一种多片衬底喷胶取片装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及到微纳米技术领域，尤其涉及一种多片衬底喷胶取片装置。
【背景技术】
[0002]在微纳米技术领域，经常要用到衬底。衬底多数有玻璃或陶瓷制备成的薄片，由于衬底较薄，并且容易破碎。为了在衬底表面进行加工处理，衬底多数需要在喷胶机上喷过胶，由于衬底较薄，喷过胶的衬底取出过程很不方便，容易给衬底造成破损甚至报废。
[0003]为了解决上述技术问题，本实用新型设计了一种多片衬底喷胶取片装置，该多片衬底喷胶取片装置上设有载片夹具。多片衬底能够放置在载片夹具上的L形定位块内，接着多片衬底在载片夹具上进行喷胶，待喷胶完成，将载片夹具放置在装置顶板上，使载片夹具上的定位孔对应装置顶板上的定位柱，接着气缸充气，顶针就能够将多片衬底顶起，从而使操作员方便快捷的将衬底取走，杜绝了衬底的破损。此外，该多片衬底喷胶取片装置结构设计合理，使用方便可靠，适合推广使用。
【实用新型内容】
[0004]为了克服【背景技术】中存在的缺陷，本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:一种多片衬底喷胶取片装置，包括装置底板、装置顶板、气缸、顶杆、平衡板、顶针固定板，载片夹具和定位柱，所述气缸固定在装置底板上，所述气缸上的顶杆的顶端固定有平衡板，所述顶针固定板固定在平衡板上，所述顶针固定板上固定有多根顶针，所述定位柱固定在装置顶板上，所述载片夹具对应顶针和定位柱设有顶针孔和定位孔，所述载片夹具的两端设有把手，所述载片夹具上设有多个L形定位块。
[0005]本实用新型所涉及的一种多片衬底喷胶取片装置，该多片衬底喷胶取片装置上设有载片夹具。多片衬底能够放置在载片夹具上的L形定位块内，接着多片衬底在载片夹具上进行喷胶，待喷胶完成，将载片夹具放置在装置顶板上，使载片夹具上的定位孔对应装置顶板上的定位柱，接着气缸充气，顶针就能够将多片衬底顶起，从而使操作员方便快捷的将衬底取走，杜绝了衬底的破损。此外，该多片衬底喷胶取片装置结构设计合理，使用方便可靠，适合推广使用。
【附图说明】
[0006]下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
[0007]图1是本实用新型一种多片衬底喷胶取片装置的结构示意图；
[0008]图2是本实用新型一种多片衬底喷胶取片装置的主视图；
[0009]图3是本实用新型中载片夹具的结构示意图；
[0010]其中:1、装置底板;2、装置顶板;3、气缸;4、顶杆;5、平衡板;6、顶针固定板;7、顶针;8、载片夹具;9、把手;I O、L形定位块;11、顶针孔;12、定位孔;13、定位柱D
【具体实施方式】
[0011]现在结合附图对本实用新型作进一步详细的说明。附图为简化的示意图，仅以示意方式说明本实用新型的基本结构，因此其仅显示与本实用新型有关的构成。
[0012]具体实施例，请参阅图1、图2和图3，一种多片衬底喷胶取片装置，包括装置底板1、装置顶板2、气缸3、顶杆4、平衡板5、顶针固定板6，载片夹具8和定位柱13，所述气缸3固定在装置底板I上，所述气缸3上的顶杆4的顶端固定有平衡板5，所述顶针固定板6固定在平衡板5上，所述顶针固定板6上固定有多根顶针7，所述定位柱13固定在装置顶板2上，所述载片夹具8对应顶针7和定位柱13设有顶针孔11和定位孔12，所述载片夹具8的两端设有把手9，所述载片夹具8上设有多个L形定位块10。
[0013]本实用新型所涉及的一种多片衬底喷胶取片装置，该多片衬底喷胶取片装置上设有载片夹具8。多片衬底能够放置在载片夹具8上的L形定位块10内，接着多片衬底在载片夹具8上进行喷胶，待喷胶完成，将载片夹具8放置在装置顶板2上，使载片夹具8上的定位孔12对应装置顶板上的定位柱13，接着气缸3充气，顶针7就能够将多片衬底顶起，从而使操作员方便快捷的将衬底取走，杜绝了衬底的破损。此外，该多片衬底喷胶取片装置结构设计合理，使用方便可靠，适合推广使用。
[0014]显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本发明创造的保护范围之中。
【主权项】
1.一种多片衬底喷胶取片装置，包括装置底板(I)、装置顶板(2)、气缸(3)、顶杆(4)、平衡板(5)、顶针固定板(6)，载片夹具(8)和定位柱(13)，其特征在于:所述气缸(3)固定在装置底板(I)上，所述气缸(3)上的顶杆(4)的顶端固定有平衡板(5)，所述顶针固定板(6)固定在平衡板(5)上，所述顶针固定板(6)上固定有多根顶针(7)，所述定位柱(13)固定在装置顶板(2)上，所述载片夹具(8)对应顶针(7)和定位柱(13)设有顶针孔(11)和定位孔(12)，所述载片夹具(8)的两端设有把手(9)，所述载片夹具(8)上设有多个L形定位块(10)。
【专利摘要】本实用新型涉及到微纳米技术领域，尤其涉及一种多片衬底喷胶取片装置。该多片衬底喷胶取片装置，包括装置底板、装置顶板、气缸、顶杆、平衡板、顶针固定板，载片夹具和定位柱。本实用新型所涉及的一种多片衬底喷胶取片装置上设有载片夹具。多片衬底能够放置在载片夹具上的L形定位块内，接着多片衬底在载片夹具上进行喷胶，待喷胶完成，将载片夹具放置在装置顶板上，使载片夹具上的定位孔对应装置顶板上的定位柱，接着气缸充气，顶针就能够将多片衬底顶起，从而使操作员方便快捷的将衬底取走，杜绝了衬底的破损。此外，该多片衬底喷胶取片装置结构设计合理，使用方便可靠，适合推广使用。
【IPC分类】B05B13/02, B05C13/02
【公开号】CN205341204
【申请号】CN201620053818
【发明人】王云翔
【申请人】苏州美图半导体技术有限公司
【公开日】2016年6月29日
【申请日】2016年1月20日