一种单晶炉真空泵废油收集系统的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及到单晶硅生产领域，具体的说是一种单晶炉真空栗废油收集系统。
【背景技术】
[0002]硅单晶直拉炉正常运行期间，是从炉子上端通入氩气，从炉子下端抽走硅料及掺杂剂在1500度高温状态下挥发的废气，炉内一直处于氩气保护状态，工作压力稳定在15Torr左右的真空状态下，保护炉内的石墨加热器及各种石墨器件和硅料等不因接触外界空气而发生氧化。这一工作状态，要靠真空栗联系不断的工作来保证该条件的实现，每一炉次处于连续的加热状态的时间要在平均要在60个小时左右，真空栗栗油里会渗入大量的挥发物，拉制2-3炉次后，真空栗栗油性能会明显下降，变得粘稠，需要更换新的栗油保证下一炉次的正常生产，现在更换栗油是靠员工手动将栗油从放油口放出，用小油桶接油，放完后将废油提到废油存放处倒入大的废油桶内，在此期间经常会出现不同程度的废栗油泄漏和洒落，就需要员工用手去清理，栗油里面有很多有毒有害的物质，并且有挥发性，不可避免的要对人体和环境造成伤害和污染。
【实用新型内容】
[0003]为解决现有技术中真空栗的栗油需要人工进行更换所导致的一系列问题，本实用新型提供了一种单晶炉真空栗废油收集系统，将废真空栗油封闭环境下抽出并集中输送到大废油桶内，避免人为更换栗油过程中的各种泄漏和洒落风险，最大限度的降低换废油过程对人体和环境的伤害和污染。
[0004]本实用新型为解决上述技术问题采用的技术方案为:一种单晶炉真空栗废油收集系统，包括气动隔膜栗、废油桶和废油收集管道，其中，废油收集管道通过若干支管道分别与每个真空栗的放油口连接，并通过废油输送管道与气动隔膜栗的进口连接，气动隔膜栗的出口通过排油管与废油桶连接，在每条支管道上均设置有阀门I，在废油输送管道上设置阀门II，在排油管和气动隔膜栗的压缩空气管道上分别设置有控制阀。
[0005]所述真空栗的放油口与支管道之间通过连接软管连接，该连接软管为外层的塑料软管和内层的钢丝管嵌套而成的双层结构，能够克服真空栗运转时产生的机械震动对管道的损坏，内嵌钢丝管还具有防止因内部真空引起的软管变形的作用。
[0006]所述废油输送管道与气动隔膜栗的进口之间通过连接软管连接，该连接软管为外层的塑料软管和内层的钢丝管嵌套而成的双层结构，能够克服真空栗运转时产生的机械震动对管道的损坏，内嵌钢丝管还具有防止因内部真空引起的软管变形的作用。
[0007]所述排油管与气动隔膜栗的出口之间通过连接软管连接，该连接软管为外层的塑料软管和内层的钢丝管嵌套而成的双层结构，能够克服真空栗运转时产生的机械震动对管道的损坏，内嵌钢丝管还具有防止因内部真空引起的软管变形的作用。
[0008]所述废油收集管道上设置有阻断其与废油输送管道连通的控制阀。
[0009]有益效果:本实用新型通过采用气动隔膜栗、废油收集管道和若干支管道，实现了利用气动隔膜栗将真空栗中的废油自动抽送到废油桶内储存，避免人为更换栗油过程中的各种泄漏和洒落风险，最大限度的降低更换废油过程对人体和环境的伤害、污染；同时，采用特殊的连接软管进行连接，能够克服真空栗运转时产生的机械震动对管道的损坏，内嵌钢丝管还具有防止因内部真空引起的软管变形的作用。
【附图说明】
[0010]图1为本实用新型的结构示意图；
[0011]图2为连接软管的结构示意图；
[0012]附图标记:1、真空栗，2、废油收集管道，3、支管道，4、阀门I，5、控制阀，6、阀门II，
7、废油输送管道，8、气动隔膜栗，9、排油管，10、废油桶，11、压缩空气管道，12、连接软管，1201、塑料软管，1202、钢丝管。
【具体实施方式】
[0013]如图所示，一种单晶炉真空栗废油收集系统，包括气动隔膜栗8、废油桶10和废油收集管道2，其中，废油收集管道2通过若干支管道3分别与每个真空栗I的放油口连接，并通过废油输送管道7与气动隔膜栗8的进口连接，气动隔膜栗8的出口通过排油管9与废油桶10连接，在每条支管道3上均设置有阀门I 4 (处于常闭状态)，在废油输送管道7上设置阀门II 6 (该阀门处于常开状态)，在排油管9和气动隔膜栗8的压缩空气管道11上分别设置有控制阀(处于常闭状态)。
[0014]以上为本实用新型的基本实施方式，可在以上基础上做进一步的改进和优化:
[0015]如，所述真空栗I的放油口与支管道3之间通过连接软管12连接，该连接软管12为外层的塑料软管1201和内层的钢丝管1202嵌套而成的双层结构，能够克服真空栗I运转时产生的机械震动对管道的损坏，内嵌的钢丝管1202还具有防止因内部真空引起的塑料软管1201变形的作用；
[0016]或者，所述废油输送管道7与气动隔膜栗8的进口之间通过连接软管12连接，该连接软管12为外层的塑料软管1201和内层的钢丝管1202嵌套而成的双层结构，能够克服真空栗I运转时产生的机械震动对管道的损坏，内嵌的钢丝管1202还具有防止因内部真空引起的塑料软管1201变形的作用；
[0017]或者，所述排油管9与气动隔膜栗8的出口之间通过连接软管12连接，该连接软管12为外层的塑料软管1201和内层的钢丝管1202嵌套而成的双层结构，能够克服真空栗I运转时产生的机械震动对管道的损坏，内嵌的钢丝管1202还具有防止因内部真空引起的塑料软管1201变形的作用；
[0018]又如，所述废油收集管道2上设置有阻断其与废油输送管道7连通的控制阀5，该阀门处于常开状态。
[0019]下面结合具体实施例对本实用新型的技术方案做进一步的阐述:
[0020]根据本公司的现场实际需求情况，选用QBY3-20PF型不锈钢体气动隔膜栗8作为栗油抽取设备，该栗吸程高达5米，扬程达50米，出口压力3 0.8Mpa，流动宽敞，通过性能好。抽送废油、杂质时，对栗磨损甚微；扬程、流量可通过气阀开度实现无级调节(气压调节在l-7bar之间)所输送的介质不会向外泄漏，所以抽送有毒、易挥发或腐蚀性介质时，不会造成环境污染和危害人身安全；使用方便、工作可靠、开停只需简单地打开和关闭气体阀门，可输送较粘的液体(粘度在I万厘泊以下)，完全能满足现场实际情况需要。用厚壁PVC管道作为废油收集管道2、废油输送管道7、排油管9和支管道3，并按图1所示的结构和位置连接至每一台真空栗I放油口位置。气动隔膜栗8的进出口、真空栗I放油口和PVC管道之间用连接软管12进行连接，可克服真空栗I运转时产生的机械震动对管道的损坏，内嵌钢丝管还具有防止因内部真空引起的软管变形的作用。当某一台真空栗I需要更换废油时，先将气动隔膜栗8的压缩空气管道11上的控制阀打开1/4左右，让气动隔膜栗8工作，然后将废油输送管道7上设置阀门II 6和排油管9上的控制阀打开，将该真空栗I对应的支管道3上的阀门I 4打开，此时废栗油开始源源不断的被抽出，并送至废油桶10，此时可根据流速适当再次通过调整压空进气量来调整气动隔膜栗8工作负荷，调整废栗油流速到一个合适速度。当该真空栗I的废油收集完毕后，让气动隔膜栗8再多运转1-2分钟，将管道中的废油尽可能多的送到废油桶10里，然后关闭该真空栗I对应的管道阀门，关闭废油输送管道7上设置阀门II 6和排油管9上的控制阀，并关闭气动隔膜栗8的压缩空气管道11上的控制阀，废油收集过程结束。整个过程人体不直接接触废栗油，废栗油在管道中封闭流动，直接从真空栗I流动到废栗油桶10，加快了废栗油的收集速度，因为有负压效应，能更多的从栗腔抽出废栗油，废栗油清除更彻底，延长真空栗的使用寿命，避免手动更换栗油过程中的各种泄漏和洒落风险，最大限度的降低换废油过程对人体和环境的伤害和污染。
【主权项】
1.一种单晶炉真空栗废油收集系统，其特征在于:包括气动隔膜栗(8)、废油桶(10)和废油收集管道(2)，其中，废油收集管道(2)通过若干支管道(3)分别与每个真空栗(I)的放油口连接，并通过废油输送管道(7)与气动隔膜栗(8)的进口连接，气动隔膜栗(8)的出口通过排油管(9)与废油桶(10)连接，在每条支管道(3)上均设置有阀门I (4)，在废油输送管道(7)上设置阀门II (6)，在排油管(9)和气动隔膜栗(8)的压缩空气管道(11)上分别设置有控制阀。2.根据权利要求1所述的一种单晶炉真空栗废油收集系统，其特征在于:所述真空栗(I)的放油口与支管道(3)之间通过连接软管(12)连接，该连接软管(12)为外层的塑料软管(1201)和内层的钢丝管(1202)嵌套而成的双层结构。3.根据权利要求1所述的一种单晶炉真空栗废油收集系统，其特征在于:所述废油输送管道(7)与气动隔膜栗(8)的进口之间通过连接软管(12)连接，该连接软管(12)为外层的塑料软管(1201)和内层的钢丝管(1202)嵌套而成的双层结构。4.根据权利要求1所述的一种单晶炉真空栗废油收集系统，其特征在于:所述排油管(9 )与气动隔膜栗(8 )的出口之间通过连接软管(12)连接，该连接软管(12 )为外层的塑料软管(1201)和内层的钢丝管(1202)嵌套而成的双层结构。5.根据权利要求1所述的一种单晶炉真空栗废油收集系统，其特征在于:所述废油收集管道(2 )上设置有阻断其与废油输送管道(7 )连通的控制阀(5 )。
【专利摘要】一种单晶炉真空泵废油收集系统，包括气动隔膜泵、废油桶和废油收集管道，废油收集管道通过若干支管道分别与每个真空泵的放油口连接，并通过废油输送管道与气动隔膜泵的进口连接，气动隔膜泵的出口通过排油管与废油桶连接。本实用新型通过采用气动隔膜泵、废油收集管道和若干支管道，实现了利用气动隔膜泵将真空泵中的废油自动抽送到废油桶内储存，避免人为更换泵油过程中的各种泄漏和洒落风险，最大限度的降低更换废油过程对人体和环境的伤害、污染；同时，采用特殊的连接软管进行连接，能够克服真空泵运转时产生的机械震动对管道的损坏，内嵌钢丝管还具有防止因内部真空引起的软管变形的作用。
【IPC分类】F04B39/00, C30B15/00
【公开号】CN204851592
【申请号】CN201520609234
【发明人】张明亮, 赵险峰, 王松涛, 司鹏辉
【申请人】麦斯克电子材料有限公司
【公开日】2015年12月9日
【申请日】2015年8月14日