专利名称：阀门组的制作方法
技术领域：
本发明涉及化学气相沉积的设备，特别是一真空腔室的阀门组。
背景技术：
在太阳能电池的制造过程中有一段程序是必须要将玻璃基板置入一真空腔室中进行化学气相沉积的加工动作，目前的做法都是采取一次一片的加工方式，也就是说在一片玻璃基板进行完化学气相沉积的加工动作并由真空腔室取出后才会再放入另一片玻璃基板来进行化学气相沉积。这样的加工效率实际上并不高，因为真空腔室要有一定的真空度才能进行加工的动作，而要保持一定的真空度就必须花时间在抽气上，所以真空腔室每打开一次就必须要再花一次时间来抽气，使真空腔室内的气压降低到可以进行加工的真空度，并且在加工完成后又必须先充气使腔室达到一定的气压值才能开启腔室，所以又必须花一次的时间来进行充气，这样的做法从量产的角度来看并不经济，因此有其改进的必要。
发明内容
本发明的主要目的在于提供一阀门组，设置于二真空腔室之间，使该二真空腔室可以透过该阀门组连通并且被区隔成一低真空区以及一高真空区，以减少真空腔室抽气的作业时间。
为达成上述目的，本发明的技术解决方案是
一种阀门组包含有 一壳体，内部具有一容置空间，该壳体设有一贯通部，贯穿该壳体的两相对侧面。该壳体的二侧面分别与一真空腔室连接， 并且使各真空腔室与该贯通部相对。一阀门板，设于该壳体的容置空间内， 可于该容置空间内移动并且可以横断封闭该壳体的贯通部，该阀门板一侧 与该壳体之间设有一止漏件，使该阀门板在关闭后可以保持气密阻隔。一 掣动件，设于该壳体的一侧，该掣动件与该阀门板连接可推动该阀门板沿 一轴向往覆移动。
本发明的阀门组，可以使得高真空腔室在被开启取放基板时不会有太 多的外部气体的进入，如此不但可以减少高真空腔室抽气的时间与成本， 以加快制作流程的时间，也由于进入的气体减少了所以也能降低腔室内被 空气中的悬浮微粒污染的可能，提升产品的质量与稳定性。
图1为本发明与二真空腔室组合后的立体图； 图2为图1的立体分解图3为本发明的立体图。
主要组件符号说明
真空腔室l 壳体io 容置空间ll 贯通部12止漏件20 阀门板30 止漏件31 掣动件40
具体实施例方式
为了说明本发明的特征及功效，以下兹举一实施例配合附图详细说明 如后。
如图所示，本发明阀门组是设置于二真空腔室之间，使该二真空腔室 可以透过该阀门组的开启而连通或关闭而区隔开成二独立且密闭的空间，该阀门组包含有
一壳体IO，内部具有一容置空间ll，该壳体设有一贯通部12，贯穿 该壳体的两相对侧面。该壳体10的二侧面分别与一真空腔室1连接，并 且使各真空腔室与该贯通部相对。
二止漏件20，分别设于该壳体10的两相对侧面并且环绕于该贯通部12。
一阀门板30，设于该壳体10的容置空间内，可于该容置空间11内移 动并且可以横断封闭该壳体的贯通部12，使该壳体10的两侧不连通。该 阀门板30的一侧与该壳体10之间设有一止漏件31，使该阀门板30在关 闭后可以保持气密阻隔。
一掣动件40，设于该壳体10的一侧，该掣动件40与该阀门板30连 接可推动该阀门板30沿一轴向往覆移动。该掣动件40可以是一油压缸、 一气压缸或其它可线性动作的装置。
本发明是以该壳体10的两侧与二真空腔室1分别接合，并且用该等 止漏件20来与真空腔室1贴合气密。以本发明的结构可以使得原本二真 空腔室1透过该阀门组而可以被连通或被区隔成二相邻但独立的密闭空 间，借此，该二密闭空间便可被区隔成一低真空腔室与一高真空腔室，而 使该高真空腔室与外部空间之间如同形成一缓冲区(低真空腔室)。在进 行加工时，待加工料件可由低真空腔室这一端先进入该低真空腔室内，在 关闭低真空腔室的腔门后进行初步的抽气动作， 一段时间之后，再打开该 阀门板30使二真空腔室1连通，再将加工料件送入到高真空腔室内，由 于此时该二真空腔室内的存留气体己被大量的抽出，所以该高真空腔室在 关闭该阀门板30后所需的抽气时间便可以减少。然后，因为在低真空腔 室内仍有余留气体，所以在加工完成后高真空腔室在回充气体的时间也不 需太长即能够到可以开启该二真空腔室间阀门板30的状态，等到待加工 料件回到低真空腔室后，关闭该阀门板30再于该低真空腔室内充气至一定的压力即可开启低真空腔室的腔门，取出加工料件。
通过本发明阀门组的设置可以使得高真空腔室在被开启取放基板时 不会有太多的外部气体的进入，如此不但可以减少高真空腔室抽气的时间 与成本，以加快制作流程的时间，也由于进入的气体减少了所以也能降低 腔室内被空气中的悬浮微粒污染的可能，提升产品的质量与稳定性。
权利要求
1.一种阀门组，设置于二真空腔室之间，其特征在于，包含有一壳体，内部具有一容置空间，该壳体设有一贯通部，贯穿该壳体的两相对侧面，该壳体的二侧面分别与一真空腔室连接，并且使各真空腔室与该贯通部相对；一阀门板，设于该壳体的容置空间内，可于该容置空间内移动并且以横断封闭该壳体的贯通部，使该壳体的两侧不连通，该阀门板一侧与该壳体之间设有一止漏件，使该阀门板在关闭后可以保持气密阻隔；一掣动件，设于该壳体的一侧，该掣动件与该阀门板连接可推动该阀门板沿一轴向往覆移动。
2. 依据权利要求1所述的阀门组，其特征在于，所述壳体包含有二止 漏件，分别设于该壳体的两相对侧面并且环绕于该贯通部。
3. 依据权利要求1所述的阀门组，其特征在于，所述掣动件为一油压缸。
4. 依据权利要求1所述的阀门组，其特征在于，所述掣动件为一气压缸。
全文摘要
本发明一种阀门组，是关于设置于二真空腔室之间的阀门组，包含有一壳体，内部具有一容置空间，壳体设有一贯通部，贯穿壳体的两相对侧面。壳体的二侧面分别与一真空腔室连接，并且使各真空腔室与贯通部相对。一阀门板，设于容置空间内，可于容置空间内移动并且可以横断封闭贯通部，阀门板一侧与壳体之间设有一止漏件，使阀门板在关闭后可以保持气密阻隔。一掣动件，设于壳体的一侧，掣动件与阀门板连接可推动阀门板沿一轴向往覆移动。
文档编号F16K27/04GK101539221SQ200810087339
公开日2009年9月23日 申请日期2008年3月21日 优先权日2008年3月21日
发明者何建立, 叶公旭, 杨正安, 黄明鸿 申请人:东捷科技股份有限公司