全自动方形晶片角度分选仪的制作方法

文档序号:5074873阅读:225来源:国知局
专利名称:全自动方形晶片角度分选仪的制作方法
专利说明
一、技术领域本实用新型涉及一种对石英晶片进行角度检测、分选的全自动方形晶片角度分选仪。
背景技术
目前,使用的一种全自动方形晶片角度分选仪(申请号为200420010614.X),其结构是中央处理器由信号传输线分别与分选电机、吸片装置、计数管、上料电机、升片电机和光电开关相连,升片电机上装有晶片输送装置,其上部有光电开关,吸片装置分别接上料机械手、靠板及分选机械手,上料机械手上装有上料电机,分选机械手上装有分选电机,分选机械手下方装有分选盒,分选盒最后端装有与输送装置结构相同的晶片收集装置,该结构的分选仪,由于在结构上存在的问题,特别是分选盒的结构是采用一弯弧面形的盒体,将晶片送入后,再由各晶片室分别收集,因此,分档放片比较乱,还需人工进行整片,耗时耗人工,分选效率低,上片时,容易带出晶片或吸不住晶片,单片上片没保证,而且上片时还需对晶片进行±X方向预分,比较麻烦,在分选整理中,又易使晶片受到污染,大大影响了晶片的分选质量。
三、实用新型内容针对上述情况和分选晶片的实际需要,本实用新型之目的就是提供一种改进的新型全自动方形晶片角度分选仪,可有效解决分档放片乱和上片时易带出晶片及吸不住晶片,分选效率低、差的质量问题,其解决的技术方案是,对现有分选仪进行改进,改进送片及分选盒的结构及分选形式,使其改进后的分选仪结构为中央控制器由信号传输线分别接晶片输送装置电机、计数器、吸片装置(气室)、分选盒电机及上、下料机械手电机,吸片装置由软气管分别接靠板吸嘴处、上料机械手吸嘴处和下料机械手吸嘴处,中央控制器置于支架一侧,靠近中央控制器支架上装有晶片输送装置电机,电机上斜向装有晶片输送装置,晶片输送装置上部靠晶片滑槽出口下方装有振动式直线送片器,振动式直线送片器端部有装在电机上面的上料机械手及相配应的靠板,靠板后部吸嘴处同吸片装置相连,并有与其相配合的下料机械手,靠板下方有计数器、下料机械手装在下料电机上,下料机械手外侧的支架上装有圆筒式分选盒,分选盒上口部中心装有分档机械手,分选盒旁装有反向片收集器,本实用新型结构新颖独特,分选效率高,分片精确整齐,有效保证分片质量,减少材料的浪费,其推广应用有良好的经济和社会效益。


图1为本实用新型的结构主视图。
图2为本实用新型的晶片槽套立体图。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型的具体实施方式
作详细说明。
由图1给出,本实用新型是中央控制器1由信号传输线分别接晶片输送装置电机2、计数器7、吸片装置8、分选盒电机17及上料机械手电机19和下料机械手电机10,吸片装置8由软气管分别接靠板6吸嘴处,上料机械手9吸嘴处和下料机械手11吸嘴处,中央控制器1置于支架20一侧,靠近中央控制器1支架上装有晶片输送装置电机2,电机2上斜向装有晶片输送装置3,晶片输送装置上部靠晶片滑槽4出口下方装有振动式直线送片器5,振动式直线送片器5端部有装在电机19上面的上料机械手9及相配应的靠板6,靠板后部吸嘴处同吸片装置相连,并有与其相配合的下料机械手11,靠板下方有计数器7,下料机械手装在下料电机10上,下料机械手外侧的支架20上装有圆筒式分选盒16,分选盒上口部中心装有与中央控制器相接的分档机械手电机13,电机13上装有分档机械手12,在分选盒16旁装有反向片收集器14,反向片收集器14装在电机15上,电机15同中央控制器1相接。
所说的晶片输送装置结构同已有装置,只是呈斜向放置(原是垂直放置),而反向片收集器其结构与晶片输送装置相同,故不再重述,与原所不同的只是晶片输送装置及反向片收集器内的晶片槽套下端有向内的凸缘21,并呈敞开式(原专利是封闭式),因本实用新型是在专利号为200420010614.X的基础上的改进,因此,凡是与原有专利部件相同的,本说明书均不再重述。
所说的圆筒式分选盒16是将其内部分隔成12个放片室,每个室内放置有晶片槽套18,槽套下部有电机17,电机17同中央控制器1相接,实现对电机的控制。晶片输送装置及反向片收集器内的晶片槽套与晶片槽套18结构相同。
本实用新型在使用时,将其固定在X光定向仪上,X光定向仪上的X光的射线管与计数管相对应,晶片置于晶片槽内,其工作情况是,当晶片由晶片槽由输送装置沿晶片槽由螺杆及升片平台向上运送时,晶片高度未达到设定度时,光电开关接通,将信号传给中央控制器,发出指令给升片电机将晶片向上送,当晶片升至设定高度,挡住光电开关,将信号给中央控制器,中央控制器指令升片电机停止,晶片经滑槽落入振动式直线送片器,为了保证送片时只上一片,在中央控制器的控制下,上片槽每次只滑下一片,振动式直线送片器将每个单片陆续送到靠板前,上料机械手转270度将每单晶片送到靠板上测角,测角后,下料机械手将晶片送到分档机械手滑道中,分档机械再将晶片分到相应的档位,放入下部圆筒式分选盒内的相应储片槽内,不符合要求的反向晶片滑入反向晶片收集器内,待再分选,如此反复作业,即可实现连续不断的全自动方形晶片角度分选,并分档效果。分档后晶片自动数片整片,而且±X向自动分好,反向收集器将X方向反向的晶片自动收集,待收集满后,抽出晶片槽,插入上片槽,再进行测量分选,全部方向为正,不必再预分晶片的±X方向,有效克服了原分选仪上片时容易带出晶片或吸不住的问题,而且解决了原分选仪分档后晶片放置很乱,还需人工进行整片耗时耗人工的问题,工作效率大大提高,分片质量好,因此,本实用新型的研制成功,是对现有分选仪的创造性的革新与改进,推广应用有良好的经济和社会效益。
权利要求1.一种全自动方形晶片角度分选仪,是中央控制器(1)由信号传输线分别接晶片输送装置电机(2)、计数器(7)、吸片装置(8)、分选盒电机(17)及上料机械手电机(19)和下料机械手电机(10),吸片装置(8)由软气管分别接靠板(6)吸嘴处、上料机械手(9)吸嘴处和下料机械手(11)吸嘴处,中央控制器(1)置于支架(20)一侧,靠近中央控制器(1)支架上装有晶片输送装置电机(2),其特征在于,电机(2)上斜向装有晶片输送装置(3),晶片输送装置上部靠晶片滑槽(4)出口下方装有振动式直线送片器(5),振动式直线送片器(5)端部有装在电机(19)上面的上料机械手(9)及相配应的靠板(6),靠板后部吸嘴处同吸片装置相连,并有与其相配合的下料机械手(11),靠板下方有计数器(7),下料机械手装在下料电机(10)上,下料机械手外侧的支架(20)上装有圆筒式分选盒(16),分选盒上口部中心装有与中央控制器相接的分档机械手电机(13),电机(13)上装有分档机械手(12),在分选盒(16)旁装有反向片收集器(14),反向片收集器(14)装在电机(15)上,电机(15)同中央控制器(1)相接。
2.根据权利要求1所述的全自动方形晶片角度分选仪,其特征在于,所说的圆筒式分选盒(16)是将其内部分隔成12个放片室,每个室内放置有晶片槽套(18),槽套下部有电机(17),电机(17)同中央控制器(1)相接。
3.根据权利要求1所述的全自动方形晶片角度分选仪,其特征在于,所说的晶片输送装置及反向片收集器内的晶片槽套下端有向内的凸缘(21)。
专利摘要本实用新型是一种自动方形晶片角度分选仪,可有效解决分档放片乱和上片时易带出晶片及吸不住晶片,分选效率低、差的质量问题,其结构为中央控制器由信号传输线接晶片输送装置、计数器、吸片装置、分选盒电机及上、下料机械手电机,吸片装置接靠板吸嘴及上、下料机械手吸嘴处,靠近中央控制器支架上有晶片输送装置,其出口下方有送片器,端部有装在电机上面的上料机械手及靠板,靠板后部吸嘴处同吸片装置相连,并有与其相配合的下料机械手,靠板下方有计数器,分选盒上口部中心有分档机械手,分选盒旁装有反向片收集器,本实用新型结构新颖独特,分选效率高,分片整齐,保证分片质量,减少材料浪费,其推广应用有良好的经济和社会效益。
文档编号B07C5/00GK2899974SQ20062003169
公开日2007年5月16日 申请日期2006年4月25日 优先权日2006年4月25日
发明者蔺志新 申请人:蔺志新
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