专利名称：一种三氯氢硅提纯尾气回收装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及ー种三氯氢硅提纯尾气回收装置。
背景技术：
三氯氢硅是合成有机硅的重要中间体，也是制备多晶硅的主要原料。制备三氯氢硅比较成熟的エ艺是采用金属硅粉和气体氯化氢制备，其主要流程包括氯化氢合成、三氯氢硅合成、三氯氢硅分离提纯等主要エ序。三氯氢硅制备过程中分离提纯エ序产生的尾气主要成分是三氯氢硅、四氯化硅和 少量氢气，其处理方法是国内业界的热点话题之一，现有技术中ー股采用尾气一水喷淋中和处理法、活性炭吸附法、气液交換法等。其不足之处是这些尾气的处理都没有很好的回收利用这些成份，而总是将部分物质排放至大气，影响环境。
实用新型内容本实用新型其目的就在于提供ー种三氯氢硅提纯尾气回收装置，能回收提纯尾气中的物资，提高了产量节省了成本，经济效益显著，且不排放废气、废液。实现上述目的而采取的技术方案，包括尾气收集罐，所述的尾气收集罐前端连接水冷凝器，水冷凝器进ロ连接提纯尾气管路，所述尾气收集罐出ロ经压缩机连接高压冷凝器和回收料液罐。与现有技术相比本实用新型具有以下优点。I)本实用新型回收了提纯尾气中的物资，提高产量节省成本，经济效益显著。2)本实用新型不排放废气、废液。
以下结合附图
对本实用新型作进ー步详述。附图为本装置结构原理示意框图。图中，I-水冷凝器，2-尾气收集罐，3-压缩机，4-高压冷凝器，5 一回收料液罐。
具体实施方式
本装置包括尾气收集罐2，如附图所示，所述的尾气收集罐2前端连接水冷凝器1，水冷凝器I进ロ连接提纯尾气管路，所述尾气收集罐2出口经压缩机3连接高压冷凝器4和回收料液罐5。实施例，本装置采用高压冷凝进行回收的方法，可完全处理回收尾气中的三氯氢硅和四氯化硅，将回收的三氯氢硅和四氯化硅重新进入生产系统进行分离获得产品，同时将氢气回收后进入生产系统，兼顾了经济效益和环保效益。如附图所示，提纯分离生产过程中I水冷凝器中冷凝不来的气体为提纯尾气，大量提纯和分离尾气通过管道统ー进入2尾气收集罐，然后经小型压缩机3将收集到的低压尾气变成高压尾气。通过压カ的升高，降低了气体的液化点，高压尾气进入高压冷凝器4将尾气中的大部分三氯氢硅和四氯化硅进行冷凝成料液后进入 料液回收罐5，料液回收罐5中的料液继续进入生产系统的分离系统，将再次进行分离得到成品三氯氢硅和四氯化硅，从而达到回收再利用的目的。
权利要求1. 一种三氯氢硅提纯尾气回收装置，包括尾气收集罐(2)，其特征在于，所述的尾气收集罐(2 )前端连接水冷凝器(I)，水冷凝器(I)进ロ连接提纯尾气管路，所述尾气收集罐(2 )出口经压缩机(3)连接高压冷凝器(4)和回收料液罐(5)。
专利摘要一种三氯氢硅提纯尾气回收装置，包括尾气收集罐，所述的尾气收集罐前端连接水冷凝器，水冷凝器进口连接提纯尾气管路，所述尾气收集罐出口经压缩机连接高压冷凝器和回收料液罐。能回收提纯尾气中的物资，提高了产量节省了成本，经济效益显著，且不排放废气、废液。
文档编号B01D5/00GK202398133SQ20112050535
公开日2012年8月29日 申请日期2011年12月7日 优先权日2011年12月7日
发明者丁建峰 申请人:诺贝尔(九江)高新材料有限公司