晶圆研磨液喷流搅拌的改进结构的制作方法
【专利摘要】一种晶圆研磨液喷流搅拌的改进结构，对晶圆研磨原液加水搅拌成供应研磨晶圆用的预定稀释晶圆研磨液过程前管路的储存槽，此储存槽底所设的喷流搅拌机制进行结构改进，使喷流搅拌机制的动力泵不直接叠接分水盘，再由分水盘塞封储存槽底透孔，使动力泵出入口分别接管连通分水盘对应端，再由分水盘塞封该槽底透孔，于动力泵入口通往分水盘的接管临近中段位置，设置维修控制阀，并于动力泵出口叉分通往分水盘的接管临近中段位置，设置回流搅拌控制阀，使动力泵外挂横伸出该槽底外围。本实用新型维持原喷流搅拌机制良好拌匀少沉积晶圆研磨液的性能外，还能避免漏液滴入动力泵内造成异常，其动力泵外挂横伸出容装晶圆研磨液储存槽底，使维修更方便。
【专利说明】晶圆研磨液喷流搅拌的改进结构
【技术领域】
[0001]本实用新型此种晶圆研磨液喷流搅拌的改进结构，维持原喷流搅拌机制良好拌匀少沉积晶圆研磨液的性能外，还能避免漏液滴入动力泵内造成异常，且其动力泵外挂横伸出容装晶圆研磨液储存槽底，使维修更方便的新颖晶圆研磨液喷流搅拌改进结构技术。
【背景技术】
[0002]集成电路以及CPU所需的芯片尺寸是透过讲究的晶圆切割研磨做出，因此能对晶圆研磨的晶圆研磨液也必须非常精细讲究，否则粗糙的磨制也会浪费很多晶圆材料，使芯片成本大增，也因此研磨晶圆的晶圆研磨液(晶圆研磨液为水性研磨浆液，二氧化硅，业界英文通称为SLURRY)调配得宜，不使过稀无研磨效果或过浓得产生过量研磨，就非常重要。
[0003]而除了在混酸槽中，混入纯水(业界英文通称为DI)、酸量适当与否会造成浓度调配问题外，更由于晶圆研磨原液的比重很重，从晶圆研磨原液到预定拌成的稀释晶圆研磨液，再送到研磨机的各个管路输配送阶段，时间一拖久就会明显地产生沉淀，使管路上层液体浓度比下层液体更浓，导致同批已混搅成的稀释晶圆研磨液研磨效果不均匀，因此，稀释前的晶圆研磨原液需用摇摇机先行混合均匀，再输送到搅拌槽加纯水扮匀后，流经供应槽送到研磨机研磨晶圆。
[0004]而传统上对晶圆研磨原液加水搅拌成供应研磨晶圆用的预定稀释晶圆研磨液过程前管路的储存槽，以电动泵带动叶片伸进槽内搅拌为之，然而用叶片搅拌存在片缘沾黏、易沉积乱流多、不利拌匀等种种诸多缺点，影响晶圆研磨液搅拌质量，因此本发明人曾提出「避免晶圆研磨液沉淀之改良装置」的实用新型，用喷射激流缴拌重复回流的原理，在搅拌供应晶圆研磨液整套流程设施中，设置取代搅拌叶的供应喷流搅拌机制，改进了现有用叶片搅拌晶圆研磨液搅拌不佳的缺失。
[0005]实施此先前实用新型供应喷流搅拌机制的整套流程设施如图1所示，由该图所示可知，于晶圆研磨原液加水搅拌成供应研磨晶圆用的预定稀释晶圆研磨液过程前管路的储存槽10，此槽10底设置喷流搅拌机制20，在此对该喷流搅拌机制20更进一步说明，如图2的喷流搅拌机制立体图，及图3的喷流搅拌机制作用剖示图，图2是从储存槽10底往顶斜看的特定方向及角度，此喷流搅拌机制20的动力泵21直接叠接分水盘22，再由分水盘22塞封该槽10底透孔，且动力泵21向旁外开伸出一出口管21A，将该槽10喷流搅拌好的液料经该管21A管接输出到后供应晶圆研磨液后流程，而分水盘22如图5的分水盘俯视图，该分水盘22盘面中央开设一入液口 23通往前图所示动力泵21的入口，复于临近该盘22盘缘布设数只散发辐射排列的喷水细孔24，25连通前图所示动力泵21的出口，由此，动力泵21就能一再从该口 23抽取前图所示的该槽10内混入纯水的晶圆研磨原液，再经由各个喷水细孔，24，25喷回该槽10内里，形成喷射激流缴拌作用，此结构固然解决了传统叶片搅拌机制搅拌不佳的缺失，但因动力泵21直接叠接在分水盘22下方，当该槽10漏液时，漏液会经由分水盘22与该槽10的塞接缝漏处，滴到动力泵21的泵内主件造成异常，况且对该槽10漏缝止漏维修，或对动力泵20维修保养时，还需拆除该槽10槽体才能进行，维修耗事耗时。
[0006]鉴于现有喷流搅拌机制20仍有上述种种缺失，因而本发明人再更积极研究改进之道，经过一番艰辛的苦思及试验过程，终于有本实用新型产生。
实用新型内容
[0007]本实用新型所要解决的主要技术问题在于，克服现有技术存在的上述缺陷，而提供一种晶圆研磨液喷流搅拌的改进结构，其维持原喷流搅拌机制良好拌匀少沉积晶圆研磨液的性能外，还能避免漏液滴入动力泵内造成异常，且其动力泵外挂横伸出容装晶圆研磨液储存槽底，使维修更方便。
[0008]本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:
[0009]一种晶圆研磨液喷流搅拌的改进结构，设有储存槽，该储存槽的槽底设有喷流搅拌机制及导引回流管路，使喷流搅拌机制的动力泵不直接叠接分水盘，再由分水盘塞封该储存槽底透孔，而使动力泵出入口分别接管连通分水盘对应端，再由分水盘塞封该槽底透孔，且于动力泵入口通往分水盘的接管临近中段位置，设置维修控制阀，并于动力泵出口叉分通往分水盘的接管临近中段位置，设置回流搅拌控制阀，使动力泵外挂横伸出该槽底外围，由此构成，维持先前喷流搅拌机制加快搅拌、减少沉积，混合效果优的成效外，于储存槽漏液时，漏液不会滴到动力泵主件造成异常。
[0010]又，本实用新型此种晶圆研磨液喷流搅拌的改进结构，且无需拆除该储存槽体即可便利地拆管维修，还能运用 回流搅拌控制阀将液体供应完全，不易残留液体者。
【专利附图】
【附图说明】
[0011]下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
[0012]图1为现有实施喷流搅拌机制整套流程设施图。
[0013]图2为图1的喷流搅拌机制立体图。
[0014]图3为图1的喷流搅拌机制作用剖示图。
[0015]图4为图3所示A部位的放大图。
[0016]图5为图1的喷流搅拌机制中的分水盘俯视图。
[0017]图6为本实用新型晶圆研磨液喷流搅拌的改进结构立体图一。
[0018]图7为本实用新型晶圆研磨液喷流搅拌的改进结构立体图二。
[0019]图8为本实用新型晶圆研磨液喷流搅拌的改进结构的储存槽及分水盘作用剖示图。
[0020]图9为图8所示B部位的放大图。
[0021 ]图中标号说明:
[0022]10储存槽49喷流总管
[0023]11回流孔
[0024]20喷流搅拌机制
[0025]21动力泵
[0026]2IA 出口管
[0027]22分水盘[0028]23 入液口
[0029]24，25喷水细孔
[0030]40喷流搅拌机制
[0031]41动力泵
[0032]42分水盘
[0033]43，44 管
[0034]45维修控制阀
[0035]46回流搅拌控制阀
[0036]47插接管
[0037]48 入液 口
【具体实施方式】
[0038]现有对晶圆研磨液喷流搅拌的喷流搅拌机制缺失已如前述，此处不再赘述。
[0039]图6为本实用新型晶圆研磨液喷流搅拌的改进结构立体图一，并请同时参照图7的改进结构立体图二、图8的改进结构的储存槽及分水盘作用剖示图，图6及图7是从储存槽10底往顶斜看的特定方向及角度，由该些图所示可知，本实用新型此种晶圆研磨液喷流搅拌的改进结构，对晶圆研磨原液加水搅拌成供应研磨晶圆用的预定稀释晶圆研磨液过程前管路的储存槽10，此储存槽10底所设的喷流搅拌机制40进行结构改进，使喷流搅拌机制40的动力泵41不直接叠接分水盘42，再由分水盘塞42封该槽10底透孔，而使动力泵41出口及入口分别接管43，44连通分水盘42对应端，再由分水盘42塞封该槽10底透孔，且于动力泵41入口通往分水盘42的接管44临近中段位置，设置维修控制阀45，并于动力泵41出口叉分通往分水盘42的接管43临近中段位置，设置回流搅拌控制阀46，使动力泵41外挂横伸出该槽10底外围，欲对该槽10底连接分水盘42接缝止漏或对动力泵41保养维修时，先控制该些阀45，46全部关闭，就能截流保存该槽10内存的晶圆研磨液，对该些管43，44管接动力泵41处拆卸取下动力泵41，由此能够仅拆动动力泵41，无须将该槽10整个拆卸下，就能露出该槽10槽底及分水盘42，方便对动力泵41及该槽10底进行检修，而喷流搅拌运作当中，当喷搅动能充足导致搅流惯性足够时，复可引导该回流搅拌控制阀46暂时关闭，将该槽10内混好的晶圆研磨液改由该泵41出口叉往晶圆研磨液供应后端流程输送，于随后搅拌流速将降低过标准搅动流速值时，再立即引导该阀46开启，恢复喷射搅拌机能，得以维持搅速稳定，时时常保搅拌均匀。
[0040]至于该分水盘42的详细构成，如图9的放大图所示，该分水盘42朝向该槽10的盘底中央垂伸出供前图所示该管44套接的插接管47，且此管47内管道向该盘42盘面中央透设入液口 48，借由插接管47套接该管44使入液口 48通往前图所示动力泵41入口，复于临近该盘42底偏离插接管47适当位置，伸出向下外斜供前图所示该管43套接的喷流总管49，且喷流总管49内管道再向该盘42盘面分散布设数只散发辐射排列的喷水细孔24，25 (喷水细孔24，25请参阅图5)，借由喷流总管47套接该管43，使喷水细孔24，25通往前图所示动力泵41出口。
[0041]以上所述，仅是本实用新型的较佳实施例而已，并非对本实用新型作任何形式上的限制，凡是依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本实用新型技术方案的范围内。
[0042] 综上所述，本实用新型在结构设计、使用实用性及成本效益上，完全符合产业发展所需，且所揭示的结构亦是具有前所未有的创新构造，具有新颖性、创造性、实用性，符合有关新型专利要件的规定，故依法提起申请。
【权利要求】
1.一种晶圆研磨液喷流搅拌的改进结构，设有储存槽，该储存槽的槽底设有喷流搅拌机制及导引回流管路，该储存槽不同于现有喷流搅拌机制的动力泵直接叠接分水盘，再由分水盘塞封储存槽底透孔，其特征在于:动力泵出入口分别接管连通分水盘对应端，再由分水盘塞封该槽底透孔，且于动力泵入口通往分水盘的接管临近中段位置，设置维修控制阀，并于动力泵出口叉分通往分水盘的接管临近中段位置，设置回流搅拌控制阀，使动力泵外挂横伸出储存槽底外围。
2.根据权利要求1所述的晶圆研磨液喷流搅拌的改进结构，其特征在于，所述分水盘朝向储存槽另面的盘底中央垂伸出供管套接的插接管，且此插接管内管道向分水盘盘面中央透设入液口，借由插接管套接管，使入液口通往动力泵的入口，复于临近分水盘底偏离插接管适当位置，伸出向下外斜供管套接的喷流总管，且喷流总管内管道再向分水盘盘面分散布设数只散发辐射排列的喷水细孔，借由喷流总管套接管，使喷水细孔通往动力泵的出□。
【文档编号】B01F5/04GK203507842SQ201320397889
【公开日】2014年4月2日 申请日期:2013年7月5日 优先权日:2013年7月5日
【发明者】吴濬宇 申请人:宸沅国际股份有限公司