专利名称：输送式连续电镀装置的润滑脂供给系统的制作方法
技术领域：
本发明提供一种输送式连续电镀装置的润滑脂供给系统，该输送式连续电镀装置利用夹持工具保持印刷电路板等长方形的薄板状被处理物的端部，在输送通路的电镀处理液中以水平姿势或垂直姿势沿水平方向连续输送上述薄板状被处理物，在该输送通路中对被夹持工具供电了的薄板状被处理物的表面实施电解电镀处理，上述夹持工具与供电导轨滑动接触且被供电导轨引导而移动，上述润滑脂供给系统将适当量的润滑脂完全且可靠地供给到润滑脂涂敷作业危险且困难的导轨位置，以使输送通路中的夹持工具的行走稳定化，并且能向夹持工具稳定地供电。
背景技术：
关于夹持输送方式的水平输送式连续电镀装置，本申请人提出了一种使夹持卡盘(夹持工具)能够可靠且顺利地自动开闭的、表面处理装置中的板状被处理物的输送装置(专利文献I )，上述夹持卡盘夹持板状被处理物的两侧缘部而进行水平输送。在该专利文献I的输送装置中，分别具有对在输送通路侧的直线驱动路径部上移动的夹持卡盘组(夹持工具)进行引导的截面为矩形的导轨15，使该导轨15作为对借助上述夹持卡盘(夹持工具)输送的被处理物供给阴极的电流的供电导轨而发挥功能。为了利用安装在环状旋转的带上的夹持工具准确地水平输送印刷电路板，使在输送通路上移动的夹持工具不摇晃地稳定行走是重要的，作为使在输送通路上移动的夹持工具的移动稳定化的一方法，如专利文献I的输送装置所示，具有与输送通路平行地配设的截面为矩形的导轨15，在输送通路上移动的夹持工具与该导轨15滑动接触且被该导轨15引导而移动。另外，在专利文献I中，使该导轨15作为供电导轨而发挥功能。在自该导轨(供电导轨)经由夹持 卡盘(夹持件)对印刷电路板供电的夹持供电方式的情况下，使自该导轨15 (供电导轨)向夹持工具的供电稳定化是重要的。因此，在作业现场定期地进行对截面为矩形的导轨的表面涂敷润滑脂的作业，使夹持卡盘(夹持工具)能够与涂敷有润滑脂的导轨的导轨面顺畅地滑动接触且被该导轨引导而沿输送方向移动。但是，特别是在电镀装置的运转过程中，许多夹持卡盘(夹持工具)沿导轨频繁地行走移动，所以向该导轨的期望位置涂敷适当量的润滑脂的作业是极困难且危险的。因此，在想要将润滑脂涂敷到导轨上的润滑脂涂敷作业的期间内，必须中止电镀装置的运转。另夕卜，即使在电镀装置的运转中止过程中，由于包含安装在环状带上的许多夹持工具在内的各种设备复杂地配置，所以导轨的润滑脂涂敷位置变窄，因此很难进行将适量的润滑脂涂敷到导轨的期望位置的作业。另外，本申请人的数件专利文献公开了垂直输送式连续电镀装置(例如专利文献2 4)。该垂直输送式连续电镀装置是这样的装置利用悬挂式工具(该悬挂式工具在下部具有能以悬吊状态夹持薄板状制品的制品上部的多个夹持件)以悬吊状态夹持被电镀处理的印刷电路板等薄板状制品的制品上部，自上述供电导轨经由上述悬挂式工具对利用上述悬挂式工具以悬吊状态悬吊的上述薄板状制品的制品上部供电，并且沿该供电导轨在电镀处理箱内的电镀液中沿水平方向以该薄板状制品的板面与输送方向平行的横向姿势连续输送该薄板状制品地进行电镀处理，上述悬挂式工具横向移动自由地被水平配置的作为阴极棒发挥功能的截面为矩形的供电导轨支承。即使在该垂直输送式连续电镀装置中，向供悬挂式工具频繁移动的供电导轨的润滑脂涂敷作业也具有与上述夹持输送方式的水平输送式连续电镀装置所述的弊端大致相同的弊端。现有技术文献专利文献专利文献1:日本特开2011-68492号公报专利文献2 :日本专利第2943070号公报专利文献3 :日本特开2002-13000号公报(日本专利第3288680号公报)专利文献4 :日本特开2005-213641号公报(日本专利第3984597号公报)
发明内容
鉴于上述那样的实际情况，本发明要解决的课题是提供输送式连续电镀装置的润滑脂供给系统，该输送式连续电镀装置是夹持输送方式的水平输送式连续电镀装置，具有与输送通路平行地配设的截面为矩形的导轨，在输送通路上移动的夹持工具构成为与该导轨滑动接触，并且被该导轨 引导而移动，即使在电镀装置的运转过程中，也能向供许多夹持工具频繁行走移动的、润滑脂涂敷作业危险且困难的导轨的适当位置，安全且可靠地供给适当量的润滑脂，能够使与该导轨滑动接触且被该导轨引导而移动的夹持工具的在输送通路上的移动成为不晃动的稳定的移动。另外，提供如下的润滑脂供给系统在使该导轨作为供电导轨发挥功能，使夹持工具与该导轨(供电导轨)滑动接触并且向夹持工具供电，自该夹持工具的夹持接点部对印刷电路板供电的夹持供电方式的情况下，使自该导轨(供电导轨)向夹持工具的供电稳定，提高供电效率。另外，本发明对沿水平配置的供电导轨与悬挂式工具(夹持工具)滑动接触且频繁移动的垂直输送式连续电镀装置，也要解决与夹持输送方式的水平输送式连续电镀装置同样的课题。为了解决上述课题，本发明(技术方案I的发明)提供输送式连续电镀装置的润滑脂供给系统，上述输送式连续电镀装置是水平输送式连续电镀装置，其在将薄板状被处理物的输送通路夹在中间的两侧，分别配设有具有呈环状旋转驱动的输送驱动带的输送部件，在该输送驱动带上空开等间隔地安装有许多夹持工具，利用在将上述输送通路夹在中间且彼此平行的内侧的直线驱动路径部移动的多个夹持工具，从上下方向夹持具有平行的两侧缘部的挠性的薄板状被处理物的两侧缘部，在使该薄板状被处理物的板面朝向上下方的水平状态下，在处理槽的电解处理液中向一方向连续地水平输送该薄板状被处理物，在该水平输送的过程中，对经由上述夹持工具被供给阴极电流的该薄板状被处理物的表面实施电解电镀处理，在将上述输送通路夹在中间且彼此平行的内侧的直线驱动路径部移动的多个夹持工具构成为与固定导轨滑动接触地移动，该固定导轨分别与该直线驱动路径部平行地配置，上述夹持工具包括导轨滑动卡合部，其与上述固定导轨滑动接触；夹持接点部，其能够在比该导轨滑动卡合部靠下方的下端部从上下方向夹持薄板状被处理物的侧缘部；该导轨滑动卡合部形成为如下构造以至少与固定导轨的上表面和该固定导轨的输送通路侧的侧面进行面滑动接触的方式，以大致C字形抱持截面为矩形的导轨，并且至少不抱持固定导轨的位于输送通路的相反侧的侧面上的上下方向的中间部，将固定导轨的不被夹持工具的导轨滑动卡合部抱持的侧面部构成为开放侧面部，在上述固定导轨的一处位置或多处位置，在该导轨的上表面形成有使润滑脂出口为开口的润滑脂储存槽，将与该润滑脂储存槽相通的润滑脂注入口形成在该导轨的上述开放侧面部，使上述导轨的上述润滑脂注入口和配设在远程位置的润滑脂注入器具的润滑脂排出口借助挠性的润滑脂供给管相连通，自上述润滑脂注入器具经由润滑脂供给管注入到上述润滑脂注入口，自该润滑脂注入口供给到上述润滑脂储存槽内的润滑脂从上述润滑脂出口向导轨上表面之上溢出。另外，本发明(技术方案2的发明)使上述固定导轨作为供电导轨而发挥功能。另外，本发明(技术方案3的发明)提供输送式连续电镀装置的润滑脂供给系统，该输送式连续电镀装置是垂直输送式连续电镀装置，其利用夹持工具以悬吊状态夹持被进行电镀处理的印刷电路板等薄板状被处理物的上缘部，上述夹持工具横向移动自由地悬挂支承于水平配置的作为阴极棒发挥功能的供电导轨，自上述供电导轨经由上述夹持工具对利用上述夹持工具以悬吊状态悬挂的上述薄板状被处理物的上缘部供电，并且沿该供电导轨在处理槽的电解处理液中沿水平方向以该薄板状被处理物的板面与输送方向平行的横向姿势，连续输送该薄板状被处理物，并且进行电镀处理，上述夹持工具包括导轨滑动卡合部，其与上述供电导轨滑动接触且横 向移动自由地悬挂支承于该供电导轨；多个夹持接点部，它们能够在比该导轨滑动卡合部靠下方的位置夹持薄板状被处理物的上缘部，该导轨滑动卡合部形成为下述的抱持构造，即，至少与供电导轨的上表面和该供电导轨的一方侧面面滑动接触地，与截面为矩形的供电导轨滑动接触且横向移动自由地悬挂支承于该供电导轨的抱持构造，并且该导轨滑动卡合部形成为至少不抱持供电导轨的相反侧的侧面上的上下方向的中间部的构造，将供电导轨的不被夹持工具的导轨滑动卡合部抱持的侧面部构成为开放侧面部，在上述供电导轨的一处位置或多处位置，在该供电导轨的上表面形成使润滑脂出口成为开口的润滑脂储存槽，将与该润滑脂储存槽相通的润滑脂注入口形成在该供电导轨的上述开放侧面部，使上述供电导轨的上述润滑脂注入口和配设在远程位置的润滑脂注入器具的润滑脂排出口借助挠性的润滑脂供给管相连通，自上述润滑脂注入器具经由润滑脂供给管注入到上述润滑脂注入口，自该润滑脂注入口供给到上述润滑脂储存槽内的润滑脂从上述润滑脂出口向导轨的上表面之上溢出。另外，本发明(技术方案4的发明)的特征在于，使上述润滑脂出口形成为沿上述夹持工具的移动方向较长的细长的开口形状。另外，本发明(技术方案5的发明)的特征在于，使上述润滑脂出口 15b的开口面积(出口面积)形成为比上述润滑脂注入口的开口面积(入口面积)大，以使上述润滑脂注入口处的润滑脂注入压力在上述润滑脂储存槽内降低，使减压后的润滑脂自上述润滑脂出口在导轨上表面上慢慢且均匀地溢出而隆起。采用本发明的夹持输送方式的水平输送式连续电镀装置，通过在安全且容易操作的位置对润滑脂注入器具进行远程操作，即使在电镀装置的运转过程中，也能向供许多夹持工具频繁行走移动的、润滑脂涂敷作业危险且困难的固定导轨的适当位置，安全且可靠地供给适当量的润滑脂。因此，能够使与该导轨滑动接触且被该导轨引导而移动的夹持工具在输送通路上的移动成为不晃动的稳定的移动。另外，使该固定导轨作为供电导轨而发挥功能，在使夹持工具与该导轨(供电导轨)滑动接触且对夹持工具供电，自该夹持工具的夹持接点部对印刷电路板等薄板状被处理物供电的夹持供电的情况下，能够使自该导轨(供电导轨)向夹持工具的供电稳定化，提高供电效率。另外，在本发明的垂直输送式连续电镀装置中，通过在安全且容易操作的位置对润滑脂注入器具进行远程操作，即使在电镀装置的运转过程中，也能向供许多夹持工具频繁行走移动的、润滑脂涂敷作业危险且困难的供电导轨的适当位置，安全且可靠地供给适当量的润滑脂。因此，能够使与该供电导轨滑动接触且被该供电导轨引导而移动的夹持工具的移动成为不晃动的稳定的移动，并且能够使自该供电导轨向夹持工具的供电稳定化，提闻供电效率。
图1是本发明的水平输送式连续电镀装置的概略俯视图。图2是本发明的水平输送式连续电镀装置的主要部分的局部放大纵剖侧视图。图3是本发明的主要部分的放大立体图。图4是本发明的垂直输送式连续电镀装置的概略主视图。图5是本发明的垂直输送式连续电镀装置的主要部分的概略侧视图。
具体实施例方式接下来，根据
本发明的实施方式。图1大概地表示水平输送式连续电镀装置的整体，图2和 图3表示该装置的主要部分的实施方式。图1的水平输送式连续电镀装置是如下的装置在将印刷电路布线板等薄板状被处理物(以下有时称为薄基板P)P的输送通路I夹在中间的两侧，分别配设有具有呈环状旋转驱动的输送驱动带3、3的输送部件，在该输送驱动带3上空开等间隔地安装有许多夹持工具4……，利用在将上述输送通路I夹在中间且彼此平行的内侧的直线驱动路径部3a、3a上移动的多个夹持工具4，从上下方向夹持具有平行的两侧缘部的挠性的薄板状被处理物P的两侧缘部，在使该薄板状被处理物P的板面朝向上下方的水平状态下，在处理槽5 (在该实施例中是电解电镀处理槽)的电镀处理液F中向一方向(箭头A方向)连续地水平输送该薄板状被处理物P，在该水平输送的过程中，对该薄板状被处理物P的表面实施电解电镀处理。上述输送驱动带3绕挂在棍6、6上,利用输送驱动用电动机(未图不)驱动一方棍6旋转，从而驱动该输送驱动带3呈环状旋转。在上述辊6上设有与驱动带(同步带)3配合的齿。空开相等间隔地安装在呈环状旋转驱动的上述输送驱动带3上的夹持工具4……如图1所示，空开能利用多个夹持工具4夹持矩形的薄板状被处理物P的侧缘部的间隔地安装。另外，在图1中，只在环状的输送驱动带3的一部分范围内表示了夹持工具4……，但夹持工具4……是遍布输送驱动带3的所有范围等间隔地安装的。在将输送通路I夹在中间的两侧设置的输送驱动带3、3被以等速度同步旋转驱动。将通过被处理物P的输送通路I的始端部Ia的夹持工具4……从打开状态控制成能夹持被处理物的侧缘部的闭合状态，将通过被处理物P的输送通路I的终端部Ib的夹持工具4……从闭合状态控制成能放开被处理物的侧缘部的打开状态。如图1和图2所示，在上述输送驱动带3的内侧的直线驱动路径部3a、3a的下方位置，配置有与该直线驱动路径部3a、3a平行且沿水平方向延伸的截面为矩形的由导电金属材料构成的固定导轨8。该固定导轨8在输送通路I的整个范围内延伸。在内侧的直线驱动路径部3a、3a移动的夹持工具4与固定导轨8滑动接触，并且被该固定导轨8引导而移动，该固定导轨8分别与该直线驱动路径部3a平行地固定配置。夹持工具4在薄板状被处理物P的输送过程中，被上述固定导轨8引导地沿该固定导轨8移动，所以能够利用该夹持工具4以稳定的保持状态水平输送薄板状被处理物P。如图2所示，上述夹持工具4包括由导电金属材料构成的导轨滑动卡合部10，其与上述固定导轨8滑动接触；由导电金属材料构成的夹持接点部11 (上夹持接点部Ila和下夹持接点部11b)，其比该导轨滑动卡合部10靠下方的下端部能沿上下方向夹持或放开薄板状被处理物P的侧缘部。上下夹持接点部IlaUlb形成为沿输送移动方向较长地延伸而成的形状，此结构未图示。如图2所示，该导轨滑动卡合部10形成为如下构造以至少与截面为矩形的固定导轨8的上表面和该导轨8的输送通路侧的侧面进行面滑动接触的方式，以大致C字形抱持截面为矩形的导轨8，并且至少不抱持导轨8的位于输送通路I的相反侧的侧面上的上下方向的中间部，将导轨8的不被夹持工具4的导轨滑动卡合部10抱持的上述侧面部构成为开放侧面部Sc。在本发明中，使上述固定导轨8作为供电导轨而发挥功能，自该固定导轨(供电导轨)8经过夹持工具4对簿板状被处 理物P供给阴极电流。如图2所示，在上述处理槽(电解电镀处理槽)5的电镀处理液中配设有使金属离子析出的阳极12、12 (例如在电镀处理液中水平输送的薄板状被处理物P的上下位置配设板状的阳极12、12)，在电镀处理液中对经由夹持工具4被供给了阴极电流的薄板状被处理物P进行水平输送的过程中，对该薄板状被处理物P的表面实施电镀处理。如图2所示，除上述上下夹持接点部IlaUlb以外的由导电材料构成的夹持工具4的在液体中与液体接触的部分实施了绝缘涂层处理。例如通过实施聚氯乙烯溶胶涂敷处理，进行该绝缘涂层处理。另外，上述输送驱动带3、3中至少一方的输送驱动带3形成为相对于另一方输送驱动带3能沿改变输送通路I的宽度的宽度方向移动的结构，形成为能调节夹持工具4……的宽度间隔的结构，上述夹持工具4……在将上述输送通路I夹在中间且彼此平行的内侧的直线驱动路径部3a、3a移动，上述一方输送驱动带3和上述另一方输送驱动带3将输送通路I夹在中间。由此，也能应对宽度尺寸不同的薄基板P。在能够改变该宽度的情况下，上述固定导轨8与上述直线驱动路径部3a沿宽度方向的移动一起移动。如图1至图3所示，润滑脂供给系统在上述固定导轨8的基板搬入侧的位置，在该导轨8的上表面形成有使润滑脂出口 15b为开口的润滑脂储存槽15，将与该润滑脂储存槽15相通的润滑脂注入口 15a形成在该导轨8的上述开放侧面部Sc，使上述导轨8的上述润滑脂注入口 15a和配置在安全且容易操作的远程位置的润滑脂注入器具20的润滑脂排出口 20a，借助能改变管路的挠性润滑脂供给管22而相连通，自上述润滑脂注入器具20经由润滑脂供给管22注入到上述润滑脂注入口 15a，自该润滑脂注入口 15a供给到上述润滑脂储存槽15内的润滑脂G从上述润滑脂出口 15b自导轨上表面向上慢慢溢出。供给到导轨8的上表面上的润滑脂由通过该位置而移动的夹持工具4自导轨上表面传递到导轨两侧面。在图1中，将润滑脂储存槽15的形成位置设置为固定导轨8的基板搬入侧的一处位置，但也可以设置为沿导轨8的长度方向空开了间隔的多个位置。作为上述润滑脂注入器具20，可以使用称作所谓的润滑脂枪的便携式的公知的器具。该润滑脂注入器具20的外观如图2所示，该润滑脂注入器具20采用如下构造具有收容润滑脂的润滑脂收容室(未图示)，利用与手动的操作杆20b的操作联动地工作的柱塞等加压输送部·件(未图示)，能够自润滑脂排出口 20a排出该润滑脂收容室内的润滑脂。将形成于导轨8的开放侧面部Sc的润滑脂注入口 15a和配设在安全且容易操作的远程位置的润滑脂注入器具20的润滑脂排出口 20a连通起来的挠性的润滑脂供给管22(例如挠性的塑料软管)像图2那样，配置为避开水平输送式连续电镀装置的可动部(夹持工具4、输送驱动带3等)，且不妨碍装置的动作。如图3所示，润滑脂储存槽15的润滑脂出口 15b形成为沿夹持工具4的移动方向较长的细长的开口形状，将该润滑脂出口 15b的长度方向的开口两端部形成为圆弧状。该润滑脂出口 15b的开口面积(出口面积)形成为比润滑脂注入口 15a的开口面积(入口面积)大，自润滑脂注入口 15a供给到润滑脂储存槽15内的润滑脂的注入压力在润滑脂储存槽15内降低，减压后的润滑脂G自沿工具移动方向较长的润滑脂出口 15b在导轨8的上表面上慢慢且均匀地溢出而隆起(图3中用点划线表示自润滑脂出口 15b供给到导轨8的上表面上的润滑脂G)。由此，能够自位于远程位置的润滑脂注入器具20将适当量的润滑脂均匀地供给到导轨8的上表面的适当位置，能够防止自润滑脂出口 15b猛喷出润滑脂而导致润滑脂飞散到导轨外的不必要位置。借助了挠性的润滑脂供给管22的、导轨8的润滑脂注入口 15a与配设在远程位置的润滑脂注入器具20的润滑脂排出口 20a的连接，使用在内部具有通路的公知的连接用具23,24来连接。导轨8的润滑脂注入口 15a与润滑脂供给管22的前端部的连接的一例如图3所示，将在一端部的外周切削出外螺纹的导轨侧连接用具24a与在内周切削出内螺纹的润滑脂注入口 15a螺纹接合而进行固定安装，形成在该导轨侧连接用具24a的相反侧的端部的外周切削外螺纹或在内周切削内螺纹而成的连接部，使该连接部与在安装于润滑脂供给管22的前端部的供给管侧连接用具24b的端部的外周切削外螺纹或在内周切削内螺纹而成的连接部螺纹接合而连接。另外，可以在上述固定导轨8的下方设置用于接受自导轨部下落的润滑脂的润滑脂接受盘。根据图2进一步说明上述夹持工具4的构造。该夹持工具4包括上述的由导电金属材料构成的导轨滑动卡合部10、和保持于该导轨滑动卡合部10的不锈钢等金属制的工具主体30。该工具主体30的下方部分配置在能在上述处理槽(电解电镀处理槽)的电镀处理液F中移动的位置，上方部分具有在空中保持于上述导轨滑动卡合部10的沿上下方向较长的构造，在该工具主体30的下端部具有上述夹持接点部11 (上夹持接点部Ila和下夹持接点部lib)。该工具主体30包括上方部固定保持于上述导轨滑动卡合部10的沿上下方向较长的固定夹持杆31、和上下移动自由地保持于该固定夹持杆31的沿上下方向较长的可动夹持杆32。在上述可动夹持杆32的下端部具有上述上夹持接点部Ila,在上述固定夹持杆31的下端部具有上述下夹持接点部lib。上述可动夹持杆32的上夹持接点部Ila在压缩弹簧33的弹簧压的作用下向下移动，常态下控制成沿上下方向关闭夹持接点部11 (上夹持接点部Ila和下夹持接点部Ilb)的状态。图2中用点划线表示的具有高低差的夹持开闭引导件40配设在图1的输送通路的始端部位置与终端部位置之间的夹持移动路径中。在上述工具主体30的上部附加设有夹持开闭引导件卡合构件35，该夹持开闭引导件卡合构件35使可动夹持杆32的上夹持接点部Ila克服上述压缩弹簧33的弹簧压地向上移动，沿上下方向打开夹持接点部11。该夹持开闭引导件卡合构件35以大致L字形的翻转杆36的弯曲部为支点部，利用支轴翻转自由地轴固定于固定夹持杆31侧，将该翻转杆36的下方臂部的前端借助销轴转动自由地与可动夹持杆32的上部相连结，在翻转杆36的上方臂部的前端安装滚轮37，在该滚轮37沿上述夹持开闭引导件40的高位引导面部滚动的卡合状态下，上方臂部以上述支轴为轴心向上方翻转，使与下方臂部相连结的可动夹持杆32克服压缩弹簧33的弹簧压地向上移动。在夹持工具4通过具有高低差的上述夹持开闭引导件40的位置时，夹持工具4的夹持开闭引导件卡合构件35的滚轮37与夹持开闭引导件40的高位引导面部卡合，使上述可动夹持杆32的上夹持接点部IIa克服压缩弹黃33的弹黃压地向上移动，将夹持接点部11控制为沿上下方向分开的打开状态。由此，能够将通过被处理物P的输送通路I的始端部Ia的夹持工具4……从打开状态控制成能夹持被处理物的侧缘部的闭合状态，将通过被处理物P的输送通路I的终端部Ib的夹持工具4……从闭合状态控制成能放开被处理物的侧缘部的打开状态。 图4和图5表示将润滑脂供给系统应用到垂直输送式连续电镀处理装置中的实施方式。图4和图5所示的垂直输送式连续电镀装置是如下装置利用夹持工具4以悬吊状态夹持被进行电镀处理的印刷电路板等薄板状被处理物P的上缘部，上述夹持工具4横向移动自由地悬挂支承于水平配置的作为阴极棒发挥功能的供电导轨8，自上述供电导轨8经由上述夹持工具4对利用上述夹持工具4以悬吊状态悬挂的上述薄板状被处理物P的上缘部供电，并且沿该供电导轨8在处理槽的电解处理液F中沿水平方向以该薄板状被处理物的板面与输送方向平行的横向姿势，连续输送该薄板状被处理物P，并且进行电镀处理。在图4中，在水平固定配置的供电导轨8的右侧表示上下移动的搬入导轨50，在该供电导轨8的左侧表示上下移动的搬出导轨51。自上部移动位置向下移动到图示的下部移动位置的搬入导轨50与供电导轨8的搬入侧的端部匹配，悬挂支承于搬入导轨50的夹持工具4利用未图示的推动器等如箭头B所示换位移动至供电导轨8的电镀处理开始位置。另外，位于供电导轨8的电镀处理结束位置的夹持工具4利用未图示的推动器等如箭头C所示换位移动到与供电导轨8的搬出侧的端部匹配的图示的下部移动位置的搬出导轨51。换来了夹持工具4的搬出导轨51向上移动到上部移动位置，在该上部移动位置将夹持工具输送到后处理工序。
作为使横向移动自由地支承于供电导轨8的夹持工具4沿箭头A的输送方向连续移动的部件，在图示的实施例中，在夹持工具4上设置卡合爪部件55，使该卡合爪部件55与环状旋转驱动的附齿带56卡合，利用该附齿带56的旋转驱动力使横向移动自由地支承于供电导轨8的夹持工具4从右侧向左侧连续移动。另外，由推动器等进给部件产生的箭头B的搬入换位移动速度及箭头C的搬出换位移动速度，比箭头A的电镀处理工序中的夹持工具的移动速度快。上述夹持工具包括导轨滑动卡合部10，其与上述供电导轨8滑动接触且横向移动自由地悬挂支承于该供电导轨8 ;多个夹持接点部11，它们能够在比该导轨滑动卡合部10靠下方的下端部夹持薄板状被处理物P的上缘部。该导轨滑动卡合部10形成为如下构造至少与截面为矩形的供电导轨8的上表面和该供电导轨8的一方侧面(图5中是左侧的侧面)面滑动接触地，以钩状抱持截面为矩形的导轨8，并且至少不抱持供电导轨8的相反侧的侧面(图5中是右侧的侧面)上的上下方向的中间部，将供电导轨8的不被夹持工具4的导轨滑动卡合部10抱持的侧面部构成为开放侧面部8c。另外，在图5中，附图标记12所示的阳极配置于在电镀处理工序中输送的薄基板P的两侧。该垂直输送式连续电镀处理装置的润滑脂供给系统与图1至图3所示的水平输送式连续电镀处理装置的润滑脂供给系统实际相同。虽然重复，但说明润滑脂供给系统的主要结构。
如图4、图5和图3所示，该润滑脂供给系统在供电导轨8的基板搬入侧的位置，在该供电导轨8的上表面形成使润滑脂出口 15b成为开口的润滑脂储存槽15，将与该润滑脂储存槽15相通的润滑脂注入口 15a形成在该供电导轨8的上述开放侧面部Sc，将上述供电导轨8的上述润滑脂注入口 15a和配设在安全且容易操作的远程位置的润滑脂注入器具20的润滑脂排出口 20a借助能改变管路的挠性润滑脂供给管22相连通，自上述润滑脂注入器具20经由润滑脂供给管22供给到上述润滑脂注入口 15a，自该润滑脂注入口 15a供给到上述润滑脂储存槽15内的润滑脂G从上述润滑脂出口 15b自导轨的上表面向上慢慢溢出。供给到供电导轨8的上表面上的润滑脂由通过该位置而移动的夹持工具4自导轨的上表面传递到导轨两侧面。在图4中，将润滑脂储存槽15的形成位置设置为供电导轨8的基板搬入侧的一处位置，但也可以设置在沿供电导轨8的长度方向空开了间隔的多个位置。垂直输送式连续电镀处理装置的润滑脂供给系统的其他特征与已述的水平输送式连续电镀处理装置的润滑脂供给系统的特征实际相同，所以省略重复的说明。附图标记说明P、薄板状被处理物(薄基板)；1、输送通路；3、3、输送驱动带；3a、3a、直线驱动路径部；4、夹持工具；5、处理槽(电解电镀处理槽);F、处理液(电镀处理液)；8、固定导轨(供电导轨)；8c、开放侧面部；10、导轨滑动卡合部；11、夹持接点部；lla、上夹持接点部；llb、下夹持接点部；15、润滑脂储存槽；15a、润滑脂注入口 ；15b、润滑脂出口 ；20、润滑脂注入器具；
22、润滑脂供给管；G、润滑脂；31、固定夹持杆；32、可动夹持杆；33、压缩弹簧。
权利要求
1.一种输送式连续电镀装置的润滑脂供给系统，其中，该输送式连续电镀装置是水平输送式连续电镀装置，其在将薄板状被处理物的输送通路夹在中间的两侧，分别配设有具有呈环状旋转驱动的输送驱动带的输送部件，在该输送驱动带上空开等间隔地安装有许多夹持工具，利用在将所述输送通路夹在中间且彼此平行的内侧的直线驱动路径部上移动的多个夹持工具，从上下方向夹持具有平行的两侧缘部的挠性的薄板状被处理物的两侧缘部，在使该薄板状被处理物的板面朝向上下方的水平状态下，在处理槽的电解处理液中向一方向连续地水平输送该薄板状被处理物，在该水平输送的过程中，对经过所述夹持工具被供给阴极电流的该薄板状被处理物的表面实施电解电镀处理，在将所述输送通路夹在中间且彼此平行的内侧的直线驱动路径部上移动的多个夹持工具构成为与固定导轨滑动接触地移动，该固定导轨分别与该直线驱动路径部平行地配置，所述夹持工具包括导轨滑动卡合部，其与所述固定导轨滑动接触；夹持接点部，其能够在比该导轨滑动卡合部靠下方的下端部从上下方向夹持薄板状被处理物的侧缘部，该导轨滑动卡合部形成为下述构造以至少与固定导轨的上表面和该固定导轨的输送通路侧的侧面进行面滑动接触的方式，以大致C字形抱持截面为矩形的导轨，并且至少不抱持固定导轨的位于输送通路的相反侧的侧面上的上下方向的中间部，将固定导轨的不被夹持工具的导轨滑动卡合部抱持的侧面部构成为开放侧面部，在所述固定导轨的一处位置或多处位置，在该导轨的上表面形成有使润滑脂出口为开口的润滑脂储存槽，将与该润滑脂储存槽相通的润滑脂注入口形成在该导轨的所述开放侧面部，使所述导轨的所述润滑脂注入口和配设在远程位置的润滑脂注入器具的润滑脂排出口借助挠性的润滑脂供给管相连通，自所述润滑脂注入器具经由润滑脂供给管注入到所述润滑脂注入口，自该润滑脂注入口供给到所述润滑脂储存槽内的润滑脂从所述润滑脂出口自导轨上表面向上溢出。
2.根据权利要求1所述的输送式连续电镀装置的润滑脂供给系统，其中，使所述固定导轨作为供电导轨而发挥功能。
3.—种输送式连续电镀装置的润滑脂供给系统，其中，该输送式连续电镀装置是垂直输送式连续电镀装置，其利用夹持工具以悬吊状态夹持被进行电镀处理的印刷电路板等薄板状被处理物的上缘部，所述夹持工具横向移动自由地悬挂支承于水平配置的作为阴极棒发挥功能的供电导轨，自所述供电导轨经由所述夹持工具对利用所述夹持工具以悬吊状态悬挂的所述薄板状被处理物在薄板状被处理物的上缘部供电，并且沿该供电导轨在处理槽的电解处理液中沿水平方向以该薄板状被处理物的板面与输送方向平行的横向姿势，连续输送该薄板状被处理物，并且进行电镀处理，所述夹持工具包括导轨滑动卡合部，其与所述供电导轨滑动接触且横向移动自由地悬挂支承于该供电导轨；多个夹持接点部，它们能够在比该导轨滑动卡合部靠下方的位置夹持薄板状被处理物的上缘部；该导轨滑动卡合部形成为下述抱持构造，即，至少与供电导轨的上表面和该供电导轨的一方侧面进行面滑动接触地，与截面为矩形的供电导轨滑动接触且横向移动自由地悬挂支承于该供电导轨的抱持构造，并且该导轨滑动卡合部形成为至少不抱持供电导轨的相反侧的侧面上的上下方向的中间部的构造，将供电导轨的不被夹持工具的导轨滑动卡合部抱持的侧面部构成为开放侧面部， 在所述供电导轨的ー处位置或多处位置，在该供电导轨的上表面形成使润滑脂出口成为开ロ的润滑脂储存槽，将与该润滑脂储存槽相通的润滑脂注入ロ形成在该供电导轨的所述开放侧面部， 使所述供电导轨的所述润滑脂注入口和配设在远程位置的润滑脂注入器具的润滑脂排出ロ借助挠性的润滑脂供给管相连通，自所述润滑脂注入器具经由润滑脂供给管注入到所述润滑脂注入ロ，自该润滑脂注入口供给到所述润滑脂储存槽内的润滑脂从所述润滑脂出口自导轨的上表面向上溢出。
4.根据权利要求1或3所述的输送式连续电镀装置的润滑脂供给系统，其中， 使所述润滑脂出口形成为沿所述夹持工具的移动方向较长的细长的开ロ形状。
5.根据权利要求1或3所述的输送式连续电镀装置的润滑脂供给系统，其中， 使所述润滑脂出口的开ロ面积形成为比所述润滑脂注入ロ的开ロ面积大，以使所述润滑脂注入ロ处的润滑脂注入压カ在所述润滑脂储存槽内减压，使减压后的润滑脂自所述润滑脂出ロ在导轨上表面上慢慢且均匀地溢出而隆起。
全文摘要
本发明提供一种能够使与作为供电导轨而发挥功能的固定导轨滑动接触且被该固定导轨引导而移动的夹持工具的行走稳定化，并且能够使自该导轨向夹持工具稳定地供电的、适用于润滑脂涂敷作业危险且困难的导轨位置的润滑脂供给系统。在固定导轨(8)的上表面形成使润滑脂出口(15b)为开口的润滑脂储存槽(15)，将与该润滑脂储存槽相通的润滑脂注入口(15a)形成在该导轨的开放侧面部(8c)，将导轨的润滑脂注入口和配设在远程位置的润滑脂注入器具(20)的润滑脂排出口借助挠性的润滑脂供给管(22)相连通，自该润滑脂注入口供给到润滑脂储存槽内的润滑脂从润滑脂出口慢慢溢出到导轨的上表面。
文档编号C25D17/00GK103046106SQ201210382939
公开日2013年4月17日 申请日期2012年10月11日 优先权日2011年10月12日
发明者长仓正次 申请人:丸仲工业株式会社