专利名称：一种除去三氯氢硅合成尾气粉尘和高沸物的筛板塔塔板的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种多晶硅行业的生产设备，特别是一种筛板塔塔板。
背景技术：
目前，多晶硅行业各企业的生产中，三氯氢硅合成尾气的处理方法有二种1、湿法除尘有喷淋塔、填料塔、筛板塔等。2、干法除尘主要有旋风过滤法、沉降法、静电法、布袋法。实际生产中，由于湿法除尘有其他方法无法替代的好处，在除尘的同时还能除去高沸物，降低了后续精馏工序的生产负荷。但在湿法除尘中喷淋塔对高沸物除去效果有限， 填料塔易堵，因此用筛板塔最好是最好的除尘方法。现有三氯氢硅合成尾气是通过一个筛板塔除去粉尘和高沸物，筛板塔的塔板开孔率为3. 5%,由于生产中气量比较大，但塔板开孔率太小，无法达到除尘目的，造成大量的粉尘和高沸物被带到尾气处理系统，使得尾气处理系统的一级冷凝器、以及吸收塔和解析塔容易堵塞，合成和尾气处理系统需要经常要停车，严重影响生产效率。
实用新型内容本实用新型的发明目的在于针对上述存在的问题，提供一种除去三氯氢硅合成尾气粉尘和高沸物的筛板塔塔板，该塔板能有效净化三氯氢硅合成的尾气，从而保证尾气处理系统和精馏系统不受粉尘和过量高沸物的影响，使得三氯氢硅系统、尾气处理系统、精馏系统可以维持长期稳定连续生产。本实用新型采用的技术方案是这样的一种除去三氯氢硅合成尾气粉尘和高沸物的筛板塔塔板，所述塔板开孔率为 8%-12%，开孔成正三角型均布。将塔板开孔率提高到8%-12%，简单实用、粉尘、高沸物不会带入下个系统，氯硅烷溶液基本无悬浮物和杂质，纯度高。圆形筛孔的排列方法，有正方形排列和三角形排列两种，通过计算，在筛孔大小相同的情况下，三角形排列较正方形排列好，它具有较高的开孔率，并能保证筛面各方向强度的均一性。所述塔板开孔数量为1500—M00个，孔心距15_17mm。作为优选，所述塔板开孔率为10%，开孔数量为2200个，孔心距16mm。所述塔板材质选用Q235普通碳素结构钢。考虑到三氯氢硅合成尾气的特点和成本问题，塔板材质选用Q235普通碳素结构钢即可满足生产要求。综上所述，由于采用了上述技术方案，本实用新型的有益效果是本实用新型所述塔板结构简单实用、粉尘、高沸物不会带入下个系统，氯硅烷溶液基本无悬浮物和杂质，纯度高，三氯氢硅系统、尾气处理系统、精馏系统可以维持长期稳定连续生产，从而对整个多晶硅生产起重大促进作用。
图1是本实用新型所述塔板结构示意图。图2是图1中I部分的放大图。图中标记1为塔板，2为椭圆孔，3为孔。
具体实施方式
以下结合附图，对本实用新型作详细的说明。为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，
以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。实施例1如图1所示，为本实用新型所述一种除去三氯氢硅合成尾气粉尘和高沸物的筛板塔塔板结构，塔板1开孔率为10%。如图2所示，开孔3成正三角型均布。塔板1直径为 880mm,开孔3数量为约为1600个，孔心距16mm。塔板1材质选用Q235普通碳素结构钢。 塔板1通过椭圆孔2与周围设备固定。实施例2如图1所示，为本实用新型所述一种除去三氯氢硅合成尾气粉尘和高沸物的筛板塔塔板结构，塔板1开孔率为8%。如图2所示，开孔3成正三角型均布。塔板1直径为 880mm,开孔3数量为约为1500个，孔心距17mm。塔板1材质选用Q235普通碳素结构钢。 塔板1通过椭圆孔2与周围设备固定。实施例3如图1所示，为本实用新型所述一种除去三氯氢硅合成尾气粉尘和高沸物的筛板塔塔板结构，塔板1开孔率为12%。如图2所示，开孔3成正三角型均布。塔板1直径为 880mm,开孔3数量为约为1700个，孔心距15mm。塔板1材质选用Q235普通碳素结构钢。 塔板1通过椭圆孔2与周围设备固定。本实用新型所述筛板塔塔板用于筛板塔精细除尘，可有效净化三氯氢硅合成的尾气，从而保证尾气处理系统和精馏系统不受粉尘和过量高沸物的影响，使得三氯氢硅系统、 尾气处理系统、精馏系统可以维持长期稳定连续生产，通过生产实践的验证，这种除尘设备得到了生产一线的好评，对整个多晶硅生产起重大促进作用。以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
权利要求1.一种除去三氯氢硅合成尾气粉尘和高沸物的筛板塔塔板，其特征在于所述塔板开孔率为8%-12%，开孔成正三角型均布。
2.根据权利要求1所述的除去三氯氢硅合成尾气粉尘和高沸物的筛板塔塔板，其特征在于所述塔板开孔数量为1500—M00个，孔心距15-17mm。
3.根据权利要求2所述的除去三氯氢硅合成尾气粉尘和高沸物的筛板塔塔板，其特征在于所述塔板开孔率为10%，开孔数量为1600个，孔心距16mm。
4.根据权利要求3所述的除去三氯氢硅合成尾气粉尘和高沸物的筛板塔塔板，其特征在于所述塔板材质选用Q235普通碳素结构钢。
专利摘要本实用新型公开了一种除去三氯氢硅合成尾气粉尘和高沸物的筛板塔塔板，塔板开孔率为8%-12%，开孔成正三角型均布，塔板开孔数量为1500-1700个，孔心距15-17mm，材质选用Q235普通碳素结构钢。本实用新型所述塔板结构简单实用、粉尘、高沸物不会带入下个系统，氯硅烷溶液基本无悬浮物和杂质，纯度高，三氯氢硅系统、尾气处理系统、精馏系统可以维持长期稳定生产，从而对整个多晶硅生产起重大促进作用。
文档编号B01D47/00GK202199222SQ20112029093
公开日2012年4月25日 申请日期2011年8月11日 优先权日2011年8月11日
发明者徐德懿 申请人:四川瑞能硅材料有限公司