专利名称：离子交换装置及其制作方法和设备，以及离子交换树脂层的形成方法及其装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种在容器中填充离子交换树脂而制作离子交换装置的方法及设备， 特别是涉及一种适用于超纯水制造工序等所使用的离子交换装置的制作的离子交换装置的制作方法及设备。本发明涉及一种通过该方法及设备所制作的离子交换装置。另外，本发明涉及一种在容器内填充离子交换树脂而形成离子交换树脂层的方法及装置。本发明涉及一种具有通过该方法及装置所形成的离子交换树脂层的离子交换装置。
背景技术：
以往，作为离子交换装置，大多是采用以下的离子交换装置，特别是固定式离子交换装置，其中，其构成为将阳离子交换树脂、阴离子交换树脂、这些的混合树脂或这些与其他树脂的混合树脂填充于容器内而形成离子交换树脂层，让被处理液通过而进行离子交换处理。而且，离子交换树脂层饱和之后，停止让被处理液通过，然后，让再生液通过而将离子交换树脂层予以再生，接着让洗净液通过而进行洗净后，再度开始让被处理液通过而再度开始进行离子交换处理。然而，像这样交互且反复进行离子交换处理和再生的离子交换装置，在进行离子交换树脂层的再生时，有无法进行离子交换处理的缺点。因此，作为这种离子交换装置的取代而有一种单元交换式的离子交换装置，其是采用在可搬式的主体容器内填充离子交换树脂的拆装式的离子交换树脂填充单元，将其搬运至现场后安装于离子交换装置而进行离子交换处理，当离子交换树脂层饱和后，从离子交换装置将离子交换树脂填充单元卸下，更换新的单元而继续进行离子交换处理，另一方面卸下的离子交换树脂填充单元被回收，将使用过的离子交换树脂按照需要而进行再生使用。这种单元交换式的离子交换装置包含将从离子交换装置卸下的离子交换树脂填充单元不进行再生而直接废弃的非再生型离子交换装置、以及将离子交换树脂进行再生而予以再使用的再生使用型离子交换装置。在后者的情况，包含对每个回收的单元分别将离子交换树脂再生的方式；从单元收集离子交换树脂而予以再生，将再生后的离子交换树脂填充于单元而搬运至现场待机后，安装于离子交换装置而进行离子交换处理的方式等。在专利文献1(日本特开平9-70546号公报)中，记载了一种离子交换单元，是在主体容器中填充离子交换树脂而构成，并让从容器突出的管连接于原水管、处理水管等来使用。图2是该文献所记载的离子交换单元U。该离子交换单元U，是在具有开口部Ia的容器1内填充调整后的离子交换树脂2。在开口部Ia装设盖6。在盖6上设有离子交换树脂的导入口 3，并将原水导入管5和处理水取出管4设置成贯通状。原水导入通路4是插到容器1内的底部，在其下端设置过滤器如。安装在处理水取出通路5的下端的过滤器如是位于容器1内的上部。离子交换树脂2是透过树脂导入口 3填充于容器1内。导入口 3，在此之后被密闭。树脂导入口 3，是在连接时用来进行排水、排出空气等，而在离子交换处理时通常是密闭的。该离子交换单元，是以在连结器4b、5b的位置被切离的状态施以密封并搬运至现场进行安装。而且，利用该连结器4bjb和伸缩接头7、8连接，以进行原水的导入及处理水 (超纯水)的取出(段落0021 0022)。作为离子交换树脂，是包含将阳离子交换树脂或阴离子交换树脂单独填充的情况、以及将两者以容量比1 3 3 1左右的比例混合填充的情况。(段落0018)安装于离子交换系统的离子交换单元U，是将原水从离子交换装置的原水流路 (未图示)通过原水导入管4、第1过滤器如而导入容器1，经通过离子交换树脂层2进行离子交换；处理水则是在第2过滤器fe收集后从处理水取出管5通过离子交换装置的处理水流路(未图示)而被取出。当离子交换树脂2饱和之后，将离子交换单元U利用连结器 4b,5b卸下而更换成新的单元，以继续进行离子交换处理。使用过的离子交换单元U，是以卸下的状态搬运而回收，按照需要将离子交换树脂取出而予以再生，再生后的离子交换树脂再度填充于容器1而构成离子交换装置，以再度供离子交换处理。为了在上述离子交换单元U的主体容器1填充离子交换树脂，是让离子交换树脂分散于水中而以浆体状导入，挟带的水通过过滤器4a、fe分离而排出。依据此方法，要在主体容器1中填充规定量的离子交换树脂会有困难。在专利文献4(日本特开2002-28501号)中，记载有如下实例是在离子交换树脂移动容器中收容离子交换树脂后搬运至现场，在现场填充于离子交换装置而供进行离子交换，当饱和后则从离子交换装置将离子交换树脂取出而收容于离子交换树脂移动容器之后，搬运至再生装置的设置场所，将再生后的离子交换树脂再度收容于离子交换树脂移动容器而搬运至现场。作为这种离子交换树脂移动容器，具备与容器内的过滤构件(相当于过滤器)连接的配管，离子交换树脂是分散于水中而以浆体状导入，挟带水则通过过滤构件分离而排出，由此，来填充离子交换树脂，但是，并未公开使离子交换树脂填充量成为规定量。离子交换树脂，在干燥状态下要量取规定的树脂量是容易的。但在离子交换时，由于离子交换树脂是填充于液相来使用，又是以离子交换树脂层的容积为基准来表示特性并进行处理，因此填充于容器的树脂量，是要求以存在于液相的状态下成为规定容量。在此情况，离子交换树脂是以分散于水中的浆体状来导入填充于容器，但由于无法使浆体中的离子交换树脂浓度成为规定值，即使量取浆体仍无法填充规定量的树脂。就填充规定量树脂的方法而言，事先量取要填充的树脂再进行填充的方法，必须事先量取规定量的再生后的树脂，再让其于水中分散成浆体状而导入，因此须采用复杂步骤的组合而变得麻烦，实际上会有困难。另外，对每个容器测定树脂重量的方法，由于所存在的水量会影响重量的计测，实际上难以进行正确的计量。再者，利用目视来计测树脂填充量的方法，必须反复进行停止通液和目视计测，另外，若容器大型化而使树脂填充量变多， 则存在难以进行正确的计测的问题。一般而言，若在规定容积的容器内将内容物填充至装满为止，其填充物的容量会成为规定值。在专利文献1、4中，填充于容器内的离子交换树脂层并未装满，在容器的上部残留有未形成离子交换树脂层的空间。在如此般具有余裕的容器中，虽难以填充规定容量的离子交换树脂，但通过将容器及配置于其中的过滤器和配管等的构造、配置等予以定型化，则其容量成为规定容积，因此，若在这种规定容积的容器内将离子交换树脂填充至装满为止，则离子交换树脂层的容量应会成为规定值。若在一般容器以浆体状导入离子交换树脂，无用的水也会被导入。由于难以使浆体中的离子交换树脂的浓度成为规定值，因此，要使所填充的离子交换树脂的容量成为规定值是困难的。相对于此，如专利文献1、2所示，具备与容器内的过滤器连接的配管，使离子交换树脂以分散于水中的浆体状导入，将挟带水通过过滤器分离排出，由此，来填充离子交换树脂的方法，若装满时，所填充的离子交换树脂的容量应会成为规定值。然而，将离子交换树脂浆体通过泵输送的情况，若装满后仍通过泵进行输送，树脂的填充密度变得过高而变得无法进行通水，或发生树脂破碎，或过滤器和配管容易堵塞，而存在诸多问题。在此情况下，虽可考虑根据供应浆体的压力上升来检测出容器内的离子交换树脂已装满以停止供应浆体，但为了正确地检测出压力上升以停止供应浆体，必须采用复杂的装置和控制机构等，而且很难将浆体中的离子交换树脂从挟带水分离而形成填充密度均勻的填充层，因此存在着诸多的问题。在专利文献5 (日本特开2002-221160号)中，记载了一种作为流体压驱动式泵的空气压驱动式隔膜泵。该空气压驱动式隔膜泵是属于双隔膜式的泵，在两个泵室分别设有隔膜，接合于主轴(贯穿中间壁且可滑动)的前端而形成一体化，由此，可进行往复移动。然而，并未公开使离子交换树脂填充量成为规定量。在专利文献6(日本特开2007-305019号)中，记载了一种控制机构，在空气压驱动式泵等中，当泵驱动用的空气压到达规定压力的时点，解除作用于泵的空气压而停止驱动泵。然而，该控制机构，是在起因于隔膜等的损伤而发生空转，造成驱动用空气压上升的情况，用来检测出该空气压的上升而停止驱动泵，其并未公开使离子交换树脂填充量成为
规定量。在下述专利文献2、3中，记载了用来精制处理离子交换树脂的方法及精制用的药剂。专利文献专利文献1 日本特开平9-70546号公报专利文献2 日本特开平5-15789号公报专利文献3 日本特开平9-201539号公报专利文献4 日本特开2002-28501号公报专利文献5 日本特开2002-221160号公报专利文献6 日本特开2007-305019号公报在半导体产业，在半导体制品的洗净及其他用途会用到超纯水，对该超纯水的水质要求是越来越严格，例如，金属浓度为Ippt以下，视情况也会有要求0. Ippt以下的超高水质的情况。在这种情况下，为了防止来自离子交换装置的金属等的渗漏，必须在离子交换装置中填充高度精制的离子交换树脂。然而，以往是在大气中将高度精制的离子交换树脂填充于容器，因此空气中的尘埃会混入，而可能使离子交换树脂发生微量的污染。
发明内容
发明要解决的课题本发明的第1目的在于，提供一种可防止空气中的尘埃污染离子交换树脂的离子交换装置的制作方法及设备，以及使用该方法及设备所制作出的离子交换装置。本发明的第2目的在于，提供一种能够通过简单的机构和简单的操作在短时间正确地将规定量的离子交换树脂填充于容器而形成离子交换树脂层，且能防止离子交换树脂的高密度填充和破碎或配管的堵塞等的离子交换层的形成方法及装置，以及具有使用该方法及装置所形成的离子交换树脂层的离子交换装置。解决课题的方法第1技术方案的离子交换装置的制作方法及设备，其是将精制处理后的离子交换树脂填充于容器来制作离子交换装置的方法，其特征在于，将离子交换树脂填充于该容器的填充步骤是在无尘室内进行。第2技术方案的离子交换装置的制作方法及设备，其是在第1技术方案中，将离子交换树脂以不接触大气的状态进行精制处理后，经由配管以不接触大气的状态向前述填充步骤移送。第3技术方案的离子交换装置的制作方法及设备，其是在第1或第2技术方案中， 将进行精制处理的精制设备复数个并列设置，通过一个精制设备仅处理同一种类的离子交换树脂，不同种类的离子交换树脂通过不同的精制设备进行处理。第4技术方案的离子交换装置的制作方法及设备，其是在第3技术方案中，将复数种类的离子交换树脂分别在不同的精制设备进行精制后，通过不同的计量槽进行计量，然后，在混合槽混合而填充于前述容器。第5技术方案的离子交换装置的制作方法及设备，其是在第1至4的任一技术方案中，前述无尘室的洁净度等级为10000以下。第6技术方案的离子交换装置的制作方法及设备，其是在第1至5的任一技术方案中，对于填充离子交换树脂后的离子交换装置，在前述无尘室内进行超纯水的通水，分析来自离子交换装置的流出水以检查离子交换装置。第7技术方案的离子交换装置的制作方法及设备，其是在第6技术方案中，前述流出水的分析是在洁净度等级为1000以下的高洁净度无尘室内进行。其中，本发明的无尘室的洁净度，是表示1立方英尺(Ift3)的容积空间中0. 3μπι以上的浮游微粒的数目，等级 10000表示1立方英尺中有10000个微粒，等级1000表示1立方英尺中有1000个微粒。在第1 7技术方案的离子交换装置的制作方法及设备中，由于将离子交换树脂填充于容器的填充步骤是在无尘室内进行，可防止在该填充步骤让空气中的尘埃混入离子交换装置内。因此，通过使用该方法及设备所制作出的离子交换装置，可制造出水质良好的超纯水。本发明是在超纯水制造装置中，特别适用于作为子系统(二次纯水系统)的离子交换精制处理装置(Ion Exchange Polisher，非再生型离子交换装置)的制作方法及设备。 本发明特别适用于作为制造高纯度的超纯水的超纯水制造装置，例如作为制造晶片、制造半导体等所使用的超纯水制造装置的离子交换装置的制作方法及设备。依据具有本发明的方法及设备所制作的离子交换装置的超纯水制造装置，容易制造出金属浓度Ippt以下(进一步为0. Ippt以下)的超纯水。依据第2技术方案的方法及设备，由于在精制步骤及其后的移送步骤中离子交换树脂不接触大气，因此可防止在这些步骤中空气中的尘埃混入离子交换树脂。依据第3技术方案的方法及设备，由于不同种类的离子交换树脂是由互相不同的精制设备进行精制处理，因此可防止不同种类的离子交换树脂混入离子交换树脂中。依据第4技术方案的方法及设备，由于计量槽也是按照离子交换树脂的种类而分别设置，即使是混床型离子交换装置，仍可混合填充符合规定的离子交换树脂。如第5技术方案所述，无尘室的洁净度等级优选为10000以下。依据第6技术方案的方法及设备，对填充离子交换树脂后的离子交换装置进行通水，检查流出水的水质后再进行出货，因此可确保离子交换装置的品质。在第7技术方案中，由于该水质检查是在洁净度等级为1000以下的高洁净度的无尘室内进行，因此检查精度尚。第8技术方案的离子交换树脂层的形成方法及装置，其是将离子交换树脂和水的混合浆体导入容器，将水通过过滤器分离后从容器排出，由此，在容器内填充离子交换树脂而形成离子交换树脂层的方法及装置，其特征在于，离子交换树脂和水的混合浆体是通过流体压驱动式泵供应至容器，当前述泵驱动用的流体压到达规定压力的时点，解除作用于泵的流体压而停止驱动泵。第9技术方案的离子交换树脂层的形成方法及装置，其是在第8技术方案中，当泵驱动用的流体压到达规定压力的时点解除作用于泵的流体压而停止驱动泵后，再度开始驱动泵，当泵驱动用的流体压再度到达规定压力的时点，解除作用于泵的流体压而停止驱动泵。第10技术方案的离子交换树脂层的形成方法及装置，其是在第8或9技术方案中，容器具备连接于第1过滤器的原水导入通路、连接于第2过滤器的处理水取出通路、以及树脂导入通路；通过树脂导入通路将离子交换树脂和水的混合浆体导入容器，通过第1 及/或第2过滤器将水分离后从原水导入通路及/或处理水取出通路排出，由此，在容器内形成离子交换树脂层。第11技术方案的离子交换树脂层的形成方法及装置，其是在第8 10技术方案中，流体压驱动式泵是空气压驱动式泵，且具备当泵驱动用的空气压到达规定压力的时点，解除作用于泵的空气压而停止驱动泵的控制机构。在第8 11技术方案中，作为流体压驱动式泵较优选为空气压驱动式隔膜泵。在第8 11技术方案中，离子交换树脂较优选为阳离子交换树脂和阴离子交换树脂的混合树脂。
图1是说明本发明的一个技术方案的离子交换装置的制作方法及装置的流程图。图2是离子交换装置的剖面图。图3是实施方式的离子交换树脂层的形成方法及装置的流程图。
具体实施例方式以下，参照图1来说明第1 7技术方案的实施方式。在本实施方式中，是将阴离子交换树脂和阳离子交换树脂分别精制及计量后，混合填充于容器。阴离子交换树脂，是从挠性容器袋等送到专用的收容槽111进行贮留。该收容槽 111内的阴离子交换树脂，是通过泵112及配管113送到精制塔(调整塔)114。在该精制塔中，通过超纯水和调整用药品来进行离子交换树脂的精制。作为调整用药品，可使用前述专利文献1 3等所记载的药品等各种药品。精制处理排水被送往回收系统(未图示)，处理后以超纯水的形式回收再利用。另外，后述的阳离子交换树脂的精制塔也进行同样的处理，处理排水也同样地进行回收。精制处理后的阴离子交换树脂，通过配管115、贮槽116、泵117、配管118而送往计量槽119。阳离子交换树脂，被贮留于专用的收容槽121，经由泵122、配管123送往精制塔 124，经精制处理后，通过配管125、贮槽126、泵127、配管1 送往计量槽129。这些计量槽119、1四和其后级的混合槽130等是设置于洁净度10000以下的无尘室141内。在计量槽119、129内以规定量计量后的阴离子交换树脂和阳离子交换树脂，分别通过专用的配管119a、129a而导入混合槽130进行混合。混合后的离子交换树脂，通过泵131、配管132送往容器133进行填充。作为容器133，是使用构造与前述图2相同的容器，离子交换树脂是从容器133的树脂导入口填充于容器133内而构成离子交换装置。填充完成后，将树脂导入口密闭。然后，离子交换装置被送往无尘室141内的检查步骤。在该检查步骤中，从设置于容器133的原水导入口通过配管135导入超纯水，从处理水取出口取出的处理水则通过配管136送往分析室142内的分析机器137进行水质分析。 检查排水通过配管138向回收系统排出。如果检查结果合格的话，将容器133的原水导入口及处理水取出口密闭，通过无尘室出入口 143向无尘室1141外送出。不合格的离子交换装置也从出入口 143向无尘室141外取出。上述分析室142，是洁净度1000以下的高洁净度无尘室。该图1的离子交换装置的制作方法中，由于将离子交换树脂填充于容器133的填充步骤是在洁净度10000以下的无尘室141内进行，可防止在该填充步骤让空气中的尘埃混入离子交换装置内。因此，通过使用如此制作出的离子交换装置，可制造水质良好的超纯水。在本实施方式中，在精制塔114、124内以不接触大气的状态将阴离子交换树脂、 阳离子交换树脂施以精制处理之后，将离子交换树脂以不接触大气的状态通过配管115、 118,125,128进行移送，在计量槽119,129及混合槽130以不接触大气的状态进行计量和混合，因此，可防止在这些移送、计量及混合步骤中空气中的尘埃混入离子交换树脂。此外，在本实施方式中，阴离子交换树脂及阳离子交换树脂分别使用专用的收容槽111、121、精制塔114、124、贮槽116、126、计量槽119、1四及各配管以及泵进行移送、精制及计量，因此，可防止在这些步骤让不同种的离子交换树脂混入离子交换树脂。此外，由于是将未混入不同种离子交换树脂的纯粹仅由单一种类构成的阴离子交换树脂及阳离子交换树脂进行计量及混合而填充于容器133，因此，可制作符合规定的混合填充有阴离子交换树脂及阳离子交换树脂的混床型离子交换装置。
在本实施方式中，对填充离子交换树脂后的离子交换装置进行超纯水的通水，检查流出水的水质后再进行出货，因此可确实地让高品质的离子交换装置出货。由于该水质检查是在洁净度等级1000以下的高洁净度的无尘室142内进行，因此检查精度高。在上述实施方式中，将阴离子交换树脂和阳离子交换树脂分别通过专用的收容槽 111 计量槽119以及收容槽121 计量槽1 进行处理、移送，但是在阴离子交换树脂是使用不同型号的树脂时，对各型号设置专用的收容槽 计量槽的管线，通过各型号专用的管线来处理阴离子交换树脂。阳离子交换树脂也是同样，在使用不同型号的树脂时，对各型号设置专用的管线，对每个型号通过专用的管线进行处理。如此，可防止不同型号的阴离子交换树脂混入阴离子交换树脂中，或不同型号的阳离子交换树脂混入阳离子交换树脂中。在上述实施方式中，将阴离子交换树脂和阳离子交换树脂通过计量槽119、1四计量后，在混合槽136混合而填充于容器133，但也可仅将来自计量槽119的阴离子交换树脂或来自计量槽1 的阳离子交换树脂填充于容器133而制作阴离子交换装置或阳离子交换
直ο在本发明中，优选在容器上附设条形码以管理进展及来历。下面，说明第1 7技术方案的实施例及比较例。实施例1使用图1所示的离子交换装置制作设备，在图2所示的构造的容器(72L)中将阴离子交换树脂和阳离子交换树脂以1 1混合而制作出离子交换装置。对该离子交换装置， 将表1所示金属离子浓度的超纯水以SV = 60/h的状态进行M小时的通水。第M小时所采取的离子交换装置流出水的水质显示于表1。比较例1在图1中，除了使用未设置无尘室141的构造的离子交换装置制作设备以外，是与实施例1同样地制作出离子交换装置，进行通水试验。第M小时所采取的离子交换装置流出水的水质显示于表1。表1 (单位ppt)
权利要求
1.一种离子交换装置的制作方法，其是将精制处理后的离子交换树脂填充于容器来制作离子交换装置的方法，其特征在于，将离子交换树脂填充于该容器的填充步骤是在无尘室内进行。
2.如权利要求1所述的离子交换装置的制作方法，其中，将离子交换树脂以不接触大气的状态进行精制处理并经由配管以不接触大气的状态向填充步骤移送。
3.如权利要求1或2所述的离子交换装置的制作方法，其中，将进行精制处理的精制设备复数个并列设置，通过一个精制设备仅处理同一种类的离子交换树脂，不同种类的离子交换树脂通过不同的精制设备进行处理。
4.如权利要求3所述的离子交换装置的制作方法，其中，将复数种类的离子交换树脂分别通过不同的精制设备进行精制后，通过不同的计量槽进行计量，然后，在混合槽混合而填充于前述容器。
5.如权利要求1至4中任一项所述的离子交换装置的制作方法，其中，前述无尘室的洁净度等级为10000以下。
6.如权利要求1至5中任一项所述的离子交换装置的制作方法，其中，对于填充离子交换树脂后的离子交换装置，在前述无尘室内进行超纯水通水，分析来自离子交换装置的流出水以检查离子交换装置。
7.如权利要求6所述的离子交换装置的制作方法，其中，前述流出水的分析是在洁净度等级为1000以下的高洁净度无尘室内进行。
8.一种离子交换装置的制作设备，其是将精制处理后的离子交换树脂填充于容器来制作离子交换装置的设备，其特征在于，具备用来进行将离子交换树脂填充于该容器的填充步骤的无尘室。
9.如权利要求8所述的离子交换装置的制作设备，其中，具备将离子交换树脂以不接触大气的状态进行精制处理的精制装置、以及将该精制装置所精制的离子交换树脂经由配管以不接触大气的状态向填充步骤移送的移送装置。
10.如权利要求8或9所述的离子交换装置的制作设备，其中，将进行精制处理的精制设备复数个并列设置，通过一个精制设备仅处理同一种类的离子交换树脂，不同种类的离子交换树脂通过不同的精制设备进行处理。
11.如权利要求10所述的离子交换装置的制作设备，其中，将复数种类的离子交换树脂分别在不同的精制设备进行精制后，通过不同的计量槽进行计量，然后，在混合槽混合而填充于前述容器。
12.如权利要求8至11中任一项所述的离子交换装置的制作设备，其中，前述无尘室的洁净度等级为10000以下。
13.如权利要求8至12中任一项所述的离子交换装置的制作设备，其中，具备检查装置，该检查装置，对于填充离子交换树脂后的离子交换装置，在前述无尘室内进行超纯水通水，分析来自离子交换装置的流出水以检查离子交换装置。
14.如权利要求13所述的离子交换装置的制作设备，其中，具备用来进行前述流出水的分析的洁净度等级为1000以下的高洁净度无尘室。
15.一种离子交换装置，其特征在于，是通过权利要求1至7中任一项所述的方法制造的离子交换装置。
16.一种离子交换装置，其特征在于，是通过权利要求8至14中任一项所述的设备制造的离子交换装置。
17.一种离子交换树脂层的形成方法，其是将离子交换树脂和水的混合浆体导入容器， 将水通过过滤器分离后从容器排出，由此，在容器内填充离子交换树脂而形成离子交换树脂层的方法，其特征在于，离子交换树脂和水的混合浆体是通过流体压驱动式泵供应至容器，当前述泵驱动用的流体压到达规定压力的时点，解除作用于泵的流体压而停止驱动泵。
18.如权利要求17所述的离子交换树脂层的形成方法，其中，当泵驱动用的流体压到达规定压力的时点解除作用于泵的流体压而停止驱动泵后，再度开始驱动泵，当泵驱动用的流体压再度到达规定压力的时点，解除作用于泵的流体压而停止驱动泵。
19.如权利要求17或18所述的离子交换树脂层的形成方法，其中，容器具备连接于第 1过滤器的原水导入通路、连接于第2过滤器的处理水取出通路、以及树脂导入通路；通过树脂导入通路将离子交换树脂和水的混合浆体导入容器，通过第1及/或第2过滤器将水分离后从原水导入通路及/或处理水取出通路排出，由此，在容器内形成离子交换树脂层。
20.如权利要求17至19中任一项所述的离子交换树脂层的形成方法，其中，流体压驱动式泵是空气压驱动式泵，且具备当泵驱动用的空气压到达规定压力的时点，解除作用于泵的空气压而停止驱动泵的控制机构。
21.如权利要求17至20中任一项所述的离子交换树脂层的形成方法，其中，流体压驱动式泵是空气压驱动式隔膜泵。
22.如权利要求17至21中任一项所述的离子交换树脂层的形成方法，其中，离子交换树脂为阳离子交换树脂和阴离子交换树脂的混合树脂。
23.一种离子交换树脂层的形成装置，其是将离子交换树脂和水的混合浆体导入容器， 将水通过过滤器分离后从容器排出，由此，在容器内填充离子交换树脂而形成离子交换树脂层的装置，其特征在于，具备将离子交换树脂和水的混合浆体供应至容器的流体压驱动式泵、以及当前述泵驱动用的流体压到达规定压力的时点，解除作用于泵的流体压而停止驱动泵的泵控制装置。
24.如权利要求23所述的离子交换树脂层的形成装置，其中，前述泵控制装置，当泵驱动用的流体压到达规定压力的时点解除作用于泵的流体压而停止驱动泵后，再度开始驱动泵，当泵驱动用的流体压再度到达规定压力的时点，解除作用于泵的流体压而停止驱动泵。
25.如权利要求23或M所述的离子交换树脂层的形成装置，其中，容器具备连接于第 1过滤器的原水导入通路、连接于第2过滤器的处理水取出通路、以及树脂导入通路，通过树脂导入通路将离子交换树脂和水的混合浆体导入容器，通过第1及/或第2过滤器将水分离后从原水导入通路及/或处理水取出通路排出，由此，在容器内形成离子交换树脂层。
26.如权利要求23至25中任一项所述的离子交换树脂层的形成装置，其中，流体压驱动式泵是空气压驱动式泵，前述泵控制装置，当泵驱动用的空气压到达规定压力的时点，解除作用于泵的空气压而停止驱动泵。
27.如权利要求23至沈中任一项所述的离子交换树脂层的形成装置，其中，流体压驱动式泵是空气压驱动式隔膜泵。
28.如权利要求23至27中任一项所述的离子交换树脂层的形成装置，其中，离子交换树脂为阳离子交换树脂和阴离子交换树脂的混合树脂。
29.一种离子交换装置，其特征在于，具有通过权利要求17至22中任一项所述的方法形成的离子交换树脂层。
30.一种离子交换装置，其特征在于，具有通过权利要求23至观中任一项所述的装置形成的离子交换树脂层。
全文摘要
本发明提供一种可防止空气中的尘埃污染离子交换树脂的离子交换装置的制作方法。将阴离子交换树脂、阳离子交换树脂分别通过专用的收容槽(11、21)、精制塔(14、24)、贮槽(16、26)、计量槽(19、29)进行精制及计量，在混合槽(30)混合后，填充于容器(33)。计量槽(19、29)、混合槽(30)、填充用容器(33)是配置在洁净度10000以下的无尘室(41)内。对于所制作的离子交换装置进行通水试验，流出水的分析是在洁净度1000以下的高洁净度无尘室(42)内进行。
文档编号B01J47/00GK102471098SQ20108002927
公开日2012年5月23日 申请日期2010年6月23日 优先权日2009年6月30日
发明者佐藤伸, 池田正光 申请人:栗田工业株式会社