处理液槽的制作方法

专利名称：处理液槽的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种能供给、排出镀覆液等各种处理液的处理液槽，尤其涉及在短时
间内进行处理液的供给、排出，并且包括具有垂直状态的板状工件不用升降就能经过的工件经过口的闸门装置的处理液槽。
背景技术：
镀覆处理装置等处理液槽中，在包括具有工件经过口的闸门装置时，该闸门装置在工件不经过时将工件经过口关闭，以便能朝处理液槽内填充处理液，在工件经过时将工件经过口打开。上述闸门装置的构造例如包括水平方向滑动自如的板状闸门部件，或包括以左右对开形式绕垂直轴转动自如的一对板状闸门部件，利用具有电动机和减速齿轮机构的机械式驱动机构来驱动闸门部件开闭(专利文献1)。 另外，作为其它开闭方式的闸门装置，也有这样的装置包括上下方向滑动自如的板状闸门部件，并在上述闸门部件上安装浮子(float)，通过处理液槽内的处理液的增加，使闸门部件与浮子一起上升，将工件经过口关闭(专利文献2)。 上述各闸门装置均具有矩形的宽度较宽的工件经过口，并利用驱动机构驱动一个或一对闸门部件来开闭上述工件经过口整体，因此，工件经过口的开闭费时，在连续处理许多工件时，无法在短时间内进行处理液的供给、排出，作业效率不好。 专利文献3中记载了一种针对上述具有工件经过口和闸门装置的处理液槽，将工件经过口的形状形成为具有工件和保持工件的部件能经过的大致最小限度的面积的形状的处理液槽。 专利文献3的处理液槽像图22那样，在镀覆液槽14与箱槽15之间的槽壁82、箱槽15与空平台16之间的槽壁83上形成有工件经过口 88。各工件经过口 88由垂直姿势的工件能经过的最小限度的窄宽度的狭缝状开口部88b、支撑工件上端部的保持部件能经过的扩张开口部88a构成。为了开闭狭缝状开口部88b，包括伸縮自如的袋状弹性部件制的闸门部件(未图示)，由此，可縮短处理液的供给、排出时间，提高闸门装置关闭时的密封功能。形成上述扩张开口部88a的原因是为了通过以工件的上端从镀覆液面(LI)沉下50mm左右的形态浸渍工件，来防止电流朝工件的上端部集中，防止电流集中引起的镀覆膜厚的不均。 专利文献1 :日本专利特开2004-99957号公报
专利文献2 :日本专利特开昭55-141558号公报
专利文献3 :日本专利特开2007-113066号公报 但是，即使像图22(专利文献3)那样由狭缝状开口部88b和扩张开口部88a来构成工件经过口 88，在只包括开闭狭缝状开口部88b的闸门部件时，扩张开口部88a始终打开，因而即便欲在处理液槽内收纳期望量的处理液，处理液也会从扩张开口部88a漏出，很难长期保持规定量的处理液。例如，若形成在箱槽15与空平台16之间的槽壁83上的开口88的扩张开口部88a始终打开，则在箱槽15装满时(实线所示的液平面LI)，镀覆液会从箱槽15通过扩张开口部88a泄漏到空平台16，镀覆液强有力地与空平台16的底面碰撞，产生泡沫。另外，在箱槽15排液时(双点划线所示的液面L2)，镀覆液会从镀覆液槽14通过槽壁82的扩张开口部88a泄漏到箱槽15内，镀覆液强有力地与箱槽15的排液面(L2)碰撞，产生泡沫。这样产生泡沫时，泡沫会从各槽15、 16溢出，污染装置的周围。另外，泡沫会附着在工件上，因此，在工件被搬运到下一道工序时，下一道工序的装置会被泡沫污染。对此，需要用于清洗工件和装置的工序和机构。

发明内容
本发明的目的在于提供一种处理液槽，在该处理液槽中，作为工件经过口，具有狭缝状开口部和扩张开口部，从而将工件经过口的开口面积控制在必要的最小限度，并且，即使是具有上述形状的工件经过口的处理液槽，也能在短时间内可靠地开闭工件经过口整体，并能维持工件经过口处的密封性。 为了解决上述技术问题，本发明的处理液槽包括供液机构和排液机构，具有工件经过口的闸门装置设于槽壁，上述工件经过口具有垂直姿势的板状工件能经过的上下方向细长的狭缝状开口部、在该狭缝状开口部的上端形成且宽度比上述狭缝状开口部的宽度大的扩张开口部，上述闸门装置包括利用驱动机构在大致水平方向上移动或变形来开闭上述狭缝状开口部的闸门部件、该闸门部件以外的开闭上述扩张开口部的闸板，上述闸板包括配置在处理液槽内的浮子，通过处理液槽内的处理液的增减引起的浮子的升降，使上述闸板在打开位置与关闭位置之间变更位置。 (1)根据上述结构，能将工件经过口的开口面积限制成工件和工件保持部件能经过的大致最小的面积，因此，能抑制处理液从工件经过口漏出。
(2)由于利用在水平方向上滑动或变形自如的闸门部件来开闭狭缝状开口部，并
利用绕水平的转动轴转动自如的快门来开闭扩张开口部，因此能在短时间内开闭工件经过
口整体，能提高连续的工件处理作业的效率。即，对应各开口部的形状分别包括滑动或变形
式的闸门部件和转动式的闸板，因此，能大幅度縮短工件经过口整体的开闭时间。
(3)由于利用配置在处理液槽内的浮子来使闸板工作，因此不必为了开闭闸板而
包括电动机等特殊的驱动机构，能简化闸门装置。 本发明中，在上述结构中，可将上述扩张开口部形成为V字形。 根据上述结构，狭缝状开口部及与其上方连续的扩张开口部的形成作业容易。
本发明中，在上述结构中，可采用这样的构造上述浮子固接于闸板的转动轴，并
能与闸板一体转动。 根据上述结构，能将浮子与闸板一体地紧凑配置。 本发明中，在上述结构中，作为转动式浮子的代替，可采用这样的构造通过线状部件在闸板上连结浮子，使上述线状部件从闸板朝下方延伸并通过转向滑轮朝上方折回，在折回的上端部连结上述浮子。 根据上述结构，能在处理液槽内的期望的位置上配置浮子。即，浮子的布置自由度增加。


图1是本发明的第一实施方式，是镀覆装置的整体俯视图。 图2是图1的镀覆槽和箱槽附近的纵截面放大图。 图3是图2的III-III截面放大图。 图4是图2的IV-IV截面放大图。 图5是图1的镀覆槽、箱槽和空平台的纵截面简图。 图6是图5的箱槽的俯视图。 图7是图6的VII-VII剖视图。 图8是图7的闸门装置的俯视放大图。 图9是表示工件经过口处于打开状态的闸门装置的作用说明图。 图10是表示工件经过口处于关闭状态的闸门装置的作用说明图。 图11是本发明的第二实施方式，是闸板处于打开状态的处理液槽的纵截面简图。 图12是与图11相同的处理液槽，是表示闸板处于关闭状态的纵截面简图。 图13是本发明的第三实施方式，是闸板处于打开状态的处理液槽的俯视图。 图14是图13的XIV-XIV剖视图。 图15是本发明的第四实施方式，是闸板处于关闭状态的处理液槽的纵截面简图。 图16是本发明的第五实施方式，是处理液槽的俯视图。 图17是图16的XVIHVII剖视图。 图18是本发明的第六实施方式，是处理液槽的俯视图。 图19是图18的XIX-XIX剖视图。 图20是本发明的第七实施方式，是处理液槽的纵截面简图。 图21是图21的XXI-XXI剖视图。 图22是表示以往的处理液槽的排液和供液时的作用的立体图。(符号说明) 15箱槽(处理液槽的一例) 46排出口栓(排液机构的一例) 47柱槽(供液机构的一例) 85闸门装置 88工件经过口 88a狭缝状开口部 88b扩张开口部 93可动闸门部件 94可动闸门部件的驱动机构 150闸禾反 151 f孚子 152闸板的转动轴 161绳(线状体的一例)
具体实施例方式[第一实施方式](镀覆装置整体的概况)图1 图10是表示包括本发明所涉及的处理液槽的电镀装置。图l是电镀装置
整体的俯视图，在大致构成为长圆形(日文長円形状)的镀覆处理线上，从处理线的长边方向一端部(图l的右端部)的加载部IO起朝着箭头F方向(顺时针方向)依次包括前处理工序的前处理槽(喷淋槽)11、空平台12、箱槽13、电镀工序的镀覆槽14、后处理工序的箱槽15、空平台16、第一后处理槽(喷淋槽)17、长边方向另一端部的第二后处理槽(回收槽)18、卸载部19、剥离工序(吊钩返回工序)的空平台20、箱槽21、剥离槽22、箱槽23、空平台24和剥离后处理槽(喷淋室)25。在作为浸渍处理槽的镀覆槽14和剥离槽22的工件搬运方向的前后分别相邻设置有箱槽13U5、21、23，箱槽13、21的出口兼作镀覆槽14和剥离槽22的入口，箱槽15、23的入口兼作镀覆槽14和剥离槽22的出口。
在上述镀覆处理线的内周侧敷设有长圆形的导轨27，在该导轨27上，许多搬运吊钩28被支撑成能在轨道长度方向上移动。 在导轨27的内周侧，为了使搬运吊钩28在水平方向上移动，配置有多个独立的搬运装置31、32、 ".、40。该搬运装置31、32、 ".、40中，在与各箱槽13、 15、21、23对应的位置上分别配设有线性致动器型往复运动式的取入搬运装置31、32、33、34。在与前处理工序的前处理槽11和空平台12对应的位置、与镀覆槽14对应的位置、与后处理工序的空平台16和第一后处理槽17对应的位置、与剥离工序的空平台20对应的位置、与剥离槽22对应的位置、与空平台24和剥离后处理槽25对应的位置上，分别配设有链式输送机型的连续搬运装置35、36、37、38、39、40。另外，从后处理工序的第一后处理槽17经由第二后处理槽18到卸载部19的部分和从剥离后处理槽25经由加载部10到前处理槽11的部分，配置有未图示的推动搬运吊钩的推进机(pusher)装置。在图1中，双线箭头所示的各区间A1 A6表示链式输送机型的连续搬运装置35、36、37、38、39、40的搬运区间，虚线箭头所示的各区间Bl B表示线性致动器型的取入搬运装置31、32、33、34的搬运区间，实线所示的区间Cl、C2、 C3、 C4表示推进机装置的搬运区间。 图2是图1的镀覆槽14、后处理工序的箱槽15、空平台16和第一后处理槽17的纵截面放大简图，这些镀覆槽14、箱槽15、空平台和第一后处理槽17载放在一定高度的架台42上，在架台42内配置有预备槽43。在箱槽15的上方通过未图示的架台配设有规定容积的柱槽(供液机构)47。 在箱槽15的底壁上设置有可开闭的排出口栓(排液机构)46，在该排出口栓46上设置有用于驱动该排出口栓46开闭的操作部46a。在预备槽43与柱槽47之间配设有配管48，在该配管48上设置有用于从预备槽43朝柱槽47导入镀覆液(处理液)的泵49和过滤器50。在柱槽47的底部可开闭地设置有能从上方朝箱槽15供给处理液的排出口栓51。
在预备槽43与镀覆槽14之间并排设置有两个配管55、56，在配管55 、56上均设置有用于从预备槽43朝镀覆槽14供给镀覆液的泵57、59和过滤器58、60。 一个配管55用于在箱槽15的闸门开闭时将镀覆槽14的液面维持于规定高度，另一个配管56用于镀覆液循环。另外，在空平台16的底部设置有用于朝预备槽43排出镀覆液的排出管44，此外，在镀覆槽14上还设置有用于将溢出的镀覆液朝预备槽43排出的溢流管61。
(搬运吊钩) 图3是搬运吊钩28的图2的III-III截面放大图，搬运吊钩28由在导轨长度方向上移动自如地支撑于上述导轨27的移动基台63、从该移动基台63朝着与导轨27成大致直角的方向水平延伸的臂部64、从该臂部64的前端部朝下方延伸的工件吊持部65构成，在工件吊持部65的下端部设置有吊持销66和夹子67。在上述吊持销66上卡合工件(例如电路用基板)W的上端部的卡合孔，并利用夹子67将工件保持成不能脱落。被吊持的工件W通过吊持部65和未图示的适当的导电机构与导轨27电连接，从导轨27进行供电。在移动基台63的上表面固接有朝着与臂部64相反的方向水平延伸的支轴70，在该支轴70上，链轮71通过单向离合器72被支撑成只朝一个方向旋转。具体而言，在图2中，上述链轮71构成为朝箭头R方向旋转，但不朝箭头R的反方向旋转。
(搬运装置) 在图2中，链式输送机型的连续搬运装置36 、37由驱动链轮73、从动链轮74和巻挂于两链轮73、74间的搬运链75(图3)构成，上述搬运吊钩28的链轮71与搬运链75的上侧移动部分卡合。如上所述，搬运吊钩28包括单向离合器72 (图3)，从而在与搬运链75卡合的状态下，与搬运链75的上侧部分一起朝着图2的箭头F方向移动。
在图2中，线性致动器型的取入搬运装置32中，在与导轨27并行配置的导向部76上以能与导轨27平行移动的形态支撑有滑动器77，该滑动器77通过未图示的导向部76所包括的导螺杆进给机构和伺服电动机等的作用沿导向部76往复移动。
图4是图2的IV-IV截面放大图，在上述滑动器77上固接有朝着搬运吊钩28侧大致水平延伸的支轴78，在该支轴78上以能绕支轴78转动的形态支撑有朝下方延伸的取入爪79。上述取入爪79被未图示的限位件从箭头S的反方向侧卡定于图2所示的状态，并从箭头F的反方向侧与搬运吊钩28的支轴70卡合，滑动器77朝箭头F方向移动时，通过取入爪79朝箭头F方向移动搬运吊钩28。滑动器77相对于搬运吊钩28朝箭头F的反方向侧移动时，取入爪79朝箭头S方向转动，越过搬运吊钩28的支轴78。
(镀覆槽及其前后的箱槽13、 15等的构造) 图5是镀覆槽14及其前后的箱槽13、15和空平台12、 16的纵截面简图，图6是后处理工序的箱槽15的放大俯视图，图7是图6的VII-VII截面放大图，图8是图7的俯视图，图9是表示打开状态下的闸门装置的作用说明图，图10是表示关闭状态下的闸门装置的作用说明图。为了方便说明，下面将与工件搬运方向F正交的水平方向中的、像图7那样从搬运方向F侧观察的方向作为"左右方向"进行说明。 图6中，在后处理工序的箱槽15上，在与箭头F方向正交的方向上隔开规定间隔配置有左右一对箱部15a，工件W经过左右的箱部15a之间。通过包括箱部15a，提供给箱槽15的液量变少，能减少开闭闸门装置84时镀覆液的变动，并能縮短提供给箱槽15的镀覆液的排出时间。 在镀覆槽14与后处理用的箱槽15之间的纵壁82上设置有仅具有滑动式闸门部件93的闸门装置84，根据本发明，在箱槽15与空平台16之间的纵壁83上设置有具有滑动式闸门部件93和浮子式闸板150的闸门装置85。另外，在搬运方向上配置于图5的镀覆槽14上游侧的前处理用的箱槽13与镀覆槽14之间以及箱槽13与空平台12之间也分别设置有与后处理用相同的闸门装置84、85。
(闸门装置85) 下面说明后处理用的箱槽15与镀覆槽14之间的闸门装置85的构造。图7中，在纵壁83的左右宽度的中央部形成有U字形的闸门装置安装用凹部89，在该凹部89内通过橡胶管制填料90安装有闸门装置85。该闸门装置85在左右宽度的中央部具有工件经过口88。该工件经过口 88由沿上下方向延伸的狭缝状开口部88b以及形成于该狭缝状开口部88b的上端并朝着上方扩大的V字形的扩张开口部88a构成。狭缝状开口部88b的左右宽度比板状工件W的厚度大，V字形开口部88a形成为搬运吊钩28的吊持部65和夹子67能经过的大小。作为闸门部件92、93的材料，选择例如耐腐蚀性和耐久性好的树脂等时较为理想。 形成上述V字形的扩张开口部88a的原因在现有技术部分已作说明，是为了通过以使工件W的上端从镀覆液面等沉下50mm左右的形态浸渍工件W，来防止电流朝工件W的上端部集中，防止电流集中引起的镀覆膜厚的不均。因此，需要以把持工件W的上端部的夹子67的下端部分也浸渍在镀覆液内的状态进行搬运，为了夹子67的经过而形成了上述扩张开口部88a。 闸门装置85包括纵向长度长的U字形的闸门装置主体91、固定在该U字形闸门装置主体91的左侧柱部91a上的限位部件92、为了开闭狭缝状开口部88b而左右方向移动自如地支撑在闸门装置主体91的右侧柱部91b上的上述可动闸门部件93、具有用于移动该可动闸门部件93的第一管部件IOI和第二管部件102的驱动机构94、为了开闭扩张开口部88a而包括的绕水平的转动轴152转动自如的上述浮子式闸板150、以及用于使该浮子式闸板150工作的浮子151。 图8中，在限位部件92的前端部的上下方向的大致全长范围内安装有填料108。在闸门装置主体91的右侧柱部91b上，在工件搬运方向F侧的面上固定有将上述可动闸门部件93滑动自如地引导的导向板IIO，在与导向板110的工件搬运方向F侧相反的一侧的面上配置有用于收纳上述第一管部件101和第二管部件102的L字形的导向壳体111。
在由上述导向板110、导向壳体111和右侧柱部91b的左表面围成的管收纳室内左右方向移动自如地收纳有水平截面为矩形的滑动部93a，在该滑动部件93a的左侧的空间部内收纳有上述第一管部件IOI，在右侧的空间部收纳有上述第二管部件102。两管部件101、102是具有弹性的橡胶制管，通过朝内部压入空气而膨胀，通过将内部的空气排出而收縮。
上述滑动部93a—体成形于从管收纳室朝左方突出的上述可动闸门部件93，由此，可动闸门93和滑动部93a能一体地沿左右方向移动。 在图7中，两管部件101U02的下端部始终被闭塞成密封状态，两管部件101U02的上端部与金属制或树脂制的接头管121、122分别连接。两接头管121、122通过空气管与空气切换阀130连接，在该空气切换阀130上连接有压縮机等压縮空气供给源132并设置有空气排出部133。该空气切换阀131在下面的两个状态之间切换自如， 一个状态是在朝第一管部件101供给压縮空气而使第一管部件101膨胀的同时将第二管部件102内的空气排出而使第二管部件102收縮的状态，另一个状态是在朝第二管部件102供给压縮空气而使第二管部件102膨胀的同时将第一管部件101内的空气排出而使第一管部件101收縮的状态。 通过朝第一管部件101压入空气、使其膨胀，并从第二管部件102排出空气、使其收縮，使滑动部93a和可动闸门部件93—体地朝打开方向(右方)移动，能将工件经过口 88打开。另一方面，通过朝第二管部件102压入空气、使其膨胀，并从第一管部件101排出 空气、使其收縮，使滑动部93a和可动闸门部件93—体地朝关闭方向(左方)移动，能将工 件经过口 88关闭。在该闭状态下，可动闸门部件93的端缘与限位部件92的填料108按压 接触。(浮子式闸板150的详细构造) 图8中，在闸门装置主体91的左侧柱部91a上转动自如地支撑有沿工件搬运方向 F延伸的转动轴152，该转动轴152的两端部分别突出到空平台16和箱槽15。在转动轴152 的空平台16侧的突出端部上一体地固接有闸板150，在转动轴152的箱槽15侧的突出端部 上一体地固接有空心状的浮子151，由此，闸板150和浮子151绕转动轴152的轴心一体转 动。闸板150由例如聚氯乙烯树脂形成，如字面那样是板状的部件，另一方面，浮子151由 例如聚丙烯形成，通过形成为空心状，在处理液内产生规定值以上的较大的浮力。
图10中，闸板150形成为在关闭状态下左右较长的大致矩形，并且左右宽度的大 致中央部的下端附近固接在上述转动轴152上，并构成为以转动轴152为转动轴心，图10 的顺时针方向、即关闭方向Bl的力矩与逆时针方向、即打开方向B2的力矩大致相等，或者 打开方向B2的力矩稍大。闸板150的左端缘形成为一直线状，但右端缘中，从上端起的大致 1/3的上侧部分150a形成为在关闭位置上与导向板110的扩张开口部88a的右斜面110a 抵接的倾斜面，中间部分150b形成为与导向板110的垂直的端面110b抵接的垂直面，而 且，从下端起的大致1/3的下侧部分150c形成为与上述上侧部分150a朝着相同方向倾斜 的倾斜面。即，闸板150的至少上侧部分150a与扩张开口部88a的右斜面110a抵接，使得 闸板150在关闭位置上被卡定。 浮子151相对于转动轴152固接成朝左侧延伸，因浮子151的自重而对闸板150 施加打开方向B2的力矩。S卩，在浮子151未受到浮力作用时，主要在浮子151的重量的作 用下，闸板150朝打开方向B2转动。闸板150例如通过设置在闸门装置主体91上的限位 件155而被卡定于图9所示的打开状态。
(工作) 由于镀覆处理工序及其后的吊钩的剥离工序等是以往公知的，因此极为简单地进 行说明。在图1中，用加载部10将镀覆处理前的工件W吊持于搬运吊钩28，利用推进机装 置将搬运吊钩28和工件W搬运至前处理槽11内，并使搬运吊钩28的链轮71与前处理槽 11的连续搬运装置35的搬运链75的起始端部卡合。 从上述连续搬运装置35起，朝着箭头F方向依次利用取入搬运装置31、连续搬运 装置36、取入搬运装置32和连续搬运装置37来移动搬运吊钩27，从而使工件W经过前处 理槽11、空平台12、箱槽13、镀覆槽14、箱槽15、空平台16和第一后处理槽17，或使工件W 在规定的处理位置停止规定时间，进行前处理、镀覆处理和清洗等后处理。镀覆处理完成后 的工件由未图示的推进机装置通过第二后处理槽18搬运至卸载部19，从搬运吊钩28拆下 镀覆处理后的工件W。 拆下工件W后的搬运吊钩-28接着使链轮71与剥离工序的空平台20的连续搬运 装置38的链式输送机75卡合，从该连续搬运装置38起朝着箭头F方向依次利用取入搬运 装置33、连续搬运装置39、取入搬运装置34和连续搬运装置40进行移动，附着物被剥离、清洗，再次返回加载部10。 在上述镀覆处理中，将工件W从例如空平台12经由箱槽13朝镀覆槽14水平移动 时以及从镀覆槽14经由箱槽15朝空平台16水平移动时，将各闸门装置84、85分别打开， 由此，工件W不用上升就可经过工件经过口 88等。工件W经过了工件经过口 88等后，将各 闸门装置84、85的工件经过口 88等关闭。
(闸门装置85的开闭工作的详细说明) (1)图5简单表示了如上所述将工件W从空平台12经由箱槽13朝镀覆槽14移 动的工序以及从镀覆槽14经由箱槽15朝空平台16移动的工序。在镀覆槽14中，镀覆液 始终保持大致装满状态，空平台12、16始终排出镀覆液，从而保持大致空状态。工件W在箱 槽13、 15与镀覆槽14之间移动时，通过在短时间内从柱槽47等供给镀覆液，使箱槽13、 15 保持与镀覆槽14大致相同的装满状态，工件W在各箱槽13、15与各空平台12、16之间移动 时，通过将排出口栓46打开，使各箱槽13、15排液以在短时间内达到大致空状态。
(2)如上所述地使镀覆液装满箱槽13、 15时，镀覆槽14与箱槽15之间的闸门装置 84打开，形成可供工件W经过的状态，另一方面，箱槽13、 15与空平台12、 16之间的闸门装 置85关闭。相反，使箱槽13、15从装满状态成为空状态时，镀覆槽14与箱槽13、15之间的 闸门装置84关闭，另一方面，箱槽13、15将排出口栓46打开，并且将箱槽13、15与空平台 12、 16之间的闸门装置85也打开，排出镀覆液。 (3)下面详细说明闸门装置95在后处理用的箱槽15从空状态成为装满状态的过 程中的工作。在图9中，箱槽15内处于空状态时，可动闸门部件93移动到打开位置，使工 件经过口 88的狭缝状开口部88b打开，另外，闸板150转动到打开位置，使扩张开口部88a 也打开。 在朝箱槽15供给镀覆液时，像图10那样，首先使可动闸门部件93朝关闭位置移 动，将狭缝状开口部88b关闭。在此状态下将镀覆液从柱槽47(图5)朝箱槽15供给时，随 着供给到箱槽15内的镀覆液的增加，浮子151因浮力的作用而上升，闸板150与浮子151 — 起朝关闭方向Bl转动，将扩张开口部88a的下半部关闭。由此，能在箱槽15内可靠地储藏 直到液平面Ll为止的镀覆液。如图7所示，上述液平面Ll是被搬运装置28把持的工件W 的上端缘可浸渍至液面下大致50mm左右的高度。由此，能在镀覆槽14内对工件W整体进 行镀覆处理。 上面说明的是从镀覆槽14经由箱槽15朝空平台16搬运工件W时闸门装置85等 的开闭，但在从图5的入口侧的空平台12经由箱槽13朝镀覆槽14搬运工件时，配置在入 口侧箱槽13与入口侧空平台12之间的带有闸板的闸门装置85的开闭也与上述闸门装置 85同样地进行。
(实施方式的效果) (1)图6所示的箱槽15与空平台16之间的闸门装置85像图7那样，包括利用 驱动机构94(管部件101U02)沿大致水平方向移动来开闭狭缝状开口部88b的闸门部件 93、以及该闸门部件93以外的绕水平的转动轴152转动来开闭扩张开口部88a的闸板150， 在闸板150上连动地连结有配置在箱槽15内的浮子151，通过箱槽15内的镀覆液增加时浮 子151的上升，使上述闸板150朝关闭位置转动，因此，能将工件经过口88的开口面积限制 成工件W和工件保持用的夹子67等可经过的大致最小的面积，能抑制镀覆液从工件经过口88漏出。 (2)利用水平方向滑动自如的可动闸门部件93来开闭狭缝状开口部88b，并利用 绕水平的转动轴152转动自如的快门150来开闭扩张开口部88a，因此，能在短时间内开闭 工件经过口 88整体，能提高连续的工件处理作业的效率。S卩，对应各开口部88b、88a的形 状分别包括滑动式的闸门部件93和转动式的闸板150，因此，能大幅度縮短工件经过口 88 整体的开闭时间。 (3)由于利用配置在箱槽15内的浮子151使闸板150上升，因此不必特别包括电 动机等闸板开闭用驱动机构，能简化闸门装置85。 (4)由于将扩张开口部88a形成为V字形，因此狭缝状开口部88b及与其上方连续 的扩张开口部88a的形成作业容易。 (5)由于浮子151固接在闸板150的转动轴152上，能与闸板150 —体转动，因此 能将浮子151与闸板150 —体地紧凑配置。
[第二实施方式] 图11和图12表示第二实施方式，图11中，在箱槽15 (纸面的外侧)与空平台(纸 面的里侧)16之间的槽壁83上包括与工件经过口 88的扩张开口部88a的形状对应的三 角形的闸板150、以及通过绳161与该闸板150的臂部150a连结的浮子151。闸板150和 浮子151均配置在箱槽15内。另外，与上述第一实施方式一样，包括开闭狭缝状开口部88b 的闸门装置85，但图中省略，只表示了闸板150及其驱动机构。 闸板150的臂部150a通过大致水平的转动轴152转动自如地支撑于槽壁83 (或 闸门装置主体)，在臂部150a的另一端部以朝打开方向B2对闸板150施加力矩的形态设置 有平衡块164。在臂部150a的相对于转动轴152位于配置有平衡块164的一侧的相反侧的 部位连结着上述绳161，该绳161在箱槽15内朝下方延伸，巻挂于设置在箱槽15的下端部 附近的转向滑轮(日文夕一 > -〉一 7" ) 162并朝上方折回，在绳161的另一端部连结有浮 子151。 如图11所示，箱槽15处于大致空的状态时，浮子151位于箱槽15的底面附近，闸 板150因平衡块164产生的打开方向B2的力矩的作用而位于打开位置。
像图12那样，朝箱槽15供给镀覆液时，浮子151因浮力的作用而上升，拉拽绳161 而使闸板150朝关闭方向Bl转动。朝关闭方向Bl转动后的闸板150被限位件163卡定， 从而被保持于关闭位置，将扩张开口部88a的下半部关闭。 根据上述实施方式，浮子151的配置自由度增加，设计变得容易。在本实施方式 中，将浮子151与闸板150连结的线状体不限定于绳，还可利用柔软的金属线和链条。
[第三实施方式] 图13和图14是本发明的第三实施方式，在表示俯视图的图13中，在镀覆液槽14 与箱槽15之间的槽壁82上设置有闸板350，闸板350配置在镀覆液槽14内，浮子351配置 在箱槽15内。在槽壁82(或闸门装置主体)上转动自如地支撑有贯穿其的水平的转动轴 352，在转动轴352的镀覆槽14侧的端部固接有闸板350的臂部350a的基端部，在转动轴 352的箱槽15侧的端部通过臂部351a固接有浮子351。另外，与上述第一实施方式一样， 包括开闭狭缝状开口部88b的闸门装置84，但图中省略，只表示了闸板350及其驱动机构。
图14是图13的XIV-XIV剖视图，表示闸板350关闭的状态，在槽壁82的扩张开口部88a的附近设置有关闭位置卡定用的限位件354，在镀覆液槽14的侧壁的上端部设置 有打开位置卡定用的限位件353。 箱槽15处于空的状态时，如图14所示，通过作用于浮子351和闸板350的重力，
闸板350朝关闭方向Bl转动，被限位件354卡定，从而被保持于关闭位置。即，将扩张开口
部88a的下半部关闭。由此，防止镀覆液从镀覆液槽14朝箱槽15漏出。镀覆液被供给到箱槽15内时，浮子351因浮力的作用而上升，使浮子351和闸板
350朝打开方向B2转动，扩张开口部88a打开。闸板350被打开位置卡定用的限位件353
卡定、保持。由此，能快速地使箱槽15成为与镀覆液槽14内相同的装满状态。[第四实施方式] 图15是本发明的第四实施方式，在箱槽15与空平台16之间的槽壁83上设置有 闸板450。与上述第三实施方式一样，闸板450形成为具有臂部450a的三角形，配置在箱槽 15内。 闸板450的臂部450a的基端部通过大致水平的转动轴452转动自如地支撑于槽 壁83。本实施方式中，闸板450自身用空心形状或比重小的材料进行制作，从而作为在镀覆 液中或水中漂浮的浮子使用。另外，与上述第一实施方式一样，包括开闭狭缝状开口部88b 的闸门装置85，但图中省略，只表示了闸板450及其驱动机构。 箱槽15处于空状态时，闸板450因重力的作用而如虚线所示成为下垂状态，将扩 张开口部88a打开。 朝箱槽15内供给镀覆液时，闸板(浮子)450因浮力的作用而朝关闭方向B1转动， 与上方的限位件454抵接，从而被卡定于关闭位置，将扩张开口部88a关闭。
[第五实施方式] 图16和图17是本发明的第五实施方式，在空平台16与箱槽15之间的槽壁83上 设置有闸板550。图16是俯视图，图17是图16的XVII-XVII剖视图，图17中，在槽壁83的 箱槽15侧的面上以倾斜姿势固定有截面为大致-字形的滑动轨道558，在该滑动轨道558 内滑动自如地支撑着平行四边形的闸板550的一侧端部550a。上述滑动轨道558以越是下 方越远离工件经过口 88的形态倾斜，因此，闸板550朝上方移动时，朝着工件经过口 88移 动而将扩张开口部88a关闭，闸板550朝下方移动时，从工件经过口 88离开而将扩张开口 部88b打开。另外，在闸板550的轨道的上下端分别设置有关闭位置卡定用的限位件554 和打开位置卡定用的限位件553。 图16中，在滑动轨道558上沿着轨道长度方向开设有槽558a，闸板550通过该槽 558a突出到外部。 本实施方式中，闸板550自身也成为浮子，其形成为空心状，或用在镀覆液中漂浮 的比重小的原材料(例如聚丙烯等)成形。 箱槽15内处于空的状态时，像图17中用虚线表示的那样，闸板550因自重而下降
至打开位置，被打开位置卡定用的限位件553卡定。S卩，扩张开口部88a打开。 朝箱槽15内供给镀覆液时，闸板550因自身的浮力而上升，与上端的关闭位置卡
定用的限位件554抵接，从而将扩张开口部88a保持于关闭状态。[第六实施方式] 图18和图19是本发明的第六实施方式，是在空平台16与箱槽15之间的槽壁83上包括螺旋移动型的闸板650的例子。 在表示俯视图的图18中，在槽壁83的箱槽15侧的面上将导向筒655固接成大致 垂直姿势，在该导向筒655内上下方向移动自如且转动自如地嵌合圆筒状的浮子651 。
图19是图18的XIX-XIX剖视图，在导向筒655的周壁上形成有将导向筒655的 内部与外部连通的螺旋狭缝656，通过插通在该螺旋狭缝656内的臂部650a使三角形的闸 板650与浮子651连结。 箱槽15内处于空的状态时，如双点划线所示，闸板650因重力的作用而与浮子651 一起下降至打开位置，位于与狭缝状的开口部88b相反的一侧。S卩，将扩张开口部88a打开。
朝箱槽15内供给镀覆液时，通过浮子651的浮力的作用，浮子651和闸板650—体 上升，但臂部650a沿着螺旋狭缝656移动，从而使闸板650螺旋状上升。而且，在上升后的 关闭位置上，闸板650转动到扩张开口部88a侧，将扩张开口部88a关闭。本实施方式中， 闸板650自身也使用空心形状或比重小的材料，从而也可作为在镀覆液中漂浮的浮子。
[第七实施方式] 图20和图21是本发明的第七实施方式，是在镀覆槽14与箱槽15之间的槽壁82 上配置有闸板750的例子，通过浮子751上升，将扩张开口部88a打开。
在表示关闭状态的图20中，包括与扩张开口部88a的形状对应的三角形的上述 闸板750、以及通过绳761与该闸板750的臂部750a的另一端部连结的浮子751 。臂部750a 通过大致水平的转动轴752转动自如地支撑于槽壁82。 上述绳761从臂部750a朝下方延伸，巻挂于设置在箱槽15的下端部附近的转向 滑轮762并朝上方折回。 如图20所示，箱槽15处于大致空的状态时，浮子751位于箱槽15的底面附近，闸 板750因自重而朝关闭方向Bl转动，将扩张开口部关闭。闸板750被限位件754卡定，从 而被保持于关闭位置。 朝箱槽15内供给镀覆液时，在浮力的作用下浮子751上升，通过绳761拉拽臂部 750a的另一端部，像图21那样使闸板75朝打开方向B2转动，将扩张开口部88a打开。
[其它实施方式] (1)上述图l至图21的实施方式中，为了开闭狭缝状开口部88b，包括水平方向移 动自如的闸门部件93，并且，作为驱动该闸门部件93的驱动机构94，包括一对管部件101、 102，但也可包括通过其它驱动机构的作用沿水平方向移动的闸门部件。另外，也可采用通 过管部件的膨胀、利用管部件直接关闭狭缝状开口部的构造。 (2)本发明的闸门装置不限定于镀覆装置，例如还能应用于利用储藏在处理液槽 内的处理液来清洗工件的剥离槽等浸渍处理装置。 本发明除了能应用于镀覆装置以外，还能应用于铬酸盐处理装置、铝的阳极氧化 处理装置、电解研磨装置或电解酸洗装置等处理装置。
权利要求
一种处理液槽，包括供液机构和排液机构，具有工件经过口的闸门装置设于槽壁，其特征在于，所述工件经过口具有垂直姿势的板状工件能经过的上下方向细长的狭缝状开口部、在该狭缝状开口部的上端形成且宽度比所述狭缝状开口部的宽度大的扩张开口部，所述闸门装置包括利用驱动机构在大致水平方向上移动或变形来开闭所述狭缝状开口部的闸门部件、该闸门部件以外的开闭所述扩张开口部的闸板，所述闸板包括配置在处理液槽内的浮子，通过处理液槽内的处理液的增减引起的浮子的升降，使所述闸板在打开位置与关闭位置之间变更位置。
2. 如权利要求1所述的处理液槽，其特征在于，所述扩张开口部形成为V字形。
3. 如权利要求1或2所述的处理液槽，其特征在于，所述闸板固接于大致水平的转动轴，通过绕该转动轴转动，所述闸板能在关闭位置与 打开位置之间变更位置，所述浮子固接于所述闸板的转动轴，能与闸板一体转动。
4. 如权利要求1或2所述的处理液槽，其特征在于，所述浮子通过线状部件与闸板连结，所述线状部件从闸板朝下方延伸并通过转向滑轮朝上方折回，在折回的上端部连结有 所述浮子。
全文摘要
一种处理液槽，具有工件经过口，能将工件经过口的开口面积控制在必要的最小限度，并能在短时间内可靠地开闭工件经过口整体。本发明的处理液槽包括供液机构和排液机构，并包括具有工件经过口(88)的闸门装置(85)。工件经过口(88)具有垂直姿势的板状工件能经过的上下方向细长的狭缝状开口部(88b)、形成在该狭缝状开口部(88b)的上端的扩张开口部(88a)，上述闸门装置(85)包括开闭狭缝状开口部(88b)的闸门部件、该闸门部件以外的开闭上述扩张开口部(88a)的闸板(50)。在上述闸板(150)上连动地连结有配置在处理液槽(15)内的浮子(51)，通过处理液槽(15)内的处理液的增减引起的浮子的升降，使闸板(50)在打开位置与关闭位置之间变更位置。
文档编号C25D21/00GK101724882SQ20091020708
公开日2010年6月9日 申请日期2009年10月27日 优先权日2008年10月28日
发明者中川佳三, 奈良田忠昭 申请人:上村工业株式会社