一种研磨液配料加液装置的制作方法

1.本实用新型涉及研磨液，尤其涉及一种研磨液配料加液装置。


背景技术：

2.硅晶片加工装置的其中一个主要部件为研磨液配置装置，而现有技术的研磨液配置装置一般采用手动增加基液，效率低下。


技术实现要素：

3.本实用新型所要解决的技术问题是克服现有技术中存在的不足，提供一种研磨液配料加液装置。
4.本实用新型是通过以下技术方案予以实现：
5.一种研磨液配料加液装置，包括液箱、齿轮泵、搅拌器和传动部，液箱内储存研磨液的基液，液箱内设有一号管道，齿轮泵内部转动连接主动齿轮和从动齿轮，齿轮泵设有进液口和出液口，一号管道连通齿轮泵的进液口，齿轮泵的出液口连通二号管道，二号管道连通搅拌器内部，搅拌器内部设有搅拌轴，搅拌轴设有多个搅拌叶片，传动部包括外壳、一号轴、二号轴、丝杠和导轨，一号轴、二号轴、丝杠和导轨相互平行，一号轴与外壳通过轴承连接，一号轴的两端分别连接电机和主动齿轮，一号轴上设有多个不同直径的主动传动齿轮，二号轴与外壳通过轴承连接，二号轴和搅拌轴通过一对锥齿轮连接，二号轴滑动连接滑套，滑套设有多个不同直径的从动传动齿轮，从动传动齿轮与主动传动齿轮配合，丝杠与外壳通过轴承连接，丝杠通过螺纹连接滑块，滑块设有导向通槽，导轨穿过导向通槽，滑块与滑套固定连接。
6.根据上述技术方案，优选地，主动齿轮和从动齿轮啮合。
7.根据上述技术方案，优选地，丝杠设有摇柄。
8.根据上述技术方案，优选地，二号轴上设有滑键，滑套上设有对应的键槽。
9.根据上述技术方案，优选地，滑套上设有卡环，卡环和滑块通过连杆固定连接。
10.本实用新型的有益效果是：提供一种可以向研磨液搅拌器补充基液的装置，并且可以调节齿轮泵的基液输送速度和搅拌轴的转动速度关系。液箱内储存研磨液的基液。电机带动一号轴转动，一号轴带动齿轮泵中的主动齿轮转动，主动齿轮带动从动齿轮转动，将液箱中的基液通过一号管道吸入齿轮泵中，并通过二号管道排入到搅拌器中。同时一号轴的主动传动齿轮与二号轴的从动传动齿轮啮合，电机通过一号轴带动二号轴转动，二号轴通过锥齿轮带动搅拌轴转动，搅拌轴带动搅拌叶片转动，将基液与研磨液搅拌混合均匀。使用者可以通过转动丝杠，带动滑块沿着导轨滑动，滑块带动滑套沿着二号轴移动，从而使不同的主动传动齿轮与从动传动齿轮啮合，改变一号轴和二号轴的传动比。
附图说明
11.图1示出了本实用新型的实施例的传动部结构示意图。
12.图2示出了本实用新型的实施例的液箱和齿轮泵结构示意图。
13.图3示出了本实用新型的实施例的搅拌器结构示意图。
14.图中：1.液箱，2.齿轮泵，3.搅拌器，4.一号管道，5.主动齿轮，6.从动齿轮，7.进液口，8.出液口，9.二号管道，10.搅拌轴，11.搅拌叶片，12.外壳，13.一号轴，14.二号轴，15.丝杠，16.导轨，17.主动传动齿轮，18.锥齿轮，19.滑套，20.从动传动齿轮，21.滑块，22.摇柄，23.滑键，24.卡环，25.连杆。
具体实施方式
15.为了使本技术领域的技术人员更好地理解本实用新型的技术方案，下面结合附图和最佳实施例对本实用新型作进一步的详细说明。
16.如图所示，本实用新型一种研磨液配料加液装置，包括液箱1、齿轮泵2、搅拌器3和传动部，液箱内设有一号管道4，齿轮泵内部转动连接主动齿轮5和从动齿轮6，齿轮泵设有进液口7和出液口8，一号管道连通齿轮泵的进液口，齿轮泵的出液口连通二号管道9，二号管道连通搅拌器内部，搅拌器内部设有搅拌轴10，搅拌轴设有多个搅拌叶片11，传动部包括外壳12、一号轴13、二号轴14、丝杠15和导轨16，一号轴、二号轴、丝杠和导轨相互平行，一号轴与外壳通过轴承连接，一号轴的两端分别连接电机和主动齿轮，一号轴上设有多个不同直径的主动传动齿轮17，二号轴与外壳通过轴承连接，二号轴和搅拌轴通过一对锥齿轮18连接，二号轴滑动连接滑套19，滑套设有多个不同直径的从动传动齿轮20，从动传动齿轮与主动传动齿轮配合，丝杠与外壳通过轴承连接，丝杠通过螺纹连接滑块21，滑块设有导向通槽，导轨穿过导向通槽，滑块与滑套固定连接。
17.根据上述实施例，优选地，主动齿轮和从动齿轮啮合。
18.根据上述实施例，优选地，丝杠设有摇柄22。
19.根据上述实施例，优选地，二号轴上设有滑键23，滑套上设有对应的键槽。滑套可以沿着滑键滑动，并且与二号轴传递扭矩。
20.根据上述实施例，优选地，滑套上设有卡环24，卡环和滑块通过连杆25固定连接。
21.本实施例的工作原理为：液箱内储存研磨液的基液。电机带动一号轴转动，一号轴带动齿轮泵中的主动齿轮转动，主动齿轮带动从动齿轮转动，将液箱中的基液通过一号管道吸入齿轮泵中，并通过二号管道排入到搅拌器中。同时一号轴的主动传动齿轮与二号轴的从动传动齿轮啮合，电机通过一号轴带动二号轴转动，二号轴通过锥齿轮带动搅拌轴转动，搅拌轴带动搅拌叶片转动，将基液与研磨液搅拌混合均匀。使用者可以通过转动丝杠，带动滑块沿着导轨滑动，滑块带动滑套沿着二号轴移动，从而使不同的主动传动齿轮与从动传动齿轮啮合，改变一号轴和二号轴的传动比，调节齿轮泵的基液输送速度和搅拌轴的转动速度关系。
22.本实用新型的有益效果是：提供一种可以向研磨液搅拌器补充基液的装置，并且可以调节齿轮泵的基液输送速度和搅拌轴的转动速度关系。
23.以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。


技术特征：
1.一种研磨液配料加液装置，其特征在于：包括液箱、齿轮泵、搅拌器和传动部，液箱内储存研磨液的基液，液箱内设有一号管道，齿轮泵内部转动连接主动齿轮和从动齿轮，齿轮泵设有进液口和出液口，一号管道连通齿轮泵的进液口，齿轮泵的出液口连通二号管道，二号管道连通搅拌器内部，搅拌器内部设有搅拌轴，搅拌轴设有多个搅拌叶片，传动部包括外壳、一号轴、二号轴、丝杠和导轨，一号轴、二号轴、丝杠和导轨相互平行，一号轴与外壳通过轴承连接，一号轴的两端分别连接电机和主动齿轮，一号轴上设有多个不同直径的主动传动齿轮，二号轴与外壳通过轴承连接，二号轴和搅拌轴通过一对锥齿轮连接，二号轴滑动连接滑套，滑套设有多个不同直径的从动传动齿轮，从动传动齿轮与主动传动齿轮配合，丝杠与外壳通过轴承连接，丝杠通过螺纹连接滑块，滑块设有导向通槽，导轨穿过导向通槽，滑块与滑套固定连接。2.根据权利要求1所述的一种研磨液配料加液装置，其特征在于：主动齿轮和从动齿轮啮合。3.根据权利要求1所述的一种研磨液配料加液装置，其特征在于：丝杠设有摇柄。4.根据权利要求1所述的一种研磨液配料加液装置，其特征在于：二号轴上设有滑键，滑套上设有对应的键槽。5.根据权利要求1所述的一种研磨液配料加液装置，其特征在于：滑套上设有卡环，卡环和滑块通过连杆固定连接。

技术总结
本实用新型涉及研磨液，尤其涉及一种研磨液配料加液装置。一种研磨液配料加液装置，包括液箱、齿轮泵、搅拌器和传动部，液箱内储存研磨液的基液，液箱内设有一号管道，齿轮泵内部转动连接主动齿轮和从动齿轮，齿轮泵设有进液口和出液口。本实用新型的有益效果是：提供一种可以向研磨液搅拌器补充基液的装置，并且可以调节齿轮泵的基液输送速度和搅拌轴的转动速度关系。速度关系。速度关系。


技术研发人员：高如山
受保护的技术使用者：天津西美科技有限公司
技术研发日：2021.07.05
技术公布日：2022/1/11