管道的第1室、及连接在上述过滤机处理液积存处侧的第2室。
15.如权利要求14所述的过滤装置，其特征在于包括第1漏泄阀，设置在上述过滤机的处理液积存处一侧上连结的第1漏泄管道上，将上述过滤机的处理液积存处一侧内的气体排出到外部；及第2漏泄阀，设置在上述反洗罐的第1室一侧上连结的第2漏泄管道上，将上述反洗罐的第1室内的气体排出到外部。
16.如权利要求14或15所述的过滤装置，其特征在于上述反洗罐的隔断，是亲水性的充填物或膜。
17.如权利要求14或15所述的过滤装置，其特征在于上述反洗罐的隔断为平膜、褶裥状、园筒状或空心丝状。
18.一种过滤装置，其特征在于包括在分别连接流入被处理液的被处理液流入管道和流出处理液的处理液流出管道的容器内，设置对上述被处理液进行过滤的过滤器构成的过滤机；从该过滤机的上述被处理液流入端排出的排出管道；及在该排出水管道上所设置的冷却器。
19.如权利要求18所述的过滤装置，其特征在于在上述过滤机的容器内的上述处理液流出管道一侧连接了供给蒸气的蒸气管道。
20.如权利要求14或18所述的过滤装置，其特征在于上述过滤机的过滤器是氟化乙烯树脂制过滤器，该过滤器在使用前进行了至少在气体及液体的一方中加热的热处理，或者在使用前进行了使由热水及蒸气的某一种形成的流体透过的透过处理。
21.一种发电设备，其特征在于包括蒸气发生装置；由该蒸气发生装置所供给的蒸气驱动的汽轮机；将从该汽轮机的排出蒸气变为冷凝水的冷凝器；从该冷凝器对上述蒸气发生装置供给冷凝水的给水管道；在该给水管道上设置的加热器；及连接在上述给水管道上、将从上述加热器所排出的排水再次供给上述加热器的加热器排水管道；将如权利要求1或4所述的过滤机至少插入配置在上述给水管道、及上述加热器排出管道的一方上。
22.一种发电设备，其特征在于包括蒸气发生装置；由该蒸气发生装置所供给的蒸气驱动的汽轮机；将从该汽轮机的排出蒸气变为冷凝水的冷凝器；从该冷凝器对上述蒸气发生装置供给冷凝水的给水管道；在该给水管道上设置的加热器；及连接在上述给水管道上、将从上述加热器所排出的排水再次供给上述加热器的加热器排水管道；将如权利要求14或18所述的过滤装置至少插入配置在上述给水管道、及上述加热器排出管道的一方上。
全文摘要
本发明公开一种过滤机、过滤机的反洗方法、过滤装置及发电设备,其从过滤器的溶解析出少,可防止由热循环造成的过滤器的破损及透水性能的下降。其中在使用前以氟化乙烯树脂熔点以下的温度,在气体或液体中对过滤水中所包含的固态悬浊物的氟化乙烯树脂制的过滤器7进行热处理。或者通过热水或气体进行流体透过处理。
文档编号B01D65/02GK1376533SQ0210313
公开日2002年10月30日 申请日期2002年1月31日 优先权日2001年1月31日
发明者藤江诚, 中村秀树, 山田和矢, 关秀司, 樱井学, 福岛正, 井手贤一郎, 野田哲也, 小松原胜 申请人:株式会社东芝