一种机械滚动研磨酸性电镀铜的摇摆装置制造方法

文档序号:5284080阅读:558来源:国知局
一种机械滚动研磨酸性电镀铜的摇摆装置制造方法
【专利摘要】本发明公开了一种机械滚动研磨酸性电镀铜的摇摆装置,其结构特点是:竖直振动器的振荡部件连接传动杆,传动杆连接传动板,传动板插入水平放置的轴承支撑板的槽中,并将两个轴承固定于轴承支撑板槽口的两个侧面的中央位置的通孔中,轴承支撑杆的两端分别固定于固定支架上,在轴承支撑板上固定设置试样台,试验台和轴承支撑板的重心位于同一条垂直水平面的直线上,在试样台上平行于轴承支撑杆上的两端分别固定设置一固定杆,并且在固定杆另一头固定一根固定线。本发明的技术效果是:结构简单,成本低,容易操作,使用方便,可使得镀槽中的直径为6mm的玻璃小球在试样表面做以滚动为主的运动,使得镀铜层晶粒尺寸显著减小。
【专利说明】一种机械滚动研磨酸性电镀铜的摇摆装置

【技术领域】
[0001]本发明涉及在酸洗镀铜过程中,使研磨小球在试样表面做滚动运动的酸洗镀铜装置,具体涉及一种机械滚动研磨酸性电镀铜的摇摆装置。

【背景技术】
[0002]目前在国内外,在电镀槽液中添加一定数量的玻璃小球,在电镀过程中,使整个镀槽上下或水平振荡,电镀过程中小球在试样表面上下或水平振荡,使得镀层的平均晶粒尺寸值减少,光亮性和致密度提高。但是,当小球在试样表面上下振荡时,小球不易左右运动,使得镀层厚度的不均匀性提高。当小球随镀槽水平振荡时,小球容易在试样表面产生划动,也使镀层厚度的不均匀性提高,容易在镀层表面产生小球划动留下的痕迹,涂层的均匀性下降。
[0003]本发明采用竖直振荡器配合水平试验台,使电镀槽在试验台上做小角度摇摆运动,这样就可以使电镀槽中试样表面的玻璃小球做以滚动为主的运动,使小球在试样表面运动均匀,且不会留下运动痕迹,最终使镀层表面厚度均匀,致密性提高。


【发明内容】

[0004]本发明的目的在于提供一种在酸洗电镀铜层的过程中,使槽液中的小球在试样表面做滚动运动为主的实验装置。
[0005]本发明是这样来实现的,一种机械滚动研磨酸性电镀铜的摇摆装置,主要包括竖直振荡器、传动杆、传动板、轴承支撑板、摇动定位钢丝、轴承、轴承支撑杆、固定支架、试样台、固定杆和固定线;其特征在于:竖直振动器的振荡部件竖直连接传动杆的一端,在传动杆的另一端水平连接传动板的一端,传动板的另一端插入水平放置的轴承支撑板的槽中,在轴承支撑板槽口处平行于槽口两长边的方向分别固定一根摇动定位钢丝,在轴承支撑板槽口左右的两个侧面的中央位置打一个通孔,并将两个轴承固定于通孔中,将轴承支撑杆插入轴承中并与轴承内环固定紧,轴承支撑杆的两端分别固定于固定支架上,在轴承支撑板上固定设置试样台,试验台和轴承支撑板的重心位于同一条垂直水平面的直线上,在试样台上平行于轴承支撑杆上的两端分别固定设置一固定杆,并且在固定杆另一头固定一根固定线。
[0006]进一步的,所述传动杆长度为30cm,直径为1.5cm。
[0007]进一步的,所述传动板长为5cm,宽为3cm,高为0.2cm。
[0008]进一步的,所述轴承支撑板长为12cm,宽为6cm,高为4cm。
[0009]进一步的,所述传动板插入水平放置的轴承支撑板的槽的深度为0.4cm。
[0010]进一步的,所述轴承支撑板的槽长为6cm,宽度为2cm,深为0.5cm。
[0011]进一步的,所述摇动定位钢丝长度为3cm。
[0012]进一步的,所述两根摇动定位钢丝5间距为0.2cm。
[0013]进一步的,所述通孔的直径为3cm。
[0014]进一步的,所述轴承外直径为3cm,内直径为1.5cm,高为1.5cm。
[0015]进一步的,所述两个轴承的间距为3cm。
[0016]进一步的,所述轴承支撑杆长度为20cm,直径为1.5cm。
[0017]进一步的,所述试样台长为15cm,宽为15cm,高为3cm。
[0018]进一步的,所述固定杆高为4cm。
[0019]本发明的技术效果是:结构简单,成本低,容易操作,使用方便,可使得镀槽中的直径为6mm的玻璃小球在试样表面做以滚动为主的运动,使得镀铜层晶粒尺寸显著减小。

【专利附图】

【附图说明】
[0020]图1为本发明的结构示意图。
[0021]在图1中,1、竖直振荡器,2、传动杆,3、传动板,4、轴承支撑板,5、摇动定位钢丝。
6、轴承,7、轴承支撑杆,8、固定支架,9、试验台,10、固定杆,11、固定线。

【具体实施方式】
[0022]如图1所示,本发明是这样来实现的,一种机械滚动研磨酸性电镀铜的摇摆装置,主要包括竖直振荡器1、传动杆2、传动板3、轴承支撑板4、摇动定位钢丝5、轴承6、轴承支撑杆7、固定支架8、试样台9、固定杆10和固定线11 ;其特征在于:竖直振动器I的振荡部件竖直连接一根长为30cm直径为1.5cm传动杆2,使传动杆2在振荡器竖直振荡时也做竖直振荡,在传动杆2的另一端水平连接一块长为5cm宽为3cm高为0.2cm的传动板3的一端,将传动板3的另一端插入长为12cm宽为6cm高为4cm的水平放置的轴承支撑板4的槽中,插入深度为0.4cm左右,该槽的长为6cm宽度为2cm深为0.5cm,且该槽上下左右的边距该槽所在的轴承支撑板4的侧面的周边距离分别为lCm、lCm、3Cm和3cm。在轴承支撑板4槽口处平行于槽口两长边的方向分别固定一根长为3cm摇动定位钢丝5,两根摇动定位钢丝5间距为0.2cm,其距槽口长边的距离相等。在轴承支撑板4槽口左右的两个侧面的中央位置打一个直径为3cm的通孔,并将两个外直径为3cm内直径为1.5cm高为1.5cm的轴承6固定于通孔中,两个轴承6的间距为3cm。将一根长度为20cm直径为1.5cm的轴承支撑杆7插入轴承6中并与轴承7内环固定紧,轴承支撑杆7的两端分别固定于固定支架8上。在轴承支撑板4上固定一长为15cm宽为15cm高为3cm的试样台9,试验台9和轴承支撑板4的重心位于同一条垂直水平面的直线上。在试样台9上平行于轴承支撑杆7上的两端分别固定一高为4cm固定杆10,并且在固定杆10另一头固定一根固定线11。
[0023]实验过程中将镀铜槽固于试验台上,该装置利用竖直振荡器垂直振动,振幅10mm,使支撑板做与水平线夹角为小角度的摆动运动,使得直径为6mm的小球在实验镀槽中试样表面上,做以滚动为主的运动。
【权利要求】
1.一种机械滚动研磨酸性电镀铜的摇摆装置,主要包括竖直振荡器、传动杆、传动板、轴承支撑板、摇动定位钢丝、轴承、轴承支撑杆、固定支架、试样台、固定杆和固定线;其特征在于:竖直振动器的振荡部件竖直连接传动杆的一端,在传动杆的另一端水平连接传动板的一端,传动板的另一端插入水平放置的轴承支撑板的槽中,在轴承支撑板槽口处平行于槽口两长边的方向分别固定一根摇动定位钢丝,在轴承支撑板槽口左右的两个侧面的中央位置打一个通孔,并将两个轴承固定于通孔中,将轴承支撑杆插入轴承中并与轴承内环固定紧,轴承支撑杆的两端分别固定于固定支架上,在轴承支撑板上固定设置试样台,试验台和轴承支撑板的重心位于同一条垂直水平面的直线上,在试样台上平行于轴承支撑杆上的两端分别固定设置一固定杆,并且在固定杆另一头固定一根固定线。
【文档编号】C25D5/22GK104404579SQ201410716720
【公开日】2015年3月11日 申请日期:2014年12月2日 优先权日:2014年12月2日
【发明者】冯长杰, 王春霞, 周雅, 杜楠 申请人:南昌航空大学
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