用于靶材加工的水冷管的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及用于靶材加工的水冷管研究领域中的一种反应器，特别是一种用于靶材加工的水冷管。
【背景技术】
[0002]现有技术。等离子喷涂粒子射流具有很高的能量，喷射沉积到基管时会加热基管，温度可达500°C以上导致基管变形、产生严重的热应力使得基管与靶材分离脱靶、高温使得靶材氧化和变性。现有技术为减少喷涂量以降低热影响。
【实用新型内容】
[0003]本实用新型的目的，在于提供一种用于靶材加工的水冷管。
[0004]本实用新型解决其技术问题的解决方案是:用于靶材加工的水冷管，其包括与靶材基管接触的柱状管本体，所述管本体的两端分别连接有第一安装管和第二安装管，所述第一安装管和第二安装管内部分别设置有第一水道和第二水道，所述管本体内部设置有水冷道，所述水冷道贯穿管本体的两个端面，所述水冷道的两端分别和第一水道和第二水道连通。
[0005]作为上述技术方案的进一步改进，所述管本体的两端分别设置有安装凹槽，所述凹槽的内壁设置有内螺纹，所述第一安装管与管本体连接的一端设置有第一外螺纹，所述第二安装管与管本体连接的一端设置有第二外螺纹，所述第一安装管和第二安装管分别通过第一外螺纹和第二外螺纹安装在管本体的内螺纹上。
[0006]作为上述技术方案的进一步改进，所述第一安装管和管本体的螺纹连接处设置有多道密封圈，所述第二安装管和管本体的螺纹连接处设置有多道密封圈。
[0007]作为上述技术方案的进一步改进，所述第一安装管的一端设置有第一凸台和第一螺纹台，所述第一外螺纹设置在第一螺纹台上，第一安装管安装在管本体上后第一凸台的外表面和管本体的外表面齐平，所述第二安装管的一端设置有第二凸台和第二螺纹台，所述第二外螺纹设置在第二螺纹台上，第二安装管安装在管本体上后第二凸台的外表面和管本体的外表面齐平。
[0008]本实用新型的有益效果是:本实用新型通过将需要热喷涂的靶材基管套在管本体上，再装于喷涂架上，第一安装管和第二安装管分别接上循环冷却水，通过冷却水迅速带走靶材制程中高能高温等离子粒子流的热量，避免热量带来的负面影响。本实用新型适用于靶材加工的水冷中。
【附图说明】
[0009]为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单说明。显然，所描述的附图只是本实用新型的一部分实施例，而不是全部实施例，本领域的技术人员在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他设计方案和附图。
[0010]图1是本实用新型的结构示意图。
【具体实施方式】
[0011]以下将结合实施例和附图对本实用新型的构思、具体结构及产生的技术效果进行清楚、完整地描述，以充分地理解本实用新型的目的、特征和效果。显然，所描述的实施例只是本实用新型的一部分实施例，而不是全部实施例，基于本实用新型的实施例，本领域的技术人员在不付出创造性劳动的前提下所获得的其他实施例，均属于本实用新型保护的范围。另外，文中所提到的所有联接/连接关系，并非单指构件直接相接，而是指可根据具体实施情况，通过添加或减少联接辅件，来组成更优的联接结构。
[0012]参照图1，用于靶材加工的水冷管，其包括与靶材基管接触的柱状管本体3，所述管本体3的两端分别连接有第一安装管I和第二安装管2，所述第一安装管I和第二安装管2内部分别设置有第一水道10和第二水道20，所述管本体3内部设置有水冷道30，所述水冷道30贯穿管本体3的两个端面，所述水冷道30的两端分别和第一水道10和第二水道20连通。
[0013]通过将需要热喷涂的靶材基管套在管本体3上，再装于喷涂架上，第一安装管I和第二安装管2分别接上循环冷却水，通过冷却水迅速带走靶材制程中高能高温等离子粒子流的热量，避免热量带来的负面影响。
[0014]进一步作为优选的实施方式，所述管本体3的两端分别设置有安装凹槽，所述凹槽的内壁设置有内螺纹，所述第一安装管I与管本体3连接的一端设置有第一外螺纹，所述第二安装管2与管本体3连接的一端设置有第二外螺纹，所述第一安装管I和第二安装管2分别通过第一外螺纹和第二外螺纹安装在管本体3的内螺纹上，水垢会影响冷却效果，由于第一安装管I和第二安装管2通过螺纹连接安装在管本体3上，便于拆卸，也便于管本体3定期清理水垢。
[0015]进一步作为优选的实施方式，所述第一安装管I和管本体3的螺纹连接处设置有多道密封圈，所述第二安装管2和管本体3的螺纹连接处设置有多道密封圈，提高水却水道的密封性，防止水从第一水道10和水冷道30的连接处或者第二水道20和水冷道30的连接处漏出后溅射到靶材基管。
[0016]进一步作为优选的实施方式，所述第一安装管I的一端设置有第一凸台11和第一螺纹台12，所述第一外螺纹设置在第一螺纹台12上，第一安装管I安装在管本体3上后第一凸台11的外表面和管本体3的外表面齐平，所述第二安装管2的一端设置有第二凸台21和第二螺纹台22，所述第二外螺纹设置在第二螺纹台22上，第二安装管2安装在管本体3上后第二凸台21的外表面和管本体3的外表面齐平，通过第一凸台11和第二凸台21的设置，进行机械式的密封，进一步提高第一水道10和水冷道30的连接处或者第二水道20和水冷道30的连接处密封性能。
[0017]以上是对本实用新型的较佳实施方式进行了具体说明，但本发明创造并不限于所述实施例，熟悉本领域的技术人员在不违背本实用新型精神的前提下还可作出种种的等同变型或替换，这些等同的变型或替换均包含在本申请权利要求所限定的范围内。
【主权项】
1.用于靶材加工的水冷管，其特征在于:其包括与靶材基管接触的柱状管本体，所述管本体的两端分别连接有第一安装管和第二安装管，所述第一安装管和第二安装管内部分别设置有第一水道和第二水道，所述管本体内部设置有水冷道，所述水冷道贯穿管本体的两个端面，所述水冷道的两端分别和第一水道和第二水道连通。2.根据权利要求1所述的用于靶材加工的水冷管，其特征在于:所述管本体的两端分别设置有安装凹槽，所述凹槽的内壁设置有内螺纹，所述第一安装管与管本体连接的一端设置有第一外螺纹，所述第二安装管与管本体连接的一端设置有第二外螺纹，所述第一安装管和第二安装管分别通过第一外螺纹和第二外螺纹安装在管本体的内螺纹上。3.根据权利要求2所述的用于靶材加工的水冷管，其特征在于:所述第一安装管和管本体的螺纹连接处设置有多道密封圈，所述第二安装管和管本体的螺纹连接处设置有多道密封圈。4.根据权利要求2所述的用于靶材加工的水冷管，其特征在于:所述第一安装管的一端设置有第一凸台和第一螺纹台，所述第一外螺纹设置在第一螺纹台上，第一安装管安装在管本体上后第一凸台的外表面和管本体的外表面齐平，所述第二安装管的一端设置有第二凸台和第二螺纹台，所述第二外螺纹设置在第二螺纹台上，第二安装管安装在管本体上后第二凸台的外表面和管本体的外表面齐平。
【专利摘要】本实用新型公开了用于靶材加工的水冷管，其包括与靶材基管接触的柱状管本体，所述管本体的两端分别连接有第一安装管和第二安装管，所述第一安装管和第二安装管内部分别设置有第一水道和第二水道，所述管本体内部设置有水冷道，所述水冷道贯穿管本体的两个端面，所述水冷道的两端分别和第一水道和第二水道连通。通过将需要热喷涂的靶材基管套在管本体上，再装于喷涂架上，第一安装管和第二安装管分别接上循环冷却水，通过冷却水迅速带走靶材制程中高能高温等离子粒子流的热量，避免热量带来的负面影响。本实用新型适用于靶材加工的水冷中。
【IPC分类】B05D3/00
【公开号】CN205183102
【申请号】CN201520969665
【发明人】吴小宝
【申请人】广州市尤特新材料有限公司
【公开日】2016年4月27日
【申请日】2015年11月27日