微气泡发生器的微探针电化学研磨装置制造方法
【专利摘要】本实用新型涉及一种微气泡发生器的微探针电化学研磨装置，包括电解槽和监控电路；电解槽内设有有机玻璃支架；有机玻璃支架上部设有挡板，挡板的中心设有针孔；有机玻璃支架与电解槽之间设有金属铜片；钨丝探针由导线连接实时监控电路；监控电路包括反馈电路和信号发生器；反馈电路由顺序连接的采样器、微分器、比较器、延时器、锁存器、控制开关和直流稳压电源组成，采样器连接三极管的集电极；信号发生器的正极连接三极管的基极，负极和金属铜片连接；钨丝探针与三极管的发射极连接，该装置更具可控性和可靠性；通过有机玻璃架可直接影响针头部分的残余电流的分布，提高针尖的质量，反馈电路的实时监控又可提升高品质形成的效率。
【专利说明】微气泡发生器的微探针电化学研磨装置
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种微探针电化学研磨装置，具体涉及一种微气泡发生器的微探针电化学研磨装置。
【背景技术】
[0002]目前探针的电化学腐蚀过程中，多数采取电解钨丝，传统的方法是钨丝作为阳极，不锈钢作为阴极，在KOH或NaOH溶液中进行电解。这种方法简单易行，且制备高质量的探针成功率较高。但是，也有其不足之处:(I)在钨丝被腐蚀过程中，会有残余电流使针尖质量变差；(2)由于钨丝在腐蚀过程中无法进行实时监控，对制备的探针针尖形状很难控制，获得高品质曲率半径微探针的偶然性较大。
实用新型内容
[0003]为了解决上述问题，本实用新型提出了一种微气泡发生器的微探针电化学研磨装置，与目前使用的电化学研磨装置相比更具有可控性和可靠性；通过有机玻璃架可直接影响针头部分的残余电流的分布，提高针尖的质量，与此同时，反馈电路的实时监控又可提升闻品质形成的效率。
[0004]本实用新型是通过以下技术方案实现的:一种微气泡发生器的微探针电化学研磨装置，包括盛装电解液的电解槽和实时监控钨丝探针腐蚀过程的监控电路；所述电解槽内设有一个纵截面为H型的有机玻璃支架；所述有机玻璃支架包括一个圆筒形主体，主体的上部设有圆形挡板，挡板的中心设有一个能够穿入钨丝探针的针孔；所述有机玻璃支架与电解槽之间设有纵截面为L形的金属铜片；所述钨丝探针由导线连接实时监控电路；所述监控电路包括一个反馈电路，和连接到该反馈电路的信号发生器；所述反馈电路由顺序连接的采样器、微分器、比较器、延时器、锁存器、控制开关和直流稳压电源组成，其中采样器由导线连接三极管的集电极；所述信号发生器的正极由导线连接三极管的基极，负极由导线和金属铜片连接；钨丝探针与三极管的发射极连接。
[0005]所述针孔的直径为10mm。
[0006]在电解过程中，钨丝探针穿过针孔进入电解液进行化学研磨；反馈电路通过即时采集到的电流或电压信息做出即时的控制，实现对钨丝探针腐蚀过程的实时监控。
[0007]使用时，先将监控电路连接好，通上电后，通过调节信号发生器的电压、频率和占空比来控制电化学研磨的状态，再由反馈电路的实时监控来判断电解情况，最终制备出高质量的钨丝探针。
[0008]本实用新型的有益效果在于:一种微气泡发生器的微探针电化学研磨装置，与目前使用的电化学研磨装置相比更具有可控性和可靠性；通过有机玻璃架可直接影响针头部分的残余电流的分布，提高针尖的质量，与此同时，反馈电路的实时监控又可提升高品质形成的效率。【专利附图】
【附图说明】
[0009]下面结合附图及实施例对本实用新型作进一步说明。
[0010]附图1为一种微气泡发生器的微探针电化学研磨装置的结构原理图。
[0011]图中，1.电解槽，2.有机玻璃支架，3.金属铜片，4.钨丝探针，5.监控电路，5-1.三极管，5-2.米样器,5-3.微分器,5-4.比较器,5-5.延时器,5-6.锁存器,5-7.控制开关，5-8.直流稳压电源，5-9.信号发生器。
【具体实施方式】
[0012]在附图中，一种微气泡发生器的微探针电化学研磨装置，包括盛装电解液的电解槽I和实时监控钨丝探针4腐蚀过程的监控电路5 ;所述电解槽I内设有一个纵截面为H型的有机玻璃支架2 ;所述有机玻璃支架2包括一个圆筒形主体，主体的上部设有圆形挡板，挡板的中心设有一个能够穿入钨丝探针4的针孔；所述有机玻璃支架2与电解槽I之间设有纵截面为L形的金属铜片3 ;所述钨丝探针4由导线连接实时监控电路5 ;所述监控电路5包括一个反馈电路，和连接到该反馈电路的信号发生器5-9 ;所述反馈电路由顺序连接的米样器5-2、微分器5-3、比较器5-4、延时器5-5、锁存器5_6、控制开关5_7和直流稳压电源5-8组成，其中采样器5-2由导线连接三极管5-1的集电极；所述信号发生器5-9的正极由导线连接三极管5-1的基极，负极由导线和金属铜片3连接；钨丝探针4与三极管5-1的发射极连接。
[0013]所述针孔的直径为10mm。
[0014]在电解过程中，钨丝探针4穿过针孔进入电解液进行化学研磨；反馈电路通过即时采集到的电流或电压信息做出即时的控制，实现对钨丝探针4腐蚀过程的实时监控。
[0015]使用时，先将监控电路5连接好，通上电后，通过调节信号发生器5-9的电压、频率和占空比来控制电化学研磨的状态，再由反馈电路的实时监控来判断电解情况，最终制备出高质量的鹤丝探针4。
【权利要求】
1.一种微气泡发生器的微探针电化学研磨装置，其特征是，包括盛装电解液的电解槽(I)和实时监控钨丝探针(4 )腐蚀过程的监控电路(5 );所述电解槽(I)内设有一个纵截面为H型的有机玻璃支架(2);所述有机玻璃支架(2)包括一个圆筒形主体，主体的上部设有圆形挡板，挡板的中心设有一个能够穿入钨丝探针(4)的针孔；所述有机玻璃支架(2)与电解槽(I)之间设有纵截面为L形的金属铜片(3);所述钨丝探针(4)由导线连接实时监控电路(5);所述监控电路(5)包括一个反馈电路，和连接到该反馈电路的信号发生器(5-9);所述反馈电路由顺序连接的采样器(5-2)、微分器(5-3)、比较器(5-4)、延时器(5-5)、锁存器(5-6)、控制开关(5-7)和直流稳压电源(5-8)组成，其中采样器(5-2)由导线连接三极管(5-1)的集电极；所述信号发生器(5-9)的正极由导线连接三极管(5-1)的基极，负极由导线和金属铜片(3)连接；钨丝探针(4)与三极管(5-1)的发射极连接。
2.根据权利要求1所述的一种微气泡发生器的微探针电化学研磨装置，其特征是，所述针孔的直径为(10) mm。
【文档编号】C25F3/08GK203700577SQ201420095117
【公开日】2014年7月9日 申请日期:2014年3月4日 优先权日:2014年3月4日
【发明者】许玲丽, 王利军 申请人:中国矿业大学