专利名称：适用于动态气体发生器的超低浓度管路系统的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种超低浓度管路系统，尤其是涉及适用于动态气体发生器的超低浓度管路系统。
背景技术：
传统的气体发生器只能用单一标准渗透管的获得单一的标准气体，并且很难需要获得小流量的动态气体。
实用新型内容本实用新型主要是解决现有技术所存在的技术问题；提供了一种能够配比出超低浓度小于50ppb的流量气；舍弃了传统的单一容器混合器进行混合，能够是配比气体更均匀的适用于动态气体发生器的超低浓度管路系统及其配气方法。本实用新型的上述技术问题主要是通过下述技术方案得以解决的:—种适用于动态气体发生器的超低浓度管路系统，其特征在于，包括与第一质量流量计输出口连接的超低浓度配气管和与第二质量流量计输出口连接高浓度配气管，所述超低浓度配气管和高浓度配气管同时接一气体混合组件后接气体配比输出管，所述第一质量流量计输入口连接零气输入管，所述零气输入管接零气发生器，所述第二质量流量计输A 口连接标气输入管，所述标气输入管接钢瓶气。在上述的一种适用于动态气体发生器的超低浓度管路系统，所述超低浓度配气管的输入气体浓度为小于100mL/min ;所述高浓度配气管的输入气体浓度为大于等于10 mL/min0在上述的一种适用于动态气体发生器的超低浓度管路系统，所述的气体混合组件包括一螺旋状配气管，所述螺旋状配气管采用聚四氟乙烯管。在上述的一种适用于动态气体发生器的超低浓度管路系统，所述超低浓度配气管的输入气体浓度为5 mL/min -10 mL/min,所述所述高浓度配气管的输入气体浓度为大于等于 10L/min。在上述的一种适用于动态气体发生器的超低浓度管路系统，所述螺旋状配气管的盘旋层数为大于等于10层。在上述的一种适用于动态气体发生器的超低浓度管路系统，所述超低浓度配气管和高浓度配气管采用不锈钢，内壁均经过过氧化处理。一种适用于配气机的超低浓度管路系统的配气方法，其特征在于，包括以下步骤:步骤1，将第一质量流量计和第二质量流量计分别通入5 mL/min -10 mL/min和10L/min的气体,定义Q1为5mL/min_10 mL/min !Q1为10L/min ;定义Cb为钢瓶气浓度；步骤2，第一质量流量计和第二质量流量计的气体分别经过超低浓度配气管和高浓度配气管后进入螺旋状配气 管后经过若干次螺旋回转后在螺旋状配气管内均匀混合，最终的配气稀释浓度为
权利要求1.一种适用于动态气体发生器的超低浓度管路系统，其特征在于，包括与第一质量流量计(I)输出口连接的超低浓度配气管(2)和与第二质量流量计(3)输出口连接高浓度配气管(4)，所述超低浓度配气管(2)和高浓度配气管(4)同时接一气体混合组件后接气体配比输出管，所述第一质量流量计(I)输入口连接零气输入管(10)，所述零气输入管(10)接零气发生器(7 )，所述第二质量流量计(3 )输入口连接标气输入管(8 )，所述标气输入管(8 )接钢瓶气(9)。
2.根据权利要求1所述的一种适用于动态气体发生器的超低浓度管路系统，其特征在于，所述超低浓度配气管(2)的输入气体浓度为小于100mL/min ;所述高浓度配气管(4)的输入气体浓度为大于等于10L/min。
3.根据权利要求1所述的一种适用于动态气体发生器的超低浓度管路系统，其特征在于，所述的气体混合组件包括一螺旋状配气管(6)，所述螺旋状配气管(6)采用聚四氟乙烯管。
4.根据权利要求1所述的一种适用于动态气体发生器的超低浓度管路系统，其特征在于，所述超低浓度配气管(2)的输入气体浓度为5mL/min-10mL/min，所述所述高浓度配气管(4)的输入气体浓度为大于等于10L/min。
5.根据权利要求1所述的一种适用于动态气体发生器的超低浓度管路系统，其特征在于，所述螺旋状配气管(6)的盘旋层数为大于等于10层。
6.根据权利要求1所述的一种适用于动态气体发生器的超低浓度管路系统，其特征在于，所述超低浓度配气管(2)和高浓度配气管(4)采用不锈钢，内壁均经过过氧化处理。
专利摘要本实用新型涉及适用于动态气体发生器的超低浓度管路系统。包括与第一质量流量计输出口连接的超低浓度配气管和与第二质量流量计输出口连接高浓度配气管，所述超低浓度配气管和高浓度配气管同时接一气体混合组件后接气体配比输出管，所述第一质量流量计输入口连接零气输入管，所述零气输入管接零气发生器，所述第二质量流量计输入口连接标气输入管，所述标气输入管接钢瓶气。因此，本实用新型具有如下优点1.能够配比出超低浓度小于50ppb的流量气；2. 混合管采用螺旋状的配比管进行配比混合，舍弃了传统的单一容器混合器进行混合，能够是配比气体更均匀。
文档编号B01F15/04GK203002315SQ20132000761
公开日2013年6月19日 申请日期2013年1月8日 优先权日2013年1月8日
发明者李虹杰, 李恺骅 申请人:武汉宇虹环保产业发展有限公司