专利名称：过滤器的排泡装置的制作方法
技术领域：
本实用新型有关一种过滤器排泡装置，特别是一种独立于生产机台的排泡装置。
背景技术：
现有的半导体药液的过滤装置大多内建于生产机台内，如光刻胶涂布机、显 影机及湿式蚀刻机等，若需更换过滤装置的过滤器必须停机更换新的过滤器后，
再经过预湿(pre-wet)程序将过滤器内的气泡排除，而此预湿程序通常需花费数小 时的时间，才能将过滤器内的气泡完全排出。若过滤器内的气泡没有完全排出则 气泡中的污染物(contaminations)会经由管路附着在产品上而影响产品良率。图1 所示为现有的排泡系统架构示意图，说明过滤装置具有药液槽100、泵(Pump)200、 控制单元300、阀门(valve)400、阀门500及阔门600所组成。 一般而言，过滤装 置更换新的过滤器700后，控制单元300是利用控制线302将泵200开启，此时 泵200所产生的真空吸力会将药液槽100内的药液150，经由管路1A送入过滤器 700的进口端702(Inlet);当药液150与过滤器700内的过滤膜片(图中未示)接触 通常会有斥水性(hydrophobic)的现象，致使药液150无法完全流入过滤膜片，形 成过滤膜片两端压力差造成气泡产生，因此过滤器700需经过长时间的清洗 (purge),使药液150与过滤器700内的过滤膜片转变为亲水性(hydrophilic)。通常 为了防止大量的气泡聚集于过滤器700内，阀门400通常会开启而气泡会经由管 路1C而由过滤器700的排气端704端排出以避免气塞产生，待过滤器700内的 气泡排出后阀门400便关闭；接着，阀门500及600会开启而药液150便由1A 进入过滤器700的进口端702流入过滤器700内，当药液150过滤完后再由过滤 器700的出口端(outlet)706通过管路1B到达生产机台的使用端800。
上述的过滤装置不但需要停止生产机台的运作达四至八小时以上的时间进行
排泡及清洗过滤器的动作而造成产能的损失，操作人员还需花费更多时间恢复生 产，浪费许多人力及物力，因此如何克服上述问题是目前业界所急迫需要的。
实用新型内容
为了解决上述问题，本实用新型目的之一是利用独立于生产机台的排泡装 置，使生产机台不致因进行过滤器排泡动作而停止生产机台的运作。
本实用新型的另一目的是利用独立于生产机台的排泡装置，于进行过滤器排 泡动作时可以循环使用药液减少药液的使用量。
本实用新型的又一目的是利用独立于生产机台的排泡装置，具有控制单元进 行全自动排泡程序。
为了达到上述目的，本实用新型提供一种过滤器的排泡装置，其包含药液槽，
其是连接过滤器的进口端并用以容置药液；多个阀门，其包含第一阀门、第二阀 门、第三阀门及第四阀门，分别连接过滤器的出口端、过滤器的排气端、药液槽 的一端及过滤器的进口端；及至少一控制器，其是电性连接于泵及多个阀门用以 控制泵及多个阀门开启或关闭且控制泵抽取药液及排出药液的方向；其中过滤器 的出口端或过滤器的进口端设置并连接至少一泵至药液槽，用以循环药液于排泡 装置。
图1所示为现有的排泡系统架构示意图。
图2所示为依据本实用新型一实施例的过滤器排泡装置的示意图。
图3所示为依据本实用新型另一实施例的过滤器排泡装置的示意图。
具体实施方式
图2所示为本实用新型的一实施例过滤器排泡装置的示意图。于本实施例中， 其过滤器排泡装置包括药液槽10、控制器30、泵40、第一阀门A、第二阀门B、 第三阀门C及第四阀门D。过滤器50的进口端(inlet)52经由管路102连接药液槽 10，而过滤器50的出口端(outlet)54经由管路104连接至少一泵40;过滤器50的 出口端54与泵40之间设置第一阀门A，管路106—端连接泵40，而管路106的 另一端连接药液槽IO,此外，管路106、 102分别设置第三阀门C及第四阀门D; 过滤器50的排气端(vent)56是以管路112连接至泵40与第一阀门A之间(管路 104)，另于管路112设置第二阀门B，另外，至少一控制器30利用控制线31、 32、 33、 34、 35分别电性连接泵40、第一阀门A、第二阀门B、第三阀门C及第四 阀门D。即构成本实用新型的过滤器的排泡装置。
接续上述，是说明过滤器排泡装置的运用方式，过滤器50的排气端56如果 进行排泡程序则首先利用泵40所产生拉力(吸力)致使药液槽10底部的药液60经 由管路102进入过滤器50的进口端52，过滤器50内的膜片(图中未示)过滤药液 60后再进入过滤器50的排气端56，将药液60经由管路112及104送入泵40后， 将带有气泡的药液60流入管路106，再回到药液槽10，同时，控制器30会将第 二阀门B、第三阀门C及第四阀门D开启(叩en)而第一阀门A会关闭(close)，控 制药液60送回药液槽10;过滤器50的出口端54进行排泡程序时，是利用泵40 产生拉力使药液槽10的药液60经由管路102进入过滤器50的进口端52，过滤 器50内的膜片(图中未示)过滤药液60后再进入过滤器50的出口端54，将带有气 泡的药液60经由管路104送入泵40，接着，带有气泡的药液送入管路106，再回 到药液槽10;同时，控制器30会将第一阀门A、第三阀门C及第四阀门D开启 而第二阀门B会关闭，使带有气泡的药液60送回药液槽10;因此，经过滤后带 有气泡的药液60因比重较轻，故带有气泡的药液60会悬浮于药液槽10内的药液 60表面，未带有气泡的药液60是于药液槽10的底部被泵40抽取循环利用，直 到过滤器50达到洁净的状态。
根据本实用新型实施例的精神，泵设置于过滤器的出口端之后，是利用泵所 产生的拉力(吸力)，将药液循环于过滤器排泡装置；另于药液槽分别设置液位感 应器(level sensor)用以产生信号并回馈至控制器，使控制器控制阀门开启或关闭的 时间，且控制器具有设定的排泡、控制泵驱动力及设定泵循环时间等参数；此外， 本实用新型的排泡装置其控制器其是选用可编程控制器(PLC)或电脑进行本装置的 运作，而阀门形式可以依照需求选用电磁式、气动式阀门或其他形式的阀门，另 可搭配流量控制阀用以控制药液的循环流量。为了增加安装不同口径的过滤器， 排泡装置可以增设转换接头；另一方面，药液槽、阀门及泵由耐防腐蚀性的材料 所制成，以适用于不同种类的化学药液。本实用新型考虑更换过滤器的安全性，
是利用至少一泄漏感应器(leak sensor)于过滤器排泡装置外，若发生药液泄漏时， 泄漏感应器会送出泄漏信号至控制器将阀门及泵自动关闭，防止药液泄漏于过滤 器排泡装置外，避免造成公安意外。
图3所示为依照本实用新型另一实施例过滤器排泡装置装置的示意图。于本 实施例中，本实用新型过滤器的排泡装置具有不同的配置结构，药液槽10经由管 路114一端连接连接至少一泵40，泵40另一端连接管路116至过滤器50的进口 端52。过滤器50的排气端56连接管路118并于管路118设置第二阀门B，管路 118连接管路122再连接至药液槽10;此外，管路122设置第三阀门C;过滤器 50的出口端54以管路124连接至管路118，另于管路124设置第一阀门A;至少 一控制器30利用控制线31、 32、 33、 34及35分别电性连接泵40、第一阀门A、 第二阀门B、第三阀门C及第四阔门D，即构成本实用新型的另一过滤器排泡装 置。
接续上述，是说明过滤器排泡装置的运用方式，过滤器50的排气端56若进 行排泡程序则首先利用泵40产生的推力使药液槽IO的药液60经由管路114进入 泵40，接着利用管路U6将药液60送入过滤器50的进口端52，过滤器50内的 膜片(图中未示)过滤药液60后再进入过滤器50的排气端56,将带有气泡的药液 60经由管路118及122，再送回药液槽10，同时，控制器30会将第二阀门B、 第三阀门C及第四阀门D开启(open)而第一阀门A会关闭(cbse)，使带有气泡的 药液60回到药液槽10。过滤器50的出口端54进行排泡程序时，泵40产生的吸 力使药液槽10的药液60经由管路114进入泵40，接着利用管路116将药液60 送入过滤器50的进口端52,过滤器50内的膜片(图中未示)过滤药液60后再送出 过滤器50的出口端54，将带有气泡的药液60经由管路124、 118、 122，再送回 药液槽IO，同时，控制器30会将第二阀门B关闭而第一阀门A、第三阀门C及 第四阀门D会开启，使带有气泡的药液60回到药液槽10;因此，经过滤后带有 气泡的药液60因比重较轻，故带有气泡的药液60会悬浮于药液槽10内的药液60 表面，未带有气泡的药液60是于药液槽10的底部被泵40抽取循环利用，直到过 滤器50达到洁净的状态。
根据本实用新型实施例的精神，泵设置于过滤器的进口端之前，是利用泵所 产生的推力，将药液循环于过滤器排泡装置；另于药液槽分别设置液位感应器(levelsensor)用以产生信号并回馈至控制器，使控制器控制阀门开启或关闭的时间，且 控制器具有设定的排泡、控制泵驱动力及设定泵循环时间等参数；此外，本实用 新型的排泡装置其控制器是选用可编程控制器(PLC)或电脑进行本装置的运作，而 阀门形式可以依照需求选用电磁式、气动式阀门或其他形式的阀门，另可搭配流 量控制阀用以控制药液的循环流量。为了增加安装不同口径的过滤器，排泡装置 可以增设转换接头；另一方面，药液槽、阀门及泵由耐防腐蚀性的材料所制成， 以适用于不同种类的化学药液。本实用新型考虑更换过滤器的安全性，是利用至 少一泄漏感应器(leak sensor)于过滤器排泡装置外，如果发生药液泄漏时，泄漏感 应器会送出泄漏信号至控制器将阀门及泵自动关闭，防止药液泄漏于过滤器排泡 装置外，避免造成公安意外。
综合上述，本实用新型的过滤器排泡装置是利用药液槽、控制器、泵及多个 阀门，将泵置于过滤器的进口端或过滤器的出口端所产生的推力或拉力(吸力)， 加上控制器控制泵及阀门的运作，有效进行过滤器全自动排泡的程序，使生产机 台更换过滤器时，无需停止生产机台进而节省许多待机时间；另一方面，本实用 新型的过滤器排泡装置进行过滤中所使用药液，能在本实用新型中循环使用，故 能改善现有的过滤器进行过滤中须使用大量的药液进行排泡程序，故能减少药液 成本的支出及避免污染物减少附着于生产机台内。
以上所述的实施例仅为说明本实用新型的技术思想及特点，其目的在使熟悉 本技术的人士能够了解本实用新型的内容并据以实施，当不能以其限定本实用新 型的专利保护范围，即凡是根据本实用新型所揭示的精神所作的等同的变化或修 饰，仍应涵盖在本实用新型的专利范围内。
权利要求1.一种过滤器的排泡装置，其特征在于包含一药液槽，其连接一过滤器的一进口端并用以容置一药液；多个阀门，其包含一第一阀门、一第二阀门、一第三阀门及一第四阀门，分别连接该过滤器的一出口端、该过滤器的一排气端、该药液槽的一端及该过滤器的该进口端；及至少一控制器，其电性连接至少一个泵及这些阀门用以控制该泵及这些阀门开启或关闭且控制该泵抽取该药液及排出该药液的方向；其中该过滤器的该出口端或该过滤器的该进口端设置并连接该泵至该药液槽，用以循环该药液于该排泡装置。
2. 根据权利要求1所述的过滤器的排泡装置，其特征在于这些阀门进行该过滤 器的该出口端的排泡程序时，该第一阀门、该第三阀门及该第四阀门会呈开启状态 而该第二阀门会呈关闭状态。
3. 根据权利要求1所述的过滤器的排泡装置，其特征在于这些阀门进行该过滤 器的该排气端的排泡程序时，其该第二阀门、该第三阀门及该第四阀门会呈开启状 态而该第一阀门会呈关闭状态。
4. 根据权利要求1所述的过滤器的排泡装置，其特征在于该药液槽设置多个液 位感应器，用以监测该药液的液位。
5. 根据权利要求1所述的过滤器的排泡装置，其特征在于该排泡装置是设置多 个管路用于连接并传送该药液于该药液槽、这些阀门及该泵之间。
6. 根据权利要求1所述的过滤器的排泡装置，其特征在于这些阀门的形式为电 磁式或气动式。
7. 根据权利要求1所述的过滤器的排泡装置，其特征在于该控制器为一可编程 控制器或一电脑。
8. 根据权利要求1所述的过滤器的排泡装置，其特征在于该排泡装置还包含多 个转换接头用以安装不同形式的过滤器。
9. 根据权利要求1所述的过滤器的排泡装置，其特征在于该药液槽、这些阀门 及该泵是由耐腐蚀性的材料制成。
10. 根据权利要求1所述的过滤器的排泡装置，其特征在于该控制器内建设定 有排泡、泵循环时间及驱动力的参数。
11. 根据权利要求1所述的过滤器的排泡装置，其特征在于该排泡装置还包含 一流量调整阀用以控制循环流量。
12. 根据权利要求1所述的过滤器的排泡装置，其特征在于该排泡装置还包含 至少一泄漏感应器，用以检测该药液泄漏于该排泡装置外。
13. 根据权利要求12所述的过滤器的排泡装置，其特征在于该泄漏感应器检测 一泄漏信号以将该泄漏信号传送至该控制器用以关闭这些阀门及该泵。
专利摘要一种过滤器的排泡装置，包含药液槽、控制器、泵、多个阀门。该排泡装置独立于生产机台外并利用泵置于过滤器进口端或出口端所产生的推力或拉力；控制器控制泵及多个阀门的运作，执行过滤器全自动排泡的程序；此外，过滤器的排泡装置避免停止生产机台的运作且生产机台节省许多等待时间；再者，还可减少污染物附着于生产机台内。
文档编号B01D35/00GK201073572SQ20072014032
公开日2008年6月18日 申请日期2007年3月29日 优先权日2007年3月29日
发明者赖俊良 申请人:汉民系统股份有限公司