专利名称：超高真空直线导入器的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及真空设备，特别是其配套的导入器。
背景技术：
超高真空技术是新材料合成，材料的物理化学性质分析和宇宙开发的基本环境。为了实现在超高真空环境中的各种分析研究，离不开对样品的传输和操纵，样品在传输和操纵过程中，由于真空设备要求的密封性高，操纵都需要在大气侧进行，很多情况样品需要按直线运动导入，而且在驱动时要保证真空设备与驱动导入器的密封性能，以保证真空环境，目前的直线导入装置精度有待提高，而且均是刚性部件，密封性能差。发明内容
本实用新型的目的是克服上述不足问题，提供一种超高真空直线导入器，直线驱动顺畅、自由，密封性能优异，定位简单，密封性佳。
本实用新型为实现上述目的所采用的技术方案是超高真空直线驱动器，涉及导入棒，外管一端装有固定螺母，固定螺母与带有外螺纹的推动杆螺纹连接，推动杆另一端通过轴承与可动法兰连接，可动法兰焊接波纹管，波纹管内侧的可动法兰焊接导入棒，导入棒另一端活动插接在真空设备连接法兰中心孔内，波纹管另一端与真空设备连接法兰焊接，且真空设备连接法兰固定连接在外管的另一端。
所述真空设备连接法兰中心孔内装有导入棒导向装置，导向装置
为直线轴承或导向块等。
所述真空设备连接法兰由法兰板、轴套和外管连接套一体构成，
轴套一端连接法兰板，另一端连接外管连接套，外管连接套端面带有
波纹管连接槽。
所述可动法兰带有波纹管连接端，带有导入棒连接孔，与导入棒 焊接固定，另一面为套体，套体内装有轴承与推动杆连接。
所述固定螺母端外管上套装有旋套，旋套与推动杆固定连接，外 管上带有刻度。
本实用新型旋套式直线驱动，安装时角度自由，采用波纹管来实 现密封，密封效果好，达到放出气体少的要求，而且波纹管压縮和伸 展配合直线驱动自由，导入棒由导向装置导向，使得直线驱动顺畅， 手动控制直线驱动，位置控制精确，和真空接触的部件，全部采用不 锈钢和无氧铜，有利于维持超高真空，可耐高温烘烤，便于系统到达 超高真空。本实用新型是实现超高真空环境中样品精确直线驱动的重
要设备。
图l是本实用新型结构示意图。
图2是本实用新型固定法兰结构示意图。
图3是本实用新型真空设备连接法兰结构示意图。
图4是本实用新型可动法兰结构示意图。图5是本实用新型可动法兰与导入棒连接示意图。
图中l波纹管；2轴承；3推动杆；4固定螺母；5旋套；6可 动法兰；7外管；8固定法兰；9直线轴承；10真空设备连接法兰； ll导入棒；12法兰盘；13轴套；14外管连接套。
具体实施方式
如图1所示的超高真空直线导入器，涉及导入棒，外管7 —端装 有固定螺母4，固定螺母与带有外螺纹的推动杆3螺纹连接，推动杆 3另一端通过轴承2与可动法兰6套体连接，可动法兰6套体背面为 波纹管连接端焊接波纹管1 ，波纹管1内侧的可动法兰焊接导入棒11 ， 导入棒另一端活动插接在真空设备连接法兰10中心孔内，中心孔内 装有直线轴承9，作为导入棒的导向装置，使直线运动更加顺畅，导 向装置也可以采用导向块等，真空设备连接法兰10由法兰盘12、轴 套13和外管连接套14 一体构成，轴套一端连接法兰盘，另一端连接 外管连接套，外管连接套端面带有波纹管连接槽，波纹管1另一端与 真空设备连接法兰波纹管连接槽焊接，真空设备连接法兰10固定在 外管7的另一端。固定螺母端外管外套装有旋套5，旋套5与推动杆 3固定连接，外管上带有刻度，根据旋套的位置确定行程。
使用时，向右旋转旋套，推动杆随旋套旋转向前运动，通过可动 法兰压縮波纹管，同时驱动可动法兰固定的导入棒运动，使导入棒向 前推进；反之向左旋转旋套，推动杆向后运动，驱动可动法兰4向后 运动，波纹管的弹力作用伸展，同时导入棒向后运动，使导入棒向后 退回。
权利要求1、超高真空直线导入器，涉及导入棒，其特征是外管一端装有固定螺母，固定螺母与带有外螺纹的推动杆螺纹连接，推动杆另一端通过轴承与可动法兰连接，可动法兰焊接波纹管，波纹管内侧的可动法兰焊接导入棒，导入棒另一端活动插接在真空设备连接法兰中心孔内，波纹管另一端与真空设备连接法兰焊接，且真空设备连接法兰固定连接在外管的另一端。
2、 根据权利要求1所述的超高真空直线导入器，其特征是真空 设备连接法兰中心孔内装有导入棒导向装置，导向装置为直线轴承或 导向块。
3、 根据权利要求1或2所述的超高真空直线导入器，其特征是 真空设备连接法兰由法兰盘、轴套和外管连接套一体构成，轴套一端 连接法兰盘，另一端连接外管连接套，外管连接套端面带有波纹管连 接槽。
4、 根据权利要求1或2所述的超高真空直线导入器，其特征是 可动法兰带有波纹管连接端带有导入棒连接孔，与导入棒焊接固定， 另一面为套体，套体内装有轴承与推动杆连接。1
5、 根据权利要求1或2所述的超高真空直线导入器，其特征是 固定螺母端外管上套装有旋套，旋套与推动杆固定连接，外管上带有 刻度。
专利摘要本实用新型涉及真空设备。超高真空直线驱动器，涉及导入棒，外管一端装有固定螺母，固定螺母与带有外螺纹的推动杆螺纹连接，推动杆另一端通过轴承与可动法兰连接，可动法兰焊接波纹管，波纹管内侧的可动法兰焊接导入棒，导入棒另一端活动插接在真空设备连接法兰中心孔内，波纹管另一端与真空设备连接法兰焊接，且真空设备连接法兰固定连接在外管的另一端。本实用新型旋套式直线驱动，安装时角度自由，波纹管密封效果好，达到放出气体少的要求，波纹管压缩和伸展配合直线驱动自由，手动控制直线驱动，位置控制精确。
文档编号B01J3/03GK201404795SQ20092001103
公开日2010年2月17日 申请日期2009年2月27日 优先权日2009年2月27日
发明者郭方准 申请人:大连齐维科技发展有限公司