专利名称：石英振子腐蚀液无轴自动搅拌机的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及石英晶片压电振子加工设备，特别是一种石英振子腐蚀液无轴自 动搅拌机。
背景技术：
目前，对石英晶体谐振器的核心零件——石英晶片压电振子外形轮廓尺寸腐蚀加 工过程中，主要采用不同浓度、温度的NH4HF2(氟化氢氨)腐蚀液(腐蚀液靠水浴热传导加 温)，对不同规格、频率、形状的石英晶片压电振子进行腐蚀加工，以得到所需要的频率及表 面光洁度以提高其振动活力；腐蚀液在腐蚀晶片过程中，其浓度、温度局部会发生变化，特 别是温度局部变化较大，腐蚀液产生温差对晶片均勻腐蚀影响很大。为使保持腐蚀液的浓 度、温度相对均勻稳定，需对腐蚀液进行不停的搅动，以其调整腐蚀液的浓度和温度，搅拌 器采用与外部直接连接，极易使液体泄露造成环境腐蚀和污染。
发明内容本实用新型旨在解决现有技术存在的上述问题，而提供一种隔层无轴传动搅拌叶 轮对腐蚀液不停搅拌，实现腐蚀液的浓度、温度保持相对稳定，以提高晶片腐蚀均勻度、降 低晶片腐后频率散差的石英振子腐蚀液无轴自动搅拌机。本实用新型采用的技术方案是一种石英振子腐蚀液无轴自动搅拌机，包括水浴 温控槽、腐蚀液槽、腐蚀篮、温控加热管，腐蚀液槽置于盛有传热介质水并安装有温控加热 管的水浴温控槽内，该水浴温控槽的槽外下方设置有由程控减速机带动旋转的两极磁头， 该腐蚀液槽的槽内设置有与该两极磁头磁力配合的磁化搅拌叶轮。所述两极磁头通过程序 控制单元控制做旋转运动，将NS极磁力线隔层传导给腐蚀液槽内的磁化搅拌叶轮。在NS 极磁力线的作用下，磁化搅拌叶轮对槽内腐蚀液进行旋转搅动，使其槽内腐蚀液沿槽壁不 停做旋转运动，从而带动槽壁的热量不断向槽中间温度低的地方置换；其一以达到槽内腐 蚀液的浓度、温度保持相对稳定的目的；其二腐蚀液旋转运动可促使晶片在腐蚀过程中不 停的翻动，使其达到晶片腐蚀均勻的效果。与现有技术相比，本实用新型的有益效果是从根本上杜绝了腐蚀液泄露对环境 的腐蚀和污染，且保持了腐蚀液的浓度、温度相对均勻稳定，有效提高了晶片腐蚀均勻度， 降低了晶片腐后频率散差。本实用新型结构简单，为谐振器制造后序的频率分挡、镀膜工序 创造了良好条件，提高了分频、镀膜设备的利用率，减少了产品废、次品的产生，有效提高了 谐振器最终合格率。
图1为本实用新型的结构示意图。图中石英晶片1 ；腐蚀篮2 ；腐蚀液槽3 ；温控加热管4 ；磁化搅拌叶轮5 ；控制单 元6 ；程控减速机7 ；两极磁头8 ；水浴温控槽9 ；腐蚀液10 ；传热介质水11 ；腐蚀篮控制臂12。
具体实施方式
以下结合附图及实施例对本实用新型作进一步说明。参见图1，本实施例给出的石英振子腐蚀液无轴自动搅拌机，由腐蚀篮2、腐蚀液 槽3、温控加热管4、磁化搅拌叶轮5、控制单元6、程控电机7、两极磁头8、水浴温控槽9组 成，腐蚀液槽3置于盛有传热介质水11并安装有温控加热管4的水浴温控槽9内，水浴温 控槽9的槽外下方设置有由程控减速机7带动旋转的两极磁头8，腐蚀液槽3的槽内设置有 与该两极磁头8磁力配合的磁化搅拌叶轮5，腐蚀篮2及置于其内的石英晶片1浸于腐蚀液 槽3内的腐蚀液10中。本实施例中，所述腐蚀篮2固定在带动其上、下行程和左、右摆动的腐蚀篮控制臂 12上。 本实施例中，所述程控减速机7、温控加热管4及腐蚀篮控制臂12均与控制单元6 电连接。本实用新型工作时，两极磁头8由控制单元6程序控制的控减速机7拖动使其旋 转，磁化搅拌叶轮5在两极磁头8磁力线的作用下，随其两极磁头8同步旋转，搅动腐蚀液 10沿腐蚀液槽3槽壁形成漩涡旋转；传热介质水11被温控加热管4加热，并不断传导给腐 蚀液槽3槽壁，槽壁的热量被旋转的腐蚀液10吸收，起到腐蚀液10不断加热保持恒温的作 用。同时，在腐蚀篮控制臂12的带动下，腐蚀篮2进行上、下行程和左、右摆动，使石英晶片 1在腐蚀过程中不停的翻动以达到腐蚀均勻的目的。控制单元6除控制程控减速机7的运 动外，还同时对腐蚀篮控制臂12和温控加热管4进行程序控制。本实用新型所述磁化搅拌叶轮5，也可根据腐蚀液槽3大小不同，而改变成直经不 同的磁化搅拌叶轮、或长度和直经不同的耐腐磁化搅拌棒。
权利要求一种石英振子腐蚀液无轴自动搅拌机，包括水浴温控槽、腐蚀液槽、腐蚀篮、温控加热管，腐蚀液槽置于盛有传热介质水并安装有温控加热管的水浴温控槽内，其特征在于，该水浴温控槽的槽外下方设置有由程控减速机带动旋转的两极磁头，该腐蚀液槽的槽内设置有与该两极磁头磁力配合的磁化搅拌叶轮。
2.根据权利要求1所述的石英振子腐蚀液无轴自动搅拌机，其特征在于，所述腐蚀篮 固定在带动其上、下行程和左、右摆动的腐蚀篮控制臂上。
3.根据权利要求1所述的石英振子腐蚀液无轴自动搅拌机，其特征在于，所述程控减 速机、温控加热管及腐蚀篮控制臂均与控制单元电连接。
专利摘要本实用新型涉及石英晶片压电振子加工设备，特别是一种石英振子腐蚀液无轴自动搅拌机。该机包括水浴温控槽、腐蚀液槽、腐蚀篮、温控加热管，腐蚀液槽置于盛有传热介质水并安装有温控加热管的水浴温控槽内，该水浴温控槽的槽外下方设置有由程控减速机带动旋转的两极磁头，该腐蚀液槽的槽内设置有与该两极磁头磁力配合的磁化搅拌叶轮。该机杜绝了腐蚀液泄露对环境的腐蚀和污染，且保持了腐蚀液的浓度、温度相对均匀稳定，有效提高了晶片腐蚀均匀度，降低了晶片腐后频率散差。本机结构简单，为谐振器制造后序的频率分挡、镀膜工序创造了良好条件，提高了分频、镀膜设备的利用率，减少了产品废、次品的产生，有效提高了谐振器最终合格率。
文档编号B01F3/08GK201669077SQ20102018055
公开日2010年12月15日 申请日期2010年4月30日 优先权日2010年4月30日
发明者卢春田, 周宝林, 宋学忠, 董恩信 申请人:唐山晶源裕丰电子股份有限公司