专利名称：一种真空泵用排气口结构的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及真空技术领域，具体说是涉及一种真空泵，更具体说是一种真空 泵用排气口。
背景技术：
在IC装备工艺、制药工艺以及光伏、化工等工艺中，尾气粉尘、颗粒现象普遍，普 通的真空泵排气口多由单个逆止阀组成，粉尘容易在逆止阀密封面和排气口底部堆积，造 成排气口堵塞或逆止阀失效，影响真空泵性能及使用。
实用新型内容为解决上述技术问题，本实用新型的目的是提供一种能有效防止排气口由于粉尘 堆积导致的堵塞和外部气体返流，避免真空泵性能下降的排气阀，具体方案是一种真空泵用排气口结构，包括入口法兰、出口法兰，还包括储尘腔、除尘球阀和 弹簧逆止阀，所述除尘球阀和弹簧逆止阀安装于储尘腔内，所述入口法兰、除尘球阀、弹簧 逆止阀、出口法兰依次串联；所述除尘球阀包括除尘球阀底座、密封球、除尘球阀上盖，所述除尘球阀底座安装 在储尘腔内，所述除尘球阀上盖与除尘球阀底座固接，所述密封球放置在除尘球阀上盖与 除尘球阀底座形成的空间内；所述弹簧逆止阀包括弹簧逆止阀体、弹簧逆止阀阀芯、硫化橡胶圈、弹簧，所述弹 簧逆止阀体安装在储尘腔上部，弹簧逆止阀阀芯放置在弹簧逆止阀体底部，硫化橡胶圈粘 接在弹簧逆止阀阀芯底部与弹簧逆止阀体底部接触，弹簧下部与弹簧逆止阀阀芯抵接，上 部与出口法兰抵接；为便于储尘腔底部储存粉尘，所述除尘球阀底座高于储尘腔底部；为使密封球有足够的空间弹起，所述除尘球阀上盖高度为密封球直径的1. 5倍；为使气流从四周溢出，所述除尘球阀上盖四周密布通气槽孔；为避免频繁与阀体接触产生噪音过大，所述密封球的材料为橡胶或聚四氟；为取得更好的技术效果，所述硫化橡胶圈粘接在弹簧逆止阀阀芯底部，在弹簧的 压力作用下与弹簧逆止阀体抵接，起密封作用。本实用新型具有如下优点本实用新型适用于任意真空泵，特别是适用工艺复杂，反应尾气充满粉尘颗粒的 真空泵。防止排气口由于粉尘堆积导致的堵塞和外部气体返流，避免真空泵性能下降。
图1为本实用新型结构示意图。其中1、入口法兰；2、除尘球阀底座；3、密封球；4、除尘球阀上盖；5、出口法兰； 6、弹簧；7、弹簧逆止阀阀芯；8、硫化橡胶圈；9、弹簧逆止阀体；10、储尘腔。
具体实施方式
以下结合附图具体说明本实用新型，如图1所示，本实用新型包括入口法兰1、出 口法兰5，还包括储尘腔10、除尘球阀和弹簧逆止阀，所述除尘球阀和弹簧逆止阀安装于储 尘腔10内，所述入口法兰1、除尘球阀、弹簧逆止阀、出口法兰5依次串联。所述除尘球阀包括除尘球阀底座2、密封球3、除尘球阀上盖4，所述除尘球阀底座 2安装在储尘腔10内，所述除尘球阀上盖4与除尘球阀底座2固接，所述密封球3放置在除 尘球阀上盖4与除尘球阀底座2形成的空间内。所述弹簧逆止阀包括弹簧逆止阀体9、弹簧逆止阀阀芯7、硫化橡胶圈8、弹簧6，所 述弹簧逆止阀体9安装在储尘腔10上部，弹簧逆止阀阀芯7放置在弹簧逆止阀体9底部， 硫化橡胶圈8粘接在弹簧逆止阀阀芯7底部与弹簧逆止阀体9接触，弹簧6下部与弹簧逆 止阀阀芯7抵接，上部与出口法兰5抵接。为便于储尘腔底部储存粉尘，所述除尘球阀底座2高于储尘腔10底部；为使密封球3有足够的空间弹起，所述除尘球阀上盖4高度为密封球3直径的1. 5 倍；为使气流从四周溢出，所述除尘球阀上盖4四周密布通气槽孔；为避免频繁与阀体接触产生噪音过大，所述密封球3的材料为橡胶或聚四氟；为取得更好的技术效果，所述硫化橡胶圈8粘接在弹簧逆止阀阀芯7底部，在弹簧 6的压力作用下可与弹簧逆止阀体9抵接，起密封作用。本实用新型的原理是真空泵尾气从排气管排出时，经过入口法兰1先流经除尘 球阀，可随意滚动的密封球3在气流冲击下弹起，可阻挡气流，使气流向四周喷射，气流中 混杂的粉尘和颗粒经多次撞击后，大部分沉淀在储尘室10中，而密封球3材料为氟橡胶或 聚四氟，所以在滚动过程中与金属碰撞的噪音较小。除去大量粉尘的尾气流随后流经弹簧 逆止阀，从出口法兰5流出真空泵外，当大气压力大于真空泵排气口压力时，弹簧逆止阀关 闭，防止外部气体进入泵内。
权利要求一种真空泵用排气口结构，包括入口法兰、出口法兰，其特征在于还包括储尘腔、除尘球阀和弹簧逆止阀，所述除尘球阀和弹簧逆止阀安装于储尘腔内，所述入口法兰、除尘球阀、弹簧逆止阀、出口法兰依次串联。
2.按权利要求1所述的真空泵用排气口结构，其特征在于所述除尘球阀包括除尘球 阀底座、密封球、除尘球阀上盖，所述除尘球阀底座安装在储尘腔内，所述除尘球阀上盖与 除尘球阀底座固接，所述密封球放置在除尘球阀上盖与除尘球阀底座形成的空间内。
3.按权利要求1所述的真空泵用排气口结构，其特征在于所述弹簧逆止阀包括弹簧 逆止阀体、弹簧逆止阀阀芯、硫化橡胶圈、弹簧，所述弹簧逆止阀体安装在储尘腔上部，弹簧 逆止阀阀芯放置在弹簧逆止阀体底部，硫化橡胶圈粘接在弹簧逆止阀阀芯底部与弹簧逆止 阀体底部接触，弹簧下部与弹簧逆止阀阀芯抵接，上部与出口法兰抵接。
4.按权利要求1所述的真空泵用排气口结构，其特征在于所述除尘球阀底座高于储 尘腔底部。
5.按权利要求1所述的真空泵用排气口结构，其特征在于所述除尘球阀上盖高度为 密封球直径的1.5倍。
6.按权利要求1所述的真空泵用排气口结构，其特征在于所述除尘球阀上盖四周密 布通气槽孔。
7.按权利要求2所述的真空泵用排气口结构，其特征在于所述密封球的材料为氟橡 胶或聚四氟。
8.按权利要求3所述的真空泵用排气口结构，其特征在于所述硫化橡胶圈粘接在弹 簧逆止阀阀芯底部。
专利摘要本实用新型公开一种真空泵用排气口结构，包括入口法兰、出口法兰，其特征在于还包括储尘腔、除尘球阀和弹簧逆止阀，所述除尘球阀和弹簧逆止阀安装于储尘腔内，所述入口法兰、除尘球阀、弹簧逆止阀、出口法兰依次串联。本实用新型具有如下优点1.适用于任意真空泵，特别是适用工艺复杂，反应尾气充满粉尘颗粒的真空泵。2.防止排气口由于粉尘堆积导致的堵塞和外部气体返流，避免真空泵性能下降。
文档编号F04B39/00GK201763568SQ20102022418
公开日2011年3月16日 申请日期2010年6月12日 优先权日2010年6月12日
发明者孔祥玲, 张振厚, 王光玉 申请人:中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司