安全液封罐的制作方法

文档序号:5039818阅读:1641来源:国知局
专利名称:安全液封罐的制作方法
技术领域
安全液封罐技术领域[0001]本实用新型涉及一种液封罐,特别是一种能够解决二级废气洗涤塔排放尾气HCL 含量超标问题的液封罐。
背景技术
[0002]改良西门子法多晶硅生产过程中,精馏塔、氯硅烷罐区、还原、氢化、⑶I以及合成车间排出的尾气中含有氯硅烷(主要是二氯二氢硅、三氯氢硅),不能直接排空。其通常处理方法如下[0003]来自精馏塔、氯硅烷罐区、还原、氢化、⑶I以及合成车间排出的尾气通过管道输送至一级废气洗涤塔,在一级废气洗涤塔内,废气与塔顶喷头喷淋而下呈雾状的NaOH溶液呈同向顺流,废气与雾状的NaOH溶液充分接触,氯硅烷充分水解,水解后产生的HCl气体被 NaOH水溶液吸收。未水解吸收的尾气从一级废气洗涤塔底部连通管进入二级废气洗涤塔底,在塔内再次与塔顶喷淋而下的NaOH溶液逆向接触,剩余氯硅烷气体充分水解并被NaOH 水溶液吸收,此时,废气中的氯硅烷已经充分水解吸收,洗涤后的废气从二级废气洗涤塔顶排出。[0004]从实际运行情况看,存在的主要问题就是从二级废气洗涤塔塔顶放空管排出的尾气仍然含有微量的HC1,如不采取措施对其进行进一步的洗涤吸收,势必对周边环境造成较大影响。实用新型内容[0005]本实用新型的发明目的在于针对上述存在的问题,提供一种结构简单,操作简便,且能够解决多晶硅生产过程中废气和残液淋洗塔的液封问题,和进一步吸收淋洗塔排放尾气中的有害气体,如解决氯化氢含量超标问题的安全液封罐。[0006]本实用新型采用的技术方案如下[0007]本实用新型的安全液封罐,包括罐体,所述罐体的顶部连接有排放尾气进口管、洗涤液雾化器和排放尾气出口,所述排放尾气进口管连接于废气洗涤塔上,所述罐体底部侧边上连接有溢流管,该溢流管连接到地槽。[0008]由于采用了上述结构,该安全液封罐在使用时,二级废气洗涤塔排放尾气,经管道由排放尾气进口管进入安全液封罐,鼓泡洗涤后,非溶解性气体及微量HCL溢出水面,再经洗涤液雾化器喷洒的洗涤液洗涤,进一步除去HCL气体后,洁净的废气由排放尾气出口排出,进入安全液封罐的洗涤液由溢流管排出,进入洗涤液收集地槽,循环使用。该安全液封罐同时具备鼓泡洗涤和淋洗的双重作用,强化了洗涤效果,从而能够解决多晶硅生产过程中废气和残液淋洗塔的液封问题,进一步吸收淋洗塔排放尾气中的有害气体,如解决氯化氢含量超标问题。[0009]本实用新型的安全液封罐,所述罐体的底部侧边上设置有清理孔。[0010]由于采用了上述结构,可以通过该清理孔,对罐体的内底部堆积的物料进行清理,从而保证罐体内干净,保证其液封效果良好。[0011]本实用新型的安全液封罐,所述该溢流管的高度可调。[0012]由于采用了上述结构,可以通过改变溢流管的高度而改变罐体内部液封的高度, 从而对废气洗涤塔起到了有效的液封作用,满足不同工艺的要求,适用范围广。[0013]综上所述,由于采用了上述技术方案,本实用新型的有益效果是[0014]1.本实用新型的安全液封罐,结构简单,操作简便,使用范围广,成本低廉,易于推广应用;[0015]2.本实用新型的安全液封罐,能够解决多晶硅生产过程中废气和残液淋洗塔的液封问题,且进一步吸收淋洗塔排放尾气中的有害气体,如解决氯化氢含量超标问题;[0016]3.本实用新型的安全液封罐,同时具备鼓泡洗涤和淋洗的双重作用,强化了洗涤效果。


[0017]图1是本实用新型的安全液封罐的连接关系图。[0018]图中标记1 -排放尾气进口管、2-洗涤液雾化器、3-排放尾气出口、4-罐体、5-清理孔、6-溢流管、7-地槽。
具体实施方式
[0019]
以下结合附图,对本实用新型作详细的说明。[0020]为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白,
以下结合附图及实施例,对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解,此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型,并不用于限定本实用新型。[0021]如图1所示,本实用新型的安全液封罐,包括罐体4,所述罐体4的顶部连接有排放尾气进口管1、洗涤液雾化器2和排放尾气出口 3,所述排放尾气进口管1连接于废气洗涤塔上,所述罐体4底部侧边上连接有溢流管6,所述该溢流管6的高度可调,该溢流管6连接到地槽7,所述罐体4的底部侧边上设置有清理孔5。[0022]本实用新型的安全液封罐,在使用时,二级废气洗涤塔排放尾气经管道由排放尾气进口管1进入安全液封罐,鼓泡洗涤后,非溶解性气体及微量HCL溢出水面,再经洗涤液雾化器2喷洒的洗涤液洗涤,进一步除去HCL气体后,洁净的废气由排放尾气出口 3排出。 进入安全液封罐的洗涤液由溢流管6排出,进入洗涤液收集地槽,循环使用。[0023]本实用新型的安全液封罐,结构简单,操作简便,使用范围广,成本低廉,易于推广应用;能够解决多晶硅生产过程中废气和残液淋洗塔的液封问题,且进一步吸收淋洗塔排放尾气中的有害气体,如解决氯化氢含量超标问题;同时具备鼓泡洗涤和淋洗的双重作用, 强化了洗涤效果。[0024]以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已,并不用以限制本实用新型,凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。
权利要求1.安全液封罐,其特征在于它包括罐体(4),所述罐体(4)的顶部连接有排放尾气进口管(1)、洗涤液雾化器(2 )和排放尾气出口( 3 ),所述排放尾气进口管(1)连接于废气洗涤塔上,所述罐体(4 )底部侧边上连接有溢流管(6 ),该溢流管(6 )连接到地槽(7 )。
2.如权利要求1所述的安全液封罐,其特征在于所述罐体(4)的底部侧边上设置有清理孔(5)。
3.如权利要求1或2所述的安全液封罐,其特征在于所述该溢流管(6)的高度可调。
专利摘要本实用新型公开了一种安全液封罐,属于多晶硅尾气处理领域。本实用新型的安全液封罐,包括罐体,所述罐体的顶部连接有排放尾气进口管、洗涤液雾化器和排放尾气出口,所述排放尾气进口管连接于洗涤塔上,所述罐体底部侧边上连接有溢流管,该溢流管连接到地槽。本实用新型的安全液封罐,结构简单,操作简便,使用范围广,成本低廉,易于推广应用;能够解决多晶硅生产过程中废气和残液淋洗塔的液封问题,且进一步吸收淋洗塔排放尾气中的有害气体,如解决氯化氢含量超标问题。
文档编号B01D53/96GK202237756SQ201120338420
公开日2012年5月30日 申请日期2011年9月9日 优先权日2011年9月9日
发明者曾勇强, 曾维华 申请人:四川瑞能硅材料有限公司
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