专利名称:出液头的制作方法
技术领域:
本实用新型涉及一种电解液的管道,特别是电解蚀刻设备中电极装置的喷液管道。
背景技术:
目前,在现有的电解蚀刻设备中,喷电解蚀刻液的喷液管道一般安装在电极的附 近,在向被电解蚀刻板喷电解蚀刻液时,出液难以沿电极方向保持均匀,浪费电解蚀刻液。 此外,在现有电极旁安装的喷液管道占空间大,刚度差,组装和维修均不方便。
发明内容本实用新型的目的在于提供一种既能保持出液均匀,又结构紧凑,组装和维修方 便的电极装置。 为了达到上述目的,本实用新型的技术方案是一种出液头,包括板座部分和板盖 部分,板座部分与板盖部分密封固定连接成为一板形体或焊接成为一板形体或一体制造成 为一板形体,所述板形体的板座与板盖之间具有沿板形体长度方向设置的液体主通道,所 述板形体上具有进口和出口,液体主通道分别与进口和出口连通,所述出口为一条缝隙或 多条缝隙或多个细孔,出口沿板形体长度方向布置。 为了使液体更均匀流向出口 ,所述出口设在板座部分,板座部分上还具有液体支 通道,液体主通道经过液体支通道通往出口 。 为了使喷出的电解蚀刻液流向电极的特定区域,所述板座部分上的出口下部设有 导流沿。 为了便于安装到电极上,所述板座部分和板盖部分上分别开有对应的安装孔。 为了便于清洗出液头内部液体通道,所述板形体的两端螺纹连接有堵头,且堵头 位于液体主通道的两端。 为了便于与供液管路连接,所述进口设在板盖部分,进口上连接有进液管或进液 接头。 采用上述结构后,由于板座部分与板盖部分密封固定连接成为一板形体或焊接成 为一板形体或一体制造成为一板形体,因此该板形体适合安装在电极上。再由于板形体的 板座与板盖之间具有沿板形体长度方向设置的液体主通道,出口为一条缝隙或多条缝隙或 多个细孔,出口沿板形体长度方向布置,因此本实用新型沿板形体长度方向出液很均匀;此 外板形体结构紧凑,占空间小;组装和维修方便;刚度好,经久耐用;便于加工。
以下结合附图给出的实施例对本实用新型作进一步详细的说明。
图1是本实用新型的出液头的结构正视图; 图2是
图1的俯视图;[0014] 图3是
图1的后视图; 图4是
图1的左视图; 图5是
图1沿A-A线的剖视图; 图6是图3的B部放大图; 图7是本实用新型中的板盖部分的结构正视图; 图8是图7的后视图; 图9是本实用新型中的板座部分的结构正视图;
图10是图9的后视图;
图11是图7沿D-D线的剖视图;
图12是图7沿E-E线的剖视图;
图13是图9沿F-F线的剖视图;
图14是图9沿G-G线的剖视图。
具体实施方式如
图1、2、3、4、5、6、7、8、9、10、11所示,本实用新型的出液头,包括板座2部分和板
盖部分1 ,板座部分2与板盖部分1密封固定连接成为一板形体或焊接成为一板形体或一体
制造成为一板形体,所述板形体的板座2与板盖1之间具有沿板形体长度方向设置的液体
主通道5,所述板形体上具有进口 6和出口 8,液体主通道5分别与进口 6和出口 8连通,所
述出口 8为一条缝隙或多条缝隙或多个细孔,出口 8沿板形体长度方向布置。 如图5、 10、 13所示,为了使液体更均匀流向出口 ,所述出口 8设在板座部分2,板座
部分2上还具有液体支通道7,液体主通道5经过液体支通道7通往出口 8。 如图5、6、9、13、14所示,为了使喷出的电解蚀刻液流向电极的特定区域,所述板
座部分2上的出口 8下部设有导流沿9。 如
图1、3、7、8、9、10、12、14、所示,为了便于安装到电极上,所述板座部分2和板盖 1部分上分别开有对应的安装孔10、11。 如
图1、2、3、4、6所示,为了便于清洗出液头内部液体通道,所述板形体的两端螺 纹连接有堵头4,且堵头4位于液体主通道5的两端。 如
图1、2、4、5所示,为了便于与供液管路连接,所述进口 6设在板盖部分l,进口 6 上连接有进液管或进液接头3。 本实用新型安装应用时,可采用紧固件穿入安装孔10、11将板形体与电解蚀刻设 备中电极相连接,板座部分2紧靠电极侧面或电极侧面的连接板上。板盖部分1的进液管 或进液接头3与供液管路连接。
权利要求一种出液头,其特征在于a、包括板座(2)部分和板盖部分(1),板座部分(2)与板盖部分(1)密封固定连接成为一板形体或焊接成为一板形体或一体制造成为一板形体,b、所述板形体的板座(2)与板盖(1)之间具有沿板形体长度方向设置的液体主通道(5),所述板形体上具有进口(6)和出口(8),液体主通道(5)分别与进口(6)和出口(8)连通,c、所述出口(8)为一条缝隙或多条缝隙或多个细孔,出口(8)沿板形体长度方向布置。
2. 根据权利要求l所述的出液头,其特征在于所述出口 (8)设在板座部分(2),板座部分(2)上还具有液体支通道(7),液体主通道(5)经过液体支通道(7)通往出口 (8)。
3. 根据权利要求2所述的出液头,其特征在于所述板座部分(2)上的出口 (8)下部设有导流沿(9)。
4. 根据权利要求1所述的出液头,其特征在于所述板座部分(2)和板盖(1)部分上分别开有对应的安装孔(10、11)。
5. 根据权利要求1所述的出液头,其特征在于所述板形体的两端螺纹连接有堵头(4),且堵头(4)位于液体主通道(5)的两端。
6. 根据权利要求1或2或3或4或5所述的出液头,其特征在于所述进口 (6)设在板盖部分(l),进口 (6)上连接有进液管或进液接头(3)。
专利摘要本实用新型公开了一种电解蚀刻用的出液头,它包括板座部分和板盖部分,板座部分与板盖部分密封固定连接成为一板形体或焊接成为一板形体或一体制造成为一板形体,所述板形体的板座与板盖之间具有沿板形体长度方向设置的液体主通道,所述板形体上具有进口和出口,液体主通道分别与进口和出口连通,所述出口为一条缝隙或多条缝隙或多个细孔,出口沿板形体长度方向布置。本实用新型出液均匀,结构紧凑,占空间小,组装和维修方便,刚度好,经久耐用,便于加工,制造成本低。
文档编号C25F7/00GK201525902SQ20092004889
公开日2010年7月14日 申请日期2009年10月30日 优先权日2009年10月30日
发明者周丁政 申请人:常州市正成标牌设备有限公司