防止残留液体滴落的管道的制作方法
【技术领域】
[0001 ] 本发明涉及溶液供应装置，尤其涉及一种防止残留液体滴落的管道。
【背景技术】
[0002]在半导体器件制造过程中，通常会用到各种溶液(例如去离子水、各种化学液等)对晶圆表面进行处理。如图2所示，为现有的溶液供应装置的结构示意图，该装置包括溶液供应管道101及设置在溶液供应管道101上的气动阀102。供应溶液时，打开气动阀102，溶液从溶液供应管道101的进液口处进入溶液供应管道101,然后从溶液供应管道101的出液口流出至晶圆表面，以对晶圆表面进行处理。晶圆处理结束后，停止溶液供应并关闭气动阀102。此时，虽然已停止溶液供应，然而，溶液供应管道101内仍会有残留的溶液，残留的溶液从溶液供应管道101的出液口流出并滴落，如果晶圆还没有被取走，残留的溶液将滴落在晶圆表面，在对精度要求较高的工艺中，这种现象是不希望发生的。
[0003]为了解决上述装置存在的残留液体滴落的技术问题，中国专利号ZL03227020.8公开了一种防滴漏装置，该装置在灌注咀的灌液通道旁边开有一抽真空通道，抽真空通道的吸液口与灌注咀的灌液通道口紧靠在一起。当灌注完毕，残余的液体刚在灌液通道口形成液滴，就会被来自抽真空通道的真空从吸液口处将液滴吸走，使残液不会下滴。然而，一旦残余的液滴离开了灌液通道口，由于抽真空通道的吸液口与灌注咀的灌液通道口是并行靠在一起，液滴就不能从抽真空通道的吸液口处吸走。因此，该装置仍存在液体滴落的风险。
【发明内容】
[0004]本发明的目的是提供一种防止残留液体滴落的管道，以避免工艺处理结束后管道内有残留液体滴落的问题。
[0005]为实现上述目的，本发明提出的防止残留液体滴落的管道，包括:供液管道、套管及抽真空装置。供液管道具有进液口和出液口 ；套管套设在供液管道的外面，套管的内壁与供液管道的外壁之间具有空隙，供液管道的进液口从套管的端部伸出，套管的端部与供液管道之间密封连接，供液管道的出液口位于套管内，供液管道的出液口与套管的管口之间间隔一定距离；抽真空装置与套管连通，抽真空装置对套管抽真空。
[0006]在一个实施例中，抽真空装置为文丘里管。
[0007]在一个实施例中，抽真空装置包括连接管道及压缩气体管道，连接管道的一端与套管连通，连接管道的另一端位于压缩气体管道内，压缩气体管道具有进气口和出气口。
[0008]在一个实施例中，还进一步包括第一开关阀，第一开关阀设置在供液管道上，抽真空装置包括第二开关阀，第二开关阀设置在压缩气体管道上，在关闭第一开关阀之前至之后的一时间段内，打开第二开关阀，压缩气体进入压缩气体管道，以对套管抽真空。
[0009]在一个实施例中，上述的时间段由供液管道的出液口与套管的管口之间的高度差决定。
[0010]综上所述，本发明通过采用套管套设在供液管道的外面，并使供液管道的出液口位于套管内，在供液结束前至结束后的时间段内的任一时间点，开始对套管抽真空，这样即使供液管道内残留液滴离开了供液管道的出液口，只要残留液滴未滴落出套管管口，都可以将残留液滴从套管的内壁与供液管道的外壁之间的空隙中吸走，防止供液管道中残留液体滴落。
【附图说明】
[0011]图1揭示了本发明防止残留液体滴落的管道的一实施例的结构示意图。
[0012]图2为现有的溶液供应装置的结构示意图。
【具体实施方式】
[0013]为详细说明本发明的技术内容、构造特征、所达成目的及功效，下面将结合实施例并配合图式予以详细说明。
[0014]参阅图1，揭示了本发明防止残留液体滴落的管道的一实施例的结构示意图。根据该实施例的防止残留液体滴落的管道包括:供液管道201、第一开关阀202、套管203及抽真空装置。具体地，供液管道201具有进液口和出液口。第一开关阀202设置在供液管道201上，第一开关阀202邻近供液管道201的进液口。套管203套设在供液管道201的外面，套管203的内壁与供液管道201的外壁之间具有空隙，供液管道201的进液口从套管203的端部伸出，套管203的该端部与供液管道201之间密封连接，供液管道201的出液口位于套管203内，供液管道201的出液口与套管203的管口之间间隔一定距离。抽真空装置与套管203连通，以对套管203抽真空。
[0015]在一个实施例中，抽真空装置为文丘里管，抽真空装置包括连接管道204、压缩气体管道205及第二开关阀206，利用文丘里效应实现对套管203抽真空。连接管道204的一端与套管203连通，连接管道204的另一端位于压缩气体管道205内。压缩气体管道205具有进气口和出气口。第二开关阀206设置在压缩气体管道205上，第二开关阀206邻近压缩气体管道205的进气口。抽真空时，打开第二开关阀206，压缩气体从压缩气体管道205的进气口进入压缩气体管道205内，由于连接管道204的另一端位于压缩气体管道205内，使得此处的压缩气体通道变窄，从而在位于压缩气体管道205内的连接管道204的端口处产生负压，进而实现对套管203抽真空。
[0016]使用该防止残留液体滴落的管道时，打开第一开关阀202，液体从供液管道201的进液口进入供应管道201内，然后从供应管道201的出液口流出，第二开关阀206关闭，压缩气体不能进入压缩气体管道205。在关闭第一开关阀202之前至之后的一时间段内，打开第二开关阀206，压缩气体进入压缩气体管道205，以对套管203抽真空，这样在关闭第一开关阀202,停止供液后,供液管道201内残留的液体在滴落出套管203的管口之前,会被来自套管203的真空从套管203的内壁与供液管道201的外壁之间的空隙中吸走，残留的液体流经连接管道204和压缩气体管道205，最后从压缩气体管道205的出气口流出。在一个实施例中，上述的时间段由供液管道201的出液口与套管203的管口之间的高度差决定。该时间段是可变的，实际只要保证残留液体在从供液管道201的出液口滴落到套管203的管口之前被抽走即可。
[0017]由上述可知，本发明通过采用套管203套设在供液管道201的外面，并使供液管道201的出液口位于套管203内，在供液结束前至结束后的时间段内的任一时间点，开始对套管203抽真空，这样即使供液管道201内残留液滴离开了供液管道201的出液口，只要残留液滴未滴落出套管203管口，都可以将残留液滴从套管203的内壁与供液管道201的外壁之间的空隙中吸走，防止供液管道201中残留液体滴落。
[0018]综上所述，本发明通过上述实施方式及相关图式说明，己具体、详实的揭露了相关技术，使本领域的技术人员可以据以实施。而以上所述实施例只是用来说明本发明，而不是用来限制本发明的，本发明的权利范围，应由本发明的权利要求来界定。至于本文中所述元件数目的改变或等效元件的代替等仍都应属于本发明的权利范围。
【主权项】
1.一种防止残留液体滴落的管道，其特征在于，包括: 供液管道，所述供液管道具有进液口和出液口 ； 套管，所述套管套设在供液管道的外面，套管的内壁与供液管道的外壁之间具有空隙，供液管道的进液口从套管的端部伸出，套管的端部与供液管道之间密封连接，供液管道的出液口位于套管内，供液管道的出液口与套管的管口之间间隔一定距离；及 抽真空装置，所述抽真空装置与套管连通，抽真空装置对套管抽真空。
2.根据权利要求1所述的防止残留液体滴落的管道，其特征在于，所述抽真空装置为文丘里管。
3.根据权利要求1所述的防止残留液体滴落的管道，其特征在于，所述抽真空装置包括连接管道及压缩气体管道，连接管道的一端与套管连通，连接管道的另一端位于压缩气体管道内，压缩气体管道具有进气口和出气口。
4.根据权利要求3所述的防止残留液体滴落的管道，其特征在于，进一步包括第一开关阀，所述第一开关阀设置在供液管道上，所述抽真空装置包括第二开关阀，所述第二开关阀设置在压缩气体管道上，在关闭第一开关阀之前至之后的一时间段内，打开第二开关阀，压缩气体进入压缩气体管道，以对套管抽真空。
5.根据权利要求4所述的防止残留液体滴落的管道，其特征在于，所述时间段由供液管道的出液口与套管的管口之间的高度差决定。
【专利摘要】本发明揭示了一种防止残留液体滴落的管道，包括：供液管道、套管及抽真空装置。供液管道具有进液口和出液口；套管套设在供液管道的外面，套管的内壁与供液管道的外壁之间具有空隙，供液管道的进液口从套管的端部伸出，套管的端部与供液管道之间密封连接，供液管道的出液口位于套管内，供液管道的出液口与套管的管口之间间隔一定距离；抽真空装置与套管连通，抽真空装置对套管抽真空。本装置能够实现供液管道内的残留液体在滴落出套管管口之前，通过对套管抽真空，将残留液滴从套管的内壁与供液管道的外壁之间的空隙中吸走，防止供液管道中残留液体滴落。
【IPC分类】B05B15-04
【公开号】CN104624431
【申请号】CN201310567168
【发明人】肖东风, 贾照伟, 王坚, 王晖
【申请人】盛美半导体设备（上海）有限公司
【公开日】2015年5月20日
【申请日】2013年11月14日