涡旋真空泵排气口结构的制作方法

文档序号:5433076阅读:262来源:国知局
专利名称:涡旋真空泵排气口结构的制作方法
技术领域
涡旋真空泵排气口结构技术领域[0001]本实用新型属于真空泵领域,具体地说是一种涡旋真空泵排气口结构。
技术背景[0002]目前,国内对无油真空环境要求越来越多,半导体、LED等行业迅速发展,涡旋真空泵作为一种无油真空泵也得到迅速发展。[0003]现有涡旋真空泵在排气时噪音较大,排气口密封差,已无法满足行业迅速发展的要求。实用新型内容[0004]为了解决排气噪音大、排气口密封效果差的问题,本实用新型的目的在于提供一种涡旋真空泵排气口结构。该涡旋真空泵排气口结构排气噪音低,气流脉动冲击小,密封效果好。[0005]本实用新型的目的是通过以下技术方案来实现的[0006]本实用新型包括排气适配器、阀挡、弹簧及橡胶阀芯,其中排气适配器与真空泵密封螺纹连接,阀挡及橡胶阀芯分别安装在排气适配器内的上下两端,所述橡胶阀芯的一端位于排气适配器上排气口的顶部,另一端设有弹簧,该弹簧的顶端与阀挡抵接;在阀挡上方的排气适配器内设有固定阀挡及橡胶阀芯的孔用弹簧挡圈。[0007]其中所述排气适配器内沿轴向设有内径不同的孔,排气口位于最下端,所述排气适配器内与橡胶阀芯接触的面为弧面,该弧面位于排气口的顶部;所述孔用弹簧挡圈、阀挡及橡胶阀芯分别通过排气适配器内壁上的止口定位;所述阀挡由圆盘及其下方的第一锥台组成,在圆盘上周向均布有多个供排气的通孔;所述弹簧的顶端套在第一锥台上、并抵接于圆盘的底面;所述通孔在圆盘径向截面的投影为弧形;所述橡胶阀芯由圆柱及其下方的第二锥台组成,所述弹簧的底端套在第二锥台上、并抵接于圆柱的一面,圆柱的另一面为与排气适配器接触的球面;所述圆柱的外表面周向均布有多个起导向作用的导向块。[0008]本实用新型的优点与积极效果为[0009]本实用新型的排气适配器与真空泵密封螺纹连接,密封性好;利用弹簧使被气体冲开的橡胶阀芯复位,橡胶阀芯采用球面和橡胶材料,与排气适配器完全吻合,减少排气振动和噪声音,密封效果好。


[0010]图1为本实用新型的内部结构示意图;[0011]图2为图1中排气适配器的结构剖视图;[0012]图3为图1中阀挡的主视图;[0013]图4为图3的俯视图;[0014]图5为图1中橡胶阀芯的主视图;[0015]图6为图5的俯视图;[0016]其中1为排气适配器,2为孔用弹簧挡圈,3为阀挡,4为弹簧,5为橡胶阀芯,6为通孔,7为排气口,8为圆盘,9为第一锥台,10为圆柱,11为第二锥台,12为导向块。
具体实施方式
[0017]
以下结合附图对本实用新型作进一步详述。[0018]如图1所示,本实用新型包括排气适配器1、孔用弹簧挡圈2、阀挡3、弹簧4及橡胶阀芯5,其中排气适配器1的下端与真空泵密封螺纹连接,密封性好;阀挡3及橡胶阀芯5分别安装在排气适配器1内的上下两端,所述橡胶阀芯5的一端位于排气适配器1上排气口 7的顶部,另一端设有弹簧4,该弹簧4的顶端与阀挡3抵接;在阀挡3上方的排气适配器1 内设有固定阀挡3及橡胶阀芯5的孔用弹簧挡圈2。[0019]如图2所示,排气适配器1下端外表面设有外螺纹,与真空泵密封螺纹连接;排气适配器1内沿轴向设有内径不同的孔,在孔径改变处形成定位止口,孔用弹簧挡圈2、阀挡3 及橡胶阀芯5分别通过排气适配器1内壁上的止口定位;排气口 7位于排气适配器1内孔的最下端、孔径也最小;所述排气适配器1内与橡胶阀芯5接触的面为弧面,该弧面位于排气口 7的顶部。[0020]如图3、图4所示,阀挡3由圆盘8及其下方的第一锥台9组成,在圆盘8上沿轴向开有多个供排气的通孔6 (本实施例为三个),多个通孔6周向均布,通孔6在圆盘8径向截面的投影为弧形;第一锥台9直径较大的一端在上,直径较小的一端在下,方便与弹簧4连接;所述弹簧4的顶端套在第一锥台9上、并抵接于圆盘8的底面。[0021]如图5、图6所示,橡胶阀芯5由圆柱10及其下方的第二锥台11组成,橡胶阀芯5 倒置在排气适配器1内,即第二锥台11在上、圆柱10在下;其中第二锥台11直径较小的一端在上,直径较大的一端在下,方便与弹簧4连接;所述弹簧4的底端套在第二锥台11上、 并抵接于圆柱10的一面,圆柱10的另一面为与排气适配器1接触的球面。在圆柱10的外表面周向均布有多个起导向作用的导向块12。[0022]本实用新型的工件原理为[0023]不排气时,橡胶阀芯5中圆柱10的球面抵接在排气适配器1内,将排气口 7堵住。 当涡旋真空泵的排气气流经过排气口 7时,冲开橡胶阀芯5排气,弹簧4压缩,气体进入排气适配器内部、由阀挡3上的通孔6排出。当排气完毕后,利用弹簧4的弹力使橡胶阀芯5 复位,橡胶阀芯5上的球面与排气适配器的弧面贴合密封,并减少反流。由于橡胶阀芯5采用球面以及采用橡胶材料与排气适配器1完全吻合,减少排气振动和噪音。
权利要求1.一种涡旋真空泵排气口结构,其特征在于包括排气适配器(1)、阀挡(3)、弹簧(4) 及橡胶阀芯(5),其中排气适配器(1)与真空泵密封螺纹连接,阀挡(3)及橡胶阀芯(5)分别安装在排气适配器(1)内的上下两端,所述橡胶阀芯(5)的一端位于排气适配器(1)上排气口(7)的顶部,另一端设有弹簧G),该弹簧(4)的顶端与阀挡C3)抵接;在阀挡(3)上方的排气适配器⑴内设有固定阀挡⑶及橡胶阀芯(5)的孔用弹簧挡圈O)。
2.按权利要求1所述的涡旋真空泵排气口结构,其特征在于所述排气适配器(1)内沿轴向设有内径不同的孔,排气口(7)位于最下端,所述排气适配器(1)内与橡胶阀芯(5) 接触的面为弧面,该弧面位于排气口(7)的顶部。
3.按权利要求2所述的涡旋真空泵排气口结构,其特征在于所述孔用弹簧挡圈O)、 阀挡( 及橡胶阀芯( 分别通过排气适配器(1)内壁上的止口定位。
4.按权利要求1所述的涡旋真空泵排气口结构,其特征在于所述阀挡(3)由圆盘(8) 及其下方的第一锥台(9)组成,在圆盘(8)上周向均布有多个供排气的通孔(6);所述弹簧 (4)的顶端套在第一锥台(9)上、并抵接于圆盘(8)的底面。
5.按权利要求4所述的涡旋真空泵排气口结构,其特征在于所述通孔(6)在圆盘(8) 径向截面的投影为弧形。
6.按权利要求1所述的涡旋真空泵排气口结构,其特征在于所述橡胶阀芯(5)由圆柱(10)及其下方的第二锥台(11)组成,所述弹簧的底端套在第二锥台(11)上、并抵接于圆柱(10)的一面,圆柱(10)的另一面为与排气适配器(1)接触的球面。
7.按权利要求6所述的涡旋真空泵排气口结构,其特征在于所述圆柱(10)的外表面周向均布有多个起导向作用的导向块(12)。
专利摘要本实用新型属于真空泵领域,具体地说是一种涡旋真空泵排气口结构,包括排气适配器、阀挡、弹簧及橡胶阀芯,其中排气适配器与真空泵密封螺纹连接,阀挡及橡胶阀芯分别安装在排气适配器内的上下两端,橡胶阀芯的一端位于排气适配器上排气口的顶部,另一端设有弹簧,该弹簧的顶端与阀挡抵接;在阀挡上方的排气适配器内设有固定阀挡及橡胶阀芯的孔用弹簧挡圈。本实用新型的排气适配器与真空泵密封螺纹连接,密封性好;本实用新型利用弹簧使被气体冲开的橡胶阀芯复位,橡胶阀芯采用球面和橡胶材料,与排气适配器完全吻合,减少排气振动和噪声音,密封效果好。
文档编号F04C25/02GK202326261SQ20112044691
公开日2012年7月11日 申请日期2011年11月11日 优先权日2011年11月11日
发明者刘在行, 王光玉, 雷震霖 申请人:中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司
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