一种用于密封的激光器光学腔内循环高度净化系统的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型属于激光器技术领域，尤其涉及一种用于密封的激光器光学腔内循环高度净化系统。
【背景技术】
[0002]激光器制造过程中，为保证激光器长期稳定运行，要求激光器光学腔内所有光学器件都能有较长的寿命及较低的损坏比率。因此腔内环境的洁净处理成为我们关注的重要因素。许多激光器公司一般都采用了密封处理并添加干燥剂的措施，例如JDSUXoherent。
[0003]但是以上这些措施仍存在较大漏洞:干燥剂对水分的去除作用不彻底，而且该处理措施对固体颗粒及有机气体分子没有去除作用。激光器光学腔内由于元件较多，空气影响因素除了空气本身的湿度、粉尘度及有机气体浓度外，还有元件所引入的二次污染物，特别是在腔内高辐射环境中才会产生的二次污染物。这里的元件包括机械加工件、线材、电路板、导热胶和粘接胶等。因此激光器光学腔内空气净化处理只针对空气本身是远远不够的。
【实用新型内容】
[0004]本实用新型实施例的目的在于提供一种用于密封的激光器光学腔内循环高度净化系统，以解决现有技术对密封的激光器光学腔内的空气净化不彻底的问题。
[0005]本实用新型实施例是这样实现的，一种用于密封的激光器光学腔内循环高度净化系统，所述净化系统包括依次连接的真空泵、吸收盒和DFU ;
[0006]所述真空泵对所述激光器光学腔内空气进行抽气；所述吸收盒的进气口和出气口分别连接所述真空泵的出气口和所述DFU的进气口 ；所述DFU的出气口连接所述激光器光学腔内空气；
[0007]所述吸收盒与所述真空泵和所述DFU的连接端均设有过滤网；
[0008]所述吸收盒内设置有干燥剂、活性炭和分子筛。
[0009]本实用新型提供的一种用于密封的激光器光学腔内循环高度净化系统的优选实施例中:所述真空泵为单向自密封结构的低压泵。
[0010]本实用新型提供的一种用于密封的激光器光学腔内循环高度净化系统的第二优选实施例中:所述激光器光学腔内空气与所述净化系统之间、所述净化系统保护各部件之间以洁净软管连接；
[0011]连接时采用宝塔头转接和钢带卡箍紧固双重保护措施进行密封。
[0012]本实用新型提供的一种用于密封的激光器光学腔内循环高度净化系统的第三优选实施例中:所述吸收盒为圆柱体形；
[0013]所述吸收盒内从靠近所述真空泵端到靠近所述DFU端，所述干燥剂、活性炭和分子筛依次设置。
[0014]本实用新型实施例提供的一种用于密封的激光器光学腔内循环高度净化系统的有益效果包括:
[0015]1、使用真空泵对密封的激光器光学腔内空气进行抽气进入净化系统处理，能快速并充分对整个激光器光学腔内空气进行净化处理，并且避免了油分进入气道的可能性；真空泵采用单向自密封结构的低压泵，低压使得气流较平缓，减小腔内空气波动带来的副作用。
[0016]2、吸收盒内依次设置干燥剂、活性炭和分子筛，通过适当的顺序及比例，吸收盒可以高效的吸收空气中的水分、有机气体气体分子并将副作用降到最低；DFU可以完全去除0.3um以上固体颗粒且较大程度去除0.3um以内固体颗粒，同时对从吸收盒内出来的新固体颗粒的补充过滤；进一步的，激光器光学腔内空气与净化系统之间、净化系统各部件之间都以洁净软管连接，以达到密封效果，避免腔内空气与外界空气交换，连接时采用宝塔头转接和钢带卡箍紧固双重保护措施进行密封，确保接头密封的同时解决了老化带来的影响；通过具体测试得到整个净化系统对水分、有机气体分子和0.3um以上固体颗粒的去除作用达到100%，对0.3um以内固体颗粒的过滤效率达到99%左右，另外对其他气体分子的过滤作用也非常明显，例如二氧化碳；从腔内空气的净化效果上看，本实用新型提供的一种净化系统具有长期有效性并有利于激光器集成。
【附图说明】
[0017]为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0018]图1是本实用新型实施例提供的用于密封的激光器光学腔内循环高度净化系统的结构示意图。
【具体实施方式】
[0019]为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
[0020]为了说明本实用新型所述的技术方案，下面通过具体实施例来进行说明。
[0021]如图1所示为本实用新型提供的用于密封的激光器光学腔内循环高度净化系统的结构示意图，该净化系统包括:真空泵、吸收盒和DFU ；DFU规格为30nm。
[0022]真空泵对激光器光学腔内空气进行抽气；吸收盒的进气口和出气口分别连接真空泵的出气口和DFU的进气口 ；DFU的出气口连接激光器光学腔内空气。
[0023]吸收盒与真空泵和DFU的连接端均设有过滤网；吸收盒内设置有干燥剂、活性炭和分子筛。
[0024]腔内空气被真空泵抽出进入净化系统，真空泵的设计避免了油分进入气道的可能性。吸收盒与真空泵和DFU的两个连接端均设置有单层过滤网，用于处理待过滤气体中的大颗粒粉尘及吸收盒内固体颗粒，作为级过滤。吸收盒内设置的干燥剂、活性炭、分子筛，分别过滤空气中的水分、有机气体分子及大颗粒粉尘、有机气体分子及残余水分，可以完全去除水分和有机气体分子，并去除部分颗粒粉尘，作为第二级过滤。DFU主要功能是完全去除0.3um以上固体颗粒且较大程度去除0.3um以内固体颗粒，同时也是对从吸收盒内出来的新固体颗粒的补充过滤，作为第三级过滤。经过DFU过滤的空气，回流入激光器光学腔内，净化系统以循环方式持续进行净化工作。
[0025]进一步的，真空泵采用单向自密封结构的低压泵，低压使得气流较平缓，减小腔内空气波动带来的副作用。
[0026]激光器光学腔内空气与净化系统之间、净化系统各部件之间都以洁净软管连接，同时需达到密封效果，避免腔内空气与外界空气交换。连接时采用宝塔头转接和钢带卡箍紧固双重保护措施进行密封，确保接头密封的同时解决了老化带来的影响。
[0027]吸收盒为圆柱体形，使抗压能力达到0.2MPa以上，机械可靠性大大提高。吸收盒内从靠近真空泵端到靠近DFU端，干燥剂、活性炭和分子筛依次设置。通过适当的顺序及比例，吸收盒可以高效的吸收空气中的水分、有机气体气体分子并将副作用降到最低。
[0028]以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
【主权项】
1.一种用于密封的激光器光学腔内循环高度净化系统，其特征在于，所述净化系统包括依次连接的真空泵、吸收盒和DFU ； 所述真空泵对所述激光器光学腔内空气进行抽气；所述吸收盒的进气口和出气口分别连接所述真空泵的出气口和所述DFU的进气口 ；所述DFU的出气口连接所述激光器光学腔内空气； 所述吸收盒与所述真空泵和所述DFU的连接端均设有过滤网； 所述吸收盒内设置有干燥剂、活性炭和分子筛。
2.如权利要求1所述的净化系统，其特征在于，所述真空泵为单向自密封结构的低压栗O
3.如权利要求1所述的净化系统，其特征在于，所述激光器光学腔内空气与所述净化系统之间、所述净化系统保护各部件之间以洁净软管连接； 连接时采用宝塔头转接和钢带卡箍紧固双重保护措施进行密封。
4.如权利要求1所述的净化系统，其特征在于，所述吸收盒为圆柱体形； 所述吸收盒内从靠近所述真空泵端到靠近所述DFU端，所述干燥剂、活性炭和分子筛依次设置。
【专利摘要】本实用新型适用于激光器技术领域，提供了一种用于密封的激光器光学腔内循环高度净化系统，包括：真空泵、吸收盒和DFU(Disposable？Filter？Units，一次性过滤单元)；所述真空泵对所述激光器光学腔内空气进行抽气；所述真空泵的出气口与所述吸收盒和所述DFU依次连接；所述DFU的出气口连接所述激光器光学腔内空气；所述吸收盒与所述真空泵和所述DFU的连接端均设有过滤网；所述吸收盒内设置有干燥剂、活性炭和分子筛。整个净化系统对激光器光学腔内空气的水分、有机气体分子和0.3um以上固体颗粒的去除作用达到100％，对0.3um以内固体颗粒的过滤效率达到99％左右，另外对其他气体分子的过滤作用也非常明显。
【IPC分类】B01D53-26, B01D53-04
【公开号】CN204294090
【申请号】CN201420700514
【发明人】徐进林, 何立东, 肖志松, 杨阳, 陈浩, 李康
【申请人】武汉华日精密激光有限责任公司
【公开日】2015年4月29日
【申请日】2014年11月20日