一种电真空专用设备用多气体快速混合装置的制造方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种电真空专用设备用多气体快速混合装置,属于电真空专用设备，特别适合于真空镀膜、CVD气相沉积、真空炉、等离子刻蚀、半导体惰性气体保护封装等需要充入稳定均匀的特殊气体下的工作环境，多种气体充入混气罐后经过自然混合均匀，进入需要特殊气氛的设备，达到设备的工艺要求，主要包括：混气合气体罐I、混气罐II、不锈钢进气管、不锈钢出气管四大部分组成，具有结构简单可靠、工艺性好、成本低廉，具有极高的技术和经济价值。
【专利说明】
一种电真空专用设备用多气体快速混合装置
技术领域
[0001]本实用新型涉及电子专用设备领域，特别涉及一种适合于真空镀膜、CVD气相沉积、真空炉、等离子刻蚀、半导体惰性气体保护封装等需要充入稳定均匀特殊气体下的工作环境，设备具有结构简单可靠、工艺性好、成本低廉，具有极高的技术和经济价值。
【背景技术】
[0002]气体快速混合装置主要用于真空镀膜、CVD气相沉积、等离子刻蚀、半导体惰性气体封装等电真空专用设备，在进入设备前对多种气体进行混合均匀，满足特定设备的特定工艺需求。如:磁控溅射真空镀膜时需充入氩气、氮气、氢气等均匀混合气体，要求靶面附近气体组分差异较小，满足镀膜工况的一致性，进而确保工件盘上下装夹的工件薄膜的一致性。而目前常用的气体混合装置多为传统的静态混合器或内置S挡板的混气装置，此类装置难以满足特殊工艺对气体组分的高要求，急需一种工艺性好、成本低廉、混气均匀、连接方便且不漏气的混气装置。
【发明内容】
[0003]为解决目前现有混气装置存在的技术问题，本实用新型通过改变混气装置结构，通过混气前输入管、混气罐1、混气罐II实现对气体的三次自然扩散混气，也可按照此发明串接多级混气罐，解决原传统混气装置混气不均匀的问题，为电真空专用设备提供一种成本低廉、混气均匀、技术工艺经济性优良的专用混气装置。
[0004]本实用新型为实现上述目的所采用的技术方案为:一种电真空专用设备用多气体快速混合装置，其特征在于包括:混气罐1、混气罐I1、混合前输入管、混合后输出管，所有部件均采用SUS304优质不绣钢制造，采用真空氩弧焊单面成型工艺焊接密封，焊接完成后内外电化学抛光处理，后使用氦质谱检漏仪进行真空检漏，漏率必须优于1X10—8Pa.L/S。在进气管端可安装不锈钢管专用卡套管接头与外接气源进行连接，也可串接一件或多件三通、四通不锈钢管专用卡套让多种气体进入混合前输入管内，混合前输入管一端面用氩弧焊接盲法兰密封，气体只能通过不锈钢管柱面上的若干小孔扩散至混气罐I，气体在混合前输入管内进行了第一次相互扩散混合，气体通过混合前输入管柱面的小孔扩散至混气罐I后进行第二次混气，通过混气罐I柱面的孔进入混气罐II，进入混气罐II后气体进行第三次扩散混合，混合的气体通过混合后输出管均匀输出，根据设备特点在输出管端可以串接三通、四通不锈钢管专用卡套接头，分气到电真空专用设备的特定位置，满足设备的特定工艺需求。
[0005]优选的，所述装置部件均采用SUS304优质不锈钢制造，并进行内外表面的电化学抛光处理，以达到气体进入混气装置后，气体均能够自然流动和扩散。
[0006]优选的，所述装置部件使用真空氩弧焊接而成，其漏率优于IXlO-SPa.L/S。
[0007]优选的，所述装置在混合前输入管的末端用盲法兰密封，在管径柱面上设置I个或多个小孔，气体通过柱面小孔进入混气罐I，后通过混气罐I柱面上的孔进入混气罐II，后通过混合后输出管输出混合均匀的气体，根据气体流量和混气均匀的实际需求可设置一个或多个混合罐。
[0008]优选的，所述装置混合装置的输出和输入端均采用不锈钢内外化学抛光管，使用专用卡套管接头达到气体不泄露，同时防止传统气体软管易脱落，橡胶软管易带来气体溢出等造成气体组分不纯和发生安全事故的危险。
[0009]本实用新型具有以下有益效果:本实用新型的电真空专用设备用多气体快速混合装置，可以对多种气体进行均匀混合，为电真空专用设备腔内提供组分和流量一致的气体源，满足工艺的特定需求，大幅度降低产品报废，提高产品合格率，确保同批次加工产品性能的一致性，同时采用不锈钢内外抛光管作为气体的输入输出端口，使用专用卡套管，可以防止传统软管在使用过程中的脱落和软管放气带来的气体不纯，对产品的研制造成不良影响，甚至造成安全事故危害。
【附图说明】
[0010]图1是本实用新型剖面结构示意图:
[0011 ]图中:1-混气前输入管；2-混气前输入管端面密封法兰;3-混气前输入管柱面孔；4-混气罐I ； 5-混气罐I柱面孔;6-混气罐II; 7-混气后输出管。
【具体实施方式】
[0012]多种气体进入混气前输入管(I)内相互扩散混合经过第一次混气；混合气体后经过混气前输入管柱面孔(3)扩散进入混气罐1(4)进行第二次混气;混合气体通过混气罐I柱面孔扩散至混气罐11(6)进行第三次扩散混合，混合均匀气体经过混气后输出管(7)输送到设备需要的任意位置，根据设备所需气体流量调整管径、罐径、管和罐柱面气体溢出孔径，根据气体混合是否满足设备特定要求也可以增加套装储气罐数量。
[0013]以上所述，仅为本实用新型较佳的【具体实施方式】，但本发明的保护范围不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明披露的技术范围内，根据本发明技术方案及其构思加以等同替换或改变，都应在本发明的保护范围之内。
【主权项】
1.一种电真空专用设备用多气体快速混合装置，其特征在于包括:混气罐1、混气罐I1、混合前输入管、混合后输出管，所有部件均采用SUS304优质不绣钢制造，采用真空氩弧焊单面成型工艺焊接密封，焊接完成后内外电化学抛光处理，后使用氦质谱检漏仪进行真空检漏，漏率必须优于1X10—8Pa.L/S，在进气管端可安装不锈钢管专用卡套管接头与外接气源进行连接，也可串接一件或多件三通、四通不锈钢管专用卡套让多种气体进入混合前输入管内，混合前输入管一端面用氩弧焊接盲法兰密封，气体只能通过不锈钢管柱面上的若干小孔扩散至混气罐I，气体在混合前输入管内进行了第一次相互扩散混合，气体通过混合前输入管柱面的小孔扩散至混气罐I后进行第二次混气，通过混气罐I柱面的孔进入混气罐II，进入混气罐II后气体进行第三次扩散混合，混合的气体通过混合后输出管均匀输出，根据设备特点在输出管端可以串接三通、四通不锈钢管专用卡套接头，分气到电真空专用设备的特定位置，满足设备的特定工艺需求。2.根据权利要求1所述的一种电真空专用设备用多气体快速混合装置，其特种在于所有部件均采用SUS304优质不锈钢制造，并进行内外表面的电化学抛光处理，以达到气体进入混气装置后，气体均能够自然流动和扩散。3.根据权利要求1所述的一种电真空专用设备用多气体快速混合装置，其特征在于所有部件使用真空氩弧焊接而成，其漏率优于1X10—8Pa.L/S。4.根据权利要求1所述的一种电真空专用设备用多气体快速混合装置，其特征在于在混合前输入管的末端用盲法兰密封，在管径柱面上设置I个或多个小孔，气体通过柱面小孔进入混气罐I，后通过混气罐I柱面上的孔进入混气罐II，后通过混合后输出管输出混合均匀的气体。5.根据权利要求1所述的一种电真空专用设备用多气体快速混合装置，其特征在于混合装置的输出和输入端均采用不锈钢内外化学抛光管，使用专用卡套管接头达到气体不泄露，同时防止传统气体软管易脱落，橡胶管会带来气体溢出等造成气体组分不纯和发生安全事故的危险。
【文档编号】B01F3/02GK205598981SQ201620235180
【公开日】2016年9月28日
【申请日】2016年3月25日
【发明人】张松林, 张斌
【申请人】成都超迈南光科技有限公司