专利名称：一种卧式干式真空泵的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及抽真空技术领域，特别涉及一种卧式干式真空泵。
背景技术：
目前市场上已经有一些干式真空泵，干式真空泵易于维护、操作简便且能获得清洁的真 空环境，所以被广泛的应用于许多行业。为了获得高真空环境，现在国内大量使用的是高真 空机组，即及主泵需配前级泵，且在联结时需大量管路和阀门。采用高真空机组，不仅需考 虑各种真空泵的工作压力范围，而且系统中的真空泵、连接管道、阀门、真空计等辅助元件 以及它们的控制单元使得这套系统成本很高。典型的高真空系统至少额外需要三个阔门和一 个旁通管路。在半导体工厂中，前级真空泵一般都安装在生产车间的下一层，使得前级泵的 抽速损耗加大很多，因此必须选用昂贵的、性能好的泵。此外，在现代工业中的一些真空应 用场合，如太阳能电池设备、半导体器件制备、小型精密实验设备等，由真空泵机组带来的 占用空间庞大、维护麻烦、抽气效率损失等问题，影响了工艺的进行。
实用新型内容
为解决以上装置的不足，本实用新型提供一种可达到高真空且直排大气无需前级泵的真 空泵。
本实用新型结构设计是这样实现的， 一种卧式干式真空泵，包括主泵体，电机、转子和 定子，定子由牵引定子和旋涡定子组成，牵引定子包括螺旋肋筋和螺旋槽，螺旋助筋设在牵 引定子内外壁上，螺旋肋筋间构成牵引风流槽，螺旋槽分布在牵引定子内外壁上，旋涡定子 由两个半圆空腔对接构成，旋涡定子的最外级设有排气道；转子由牵引转子、螺旋转子和旋 涡转子组成，牵引转子为盘形，牵引转子的上平面设有一凸台，凸台中心有一通孔，凸台圆 周外侧的平面上具有至少一层环形圆板，螺旋转子外表面设有径向螺旋叶，旋涡转子为叶轮 形式，在旋涡转子的圆周上设有沟槽，沟槽之间用薄板隔开。
所述的旋涡定子由两个半圆空腔对接构成，空腔呈"凸"字形，较大的一头靠近定子外 壁，称为抽气腔；较小的一头通至轴心位置，用于安装叶轮转子，称为装配腔。-
所述的沟槽为矩形或近四分之一圆形或半圆形。
所述的径向螺旋叶的叶型为渐开线型或阿基米德螺线型。
本实用新型与已有技术相比有如下优点该种干泵可以获得高真空环境，且可从大气压
开始工作，直至将环境压力抽至高真空段，真空度能够达到10—3Pa，避免了使用真空机组获得高真空环境所带来的一系列问题。
图l为本实用新型结构示意图2是螺旋转子结构示意图3是旋涡转子结构示意图4是牵引转子结构示意图5是牵引定子结构示意图6是旋涡定子结构示意图中l.压盖，2.入口， 3.主泵体，4岸引定子，5.螺旋转子，6.牵引转子，7.旋涡转子， 8.水冷管，9.旋涡定子，IO.排气口， ll.地脚，12.底座，13.油箱，14.主轴，15.电机，16.电机 壳体，17.甩油盘，18.螺旋叶，19.沟槽，20.环形圆板，21.凸台，22.螺旋肋筋，23.螺旋槽， 24.抽气腔，25.装配腔。
具体实施方式
结合附图对本实用新型做进一步描述-该真空泵采用卧式结构，包含有连接在主轴14上的转动部分、泵体、电机15、油箱13 以及支撑部分。主轴14采用悬臂式，即支撑点(轴承)在主轴14的一侧；电机15与主轴 14采用直联式；与主轴14相连的部分包括螺旋转子5、牵引转子6、旋涡转子7;泵体部分 包括主泵体3、牵引定子4以及旋涡定子9。其中主泵体3为零件中尺寸最大的部分，起到支 撑和连接的作用，其他部分的泵体均与其连接。主泵体3的一端为轴承座，另一端内壁加工 为多头的同轴螺旋槽23，作为牵引定子4的最外层。主泵体3的中间部位开设进气口。旋涡 定子9设为分体式，即由两个半圆空腔对接构成，旋涡定子的沿圆周方向上有环形抽气通道。 旋涡定子9部分与主泵体3相连，其外壁上铺设水冷管8。旋涡转子7装配在主轴14的最右 端，为叶轮形式，在旋涡转子7的圆周上均匀开有近四分之一圆形的沟槽19，沟槽19之间 用薄板隔开。沟槽19与旋涡定子9的环形槽部分相配和，当旋涡转子7高速转动时叶轮不断 搅动环形槽内的气体，使其内的气体形成连续涡流，并沿旋涡转子7转动方向流动。连接在 主轴14上的另一部分为牵引转子6，该转子设为盘形，在其外端设有两个同心环形圆板20， 与牵引定子4的螺旋槽23构成环形抽气通道。牵引定子4与牵引转子6的两个环形圆板20 相配和，其外壁均加工出多头的同心螺旋槽23。主轴14上紧靠牵引转子6的为螺旋转子5， 其外表面设有径向螺旋叶18,叶型是渐开线型或阿基米德螺线型。螺旋转子5与定子部分成螺旋导流通道，气体沿该通道向下游压縮排气；牵引转子6与牵引定子4上的螺旋槽23将 气体隔绝成沿圆周方向上的多条螺旋气流，当牵引转子6高速旋转时带动螺旋槽23内气体沿 牵引转子6转动方向迁移，将气体导至下游至旋涡级的入口；在旋涡级中，快速旋转的叶轮 将动量传递给气体，使气体形成沿叶轮旋转方向的涡流，由于气体与叶轮的反复接触将能量 不断传递给气体使气体得以压縮最终排出。
电机壳体16与主泵体3相连，壳体外壁铺设水冷管8。电机转子与主轴14直接相连，定 子过盈装配在电机壳体16内。轴承设在电机15两端，采用油润滑方式。油箱13与电机壳体 16相连，与油箱13相对应的轴上装有甩油盘17，润滑油从油箱13经轴承至电机壳体16后 回油。
权利要求1.一种卧式干式真空泵，包括主泵体，电机、转子和定子，其特征在于定子由牵引定子和旋涡定子组成，牵引定子包括螺旋肋筋和螺旋槽，螺旋肋筋设在牵引定子内外壁上，螺旋肋筋间构成牵引风流槽，螺旋槽分布在牵引定子内外壁上，旋涡定子由两个半圆空腔对接构成，旋涡定子的最外级设有排气道；转子由牵引转子、螺旋转子和旋涡转子组成，牵引转子为盘形，牵引转子的上平面设有一凸台，凸台中心有一通孔，凸台圆周外侧的平面上具有至少一层环形圆板，螺旋转子外表面设有径向螺旋叶，旋涡转子为叶轮形式，在旋涡转子的圆周上设有沟槽，沟槽之间用薄板隔开。
2. 根据权利要求1所述的一种卧式干式真空泵，其特征在于所述的旋涡定子由两个半圆空腔 对接构成，空腔呈"凸"字形。
3. 根据权利要求1所述的一种卧式干式真空泵，其特征在于所述的沟槽为矩形或近四分之一 圆形或半圆形。
4. 根据权利要求1所述的一种卧式干式真空泵，其特征在于所述的径向螺旋叶的叶型为渐开 线型或阿基米德螺线型。
专利摘要一种卧式干式真空泵，涉及真空技术，它针对现有真空设备不能同时满足高真空和直排大气的技术弊病。公开一种卧式干式真空泵，包括主泵体，电机、转子和定子，定子由牵引定子和旋涡定子组成，牵引定子包括螺旋肋筋和螺旋槽，旋涡定子由两个半圆空腔对接构成，旋涡定子的最外级设有排气道；转子由牵引转子、螺旋转子和旋涡转子组成，牵引转子为盘形，牵引转子的上平面设有一凸台，凸台圆周外侧具有环形圆板，螺旋转子外表面设有径向螺旋叶，旋涡转子为叶轮形式，在旋涡转子的圆周上设有沟槽，沟槽之间用薄板隔开。该泵用于获得真空环境，且可从大气压开始工作，直至将环境压力抽至高真空段，避免了使用真空机组获得高真空环境所带来的一系列问题。
文档编号F04D19/00GK201292961SQ20082021878
公开日2009年8月19日 申请日期2008年10月31日 优先权日2008年10月31日
发明者坤 刘, 巴德纯, 常学森, 瑶 陈 申请人:东北大学;成都南光机器有限公司