专利名称：：涂敷装置的制作方法
技术领域：
：本发明涉及一种涂敷装置，尤其涉及在连续行进的带状体(带状支承体)上涂敷涂敷液从而形成均匀厚度的涂敷膜面的涂敷装置。
背景技术：
：在照相感光材料或磁记录介质等领域中，采用的是在连续行进的带状的挠性支承体(以下称为"带状体")上涂敷规定的涂敷液从而形成涂敷膜的涂敷工序。近年来，在这些领域中，需要能够得到涂敷膜的厚度精度高而且表面平滑的没有涂敷不均的涂敷膜的涂敷技术。同样，即使在适用于光学补偿薄膜、防反射薄膜、防眩性薄膜等具有各种功能的光学薄膜的制造的涂敷工序中，也需要如上所述的涂敷技术。作为将涂敷液涂敷于带状体面的涂敷装置，例如包括滚涂机型、凹板印刷涂敷型、辊涂加刮涂(rollcoatplusdoctor)型、逆转辊式涂布机型、挤出型、滑动式涂布型等，目前根据用途不同而适当地使用。即使在这些任意涂敷装置中，为了得到涂敷膜的厚度精度高而且表面平滑的没有涂敷不均的涂敷膜，除去涂敷时的振动是很重要的。作为除去涂敷时的振动的方法，在专利文献1中公开了将主动式除振装置适用于涂敷部。另外，在专利文献2中还公开了通过向涂敷头供给振动来使带状体与涂敷头之间的距离保持一定的涂敷装置。专利文献l:特开2005—319385号公报专利文献2:特开2004—89896号公报但是，在涂敷部中，除了来自放置涂敷装置的基础的振动以外，由于导辊的偏心或振摆、轴承的振动、驱动体系的振动、干燥风等，沿着带状体的输送方向的张力变动及与输送方向垂直的方向的张力变动有时会引起与涂敷辊成为一体的涂敷装置整体的干扰振动。如果在涂敷装置中发生干扰振动，则该振动引起涂敷液的流动发生变动，结果，成为引起涂敷不均等故障的原因。在这样的状况下，在专利文献1及专利文献2中，对于除去干扰振动而言并不充分，可能会发生涂敷不均。即使为了解决该问题而固定支承涂敷头和带状体的支承辊从而使涂敷头与支承辊的距离保持一定，也难以防止干扰振动的影响引起的涂敷不均。
发明内容本发明正是鉴于这样的情况而提出的，其目的在于，在利用涂敷液供给机构供给涂敷液，同时，在与该涂敷液供给机构隔着规定间隔的位置上，在连续地输送的带状体上形成规定膜厚的涂敷膜的
技术领域：
中，能够通过保持控制体系的稳定性状态不变并消除涂敷装置的振动，来实现可以得到膜厚精度高、表面平滑且没有涂敷不均的涂敷膜的涂敷装置。本发明为了实现所述目的，提供一种涂敷装置，其是具备用外周面支承向纵向行进的长的带状体的支承辊、和与所述支承辊隔着一定间隔对向配置并向带状体供给涂敷液的涂敷液供给部的涂敷装置，其特征在于，具备固定所述涂敷液供给部与所述支承辊而成的支架、和主动式除振装置，该主动式除振装置具备支承所述支架并用于驱动的致动器、检测所述支架的振动的第一传感器、基于所述第一传感器的输出信号来产生用于消除支架的振动的控制输入的反馈控制机构、检测设置有所述支架的基础的振动的第二传感器、基于所述第二传感器的输出信号来产生用于消除基础振动的控制输入的前馈控制机构、检测向所述支架的弹簧上传导的干扰振动的安装于所述支架以外的部位的第三传感器、和基于所述第三传感器的输出信号来产生用于消除带状体引起的振动的控制输入的反馈控制机构。具备主动式除振装置的涂敷装置通过具备第三传感器，可以基于来自第三传感器的振动信息检测向支架的弹簧上传导的干扰振动。可以通过基于该干扰振动的信号产生控制输入，来抑制干扰振动。在本发明的涂敷装置中，可安装所述第三传感器的部位优选是配置于涂敷液供给部的上游的支承带状体的行进的导辊，进而更优选在导辊的两5端设置第三传感器。这是因为，可以测定与带状体输送方向垂直的方向的张力差，可以检测在干扰振动中向支架的z轴周围的旋转方向赋予的力。在本发明的涂敷装置中，优选可安装第三传感器的部位与所述支承辊的距离在10m以下的范围。这是因为，如果支承辊与可安装第三传感器的部位离得过远，则可能在部位与导辊之间发生用第三传感器检测出的振动以外的振动。这是因为，如果发生检测振动以外的振动，则不能向涂敷装置赋予正确的减振力。在本发明的涂敷装置中，优选所述第三传感器检测带状体的张力、加速度、速度、位移的变动或导辊支承部的加速度、速度、位移变动、旋转加速度、旋转速度以及转数的至少一个信息作为带状体的振动信息。这是因为，如果正确理解了包括导辊的转数的带状体的任何状态，则可以从该状态预见带状体引起的干扰振动。在本发明的涂敷装置中，产生用于消除弹簧上的干扰振动的控制输入的控制机构优选为控制带状体的状态变动导致产生的支架的振动的带状体振动控制机构。这是因为，在从上面向支架上直接传递而来的干扰中，带状体引起的干扰最大。在本发明的涂敷装置中，优选带状体振动控制机构根据所述带状体的状态变动而使致动器驱动，以消除在支架产生的干扰振动。在本发明的涂敷装置中，优选所述支架的一次固有振动频率为80Hz以上。在本发明的涂敷装置中，优选设置所述涂敷装置的床面的一次固有振动频率为lOHz以上。通过具有基于第三传感器的振动信息的控制机构，可以实现能够消除带状体引起的涂敷装置的振动，可以得到膜的厚度精度高而且表面平滑的没有涂敷不均的涂敷膜的涂敷装置。图1是说明本发明中的涂敷方法及涂敷装置所适用的光学补偿片的生产线的说明图。图2是表示涂敷装置的设置状态的立体图。图3是表示涂敷头的一部分的缺口立体图。图4是说明主动式除振装置的系统结构的概念图。图5是图4的系统结构中的模块图。图中，IO—涂敷装置，14一导辊，15—支柱，16—带状体，17—支柱，18—涂敷头，20—支承辊，28—涂敷膜，30—支架，31—涂敷头支架，32一主动除振装置，33、42—致动器，34—第一传感器，35—第二传感器，36—第三传感器，38—计算机，39—驱动装置。具体实施方式以下按照附图，说明本发明中的涂敷装置的优选实施方式。[光学补偿片的生产线]图1是说明本发明中的涂敷方法及涂敷装置所适用的光学补偿片的生产线的说明图。如图1所示，光学补偿片的生产线构成为从输出机66输出作为预先形成取向膜形成用的聚合物层而成的透明支承体的带状体16。带状体16被导辊68引导并送入抛光处理装置70中。抛光辊72是为了向聚合物层实施抛光处理而设置。在抛光处理装置70的下游设置除尘机74。可以利用除尘机74去除附着于带状体16的表面的尘埃。在除尘机74的下游配置设置于主动式除振装置32的涂敷装置10。从而可以将含有圆盘状液晶的涂敷液涂敷于带状体16。在其下游依次设置千燥区段76、加热区段78，从而可以在带状体16上形成液晶层。进而，在其下游设置紫外线灯80，从而可以利用紫外线照射使液晶交联进而形成需要的聚合物。那么，从而利用设置于其下游的巻绕机82巻绕已形成聚合物的带状体16。[涂敷装置]如图2所示，涂敷装置10由以下结构构成，S卩将利用泵等从涂敷液容器输送的涂敷液涂敷于带状体16的涂敷头18;与涂敷头18对向设置，以外周面支承涂敷时的带状体16的圆筒状的支承辊20;保持支承辊20的旋转轴的支柱15;为了引导在支承辊20上行进的带状体16，从涂敷头18与支承辊20隔着规定间隔配置的导辊14。保持涂敷装置10的涂敷头18和支承辊20的旋转轴的支柱15固定在用后述的主动式除振装置32的致动器33支承的支架30上。另外，涂敷头18借助涂敷头支架31固定在支架30上。为了能够将涂敷于带状体16的涂敷液的种类或涂敷液的膜厚调节为最适，支承辊20与涂敷头18构成为能够以可调节二者的间隔的方式行进。因而，在支架30上固定是指在向带状体16的涂敷中，将支架30设置成支承辊20与涂敷头18保持规定间隔。接着，对利用涂敷装置10的涂敷方法进行说明。带状体16被输出机输出，借助导辊14被引导于支承辊20。被引导的带状体16巻绕支承辊20的外周面的一部分。带状体16以一定速度向图示箭头方向连续行进。此时，支承辊20边旋转边支承带状体16的非涂膜面。在支承辊20的上游侧配置导辊14。导辊14的旋转轴被支柱17支承。支柱17被设置于与用致动器33支承的支架30不同的床面F或其他支架上。导辊14是为了支承带状体的行进而设置的。在带状体16的行进中，导辊14边旋转边支承带状体16，具有向支承辊20引导带状体16的功能。涂敷头18以涂敷头前端与连续行进的带状体16接近但非接触状态对向配置。如上所述，构成为可以调节涂敷头18与带状体16的间隔。涂敷头18利用泵从涂敷液容器输送液体。以下未图示作为泵，与使涂敷液的供给流量稳定化相比，优选使用定量泵。作为定量泵，例如可以使用齿轮泵、滚柱泵等各种泵，但本发明的涂敷可以特别优选使用齿轮泵。如图3所示，在涂敷头18内以与带状体16的宽度方向平行的方式形成筒状的袋部18B。其涂敷用的袋部18B与供给线18A连接。另外，在涂敷头18内，在涂敷头的前端形成具有喷出口的涂敷用缝隙18C。涂敷用缝隙18C与涂敷用袋部18B连通。涂敷用缝隙18C为连接袋部18B和涂敷头前端的狭窄的流道，向带状体16的宽度方向延长。接着，从供给线18A向涂敷头18的涂敷用袋部18B供给涂敷于带状体16所需要的涂敷量的涂敷液，在带状体16上形成涂敷膜。己涂敷涂敷液的带状体16被输出到设置于下游的干燥区段、加热区段，在带状体16上形成液晶层。另外，以下省略图示，控制带状体16的张力的张力辊或控制带状体16的输送的驱动辊被设置于光学补偿片的生产线上。[主动式除振装置]接着，利用图2，对关于设置有所述涂敷装置10的主动式除振装置32的结构进行说明。在该结构中，涂敷头18及支柱15被固定于支架30上。如上所述，涂敷头18借助涂敷头支架31固定于支架30上。如图所示，支架30、涂敷头支架31及支柱15可以分别为构件，也可以一体形成。主动式除振装置32至少由致动器33、第一传感器34、第二传感器35、第三传感器36、计算机38、驱动装置39构成。在支架30的下面的4个角落配置致动器33、33…。支架30借助致动器33、33…设置于床面(设置基础面)F上。另外，用于检测支架30的振动的第一传感器34被设置于支架30上，用于检测设置有支架30的基础的振动的第二传感器35被设置于床面F上。进而，在本发明中，用于检测带状体的振动的第三传感器36被设置于导辊14上。在第三传感器36中，检测带状体的张力、加速度、速度、位移的变动或导辊支承部的加速度、速度、位移变动等信息作为带状体的振动信息。设置于支架上的第一传感器34由设置于支架30上的加速度传感器和位置检测传感器构成。第一传感器34为了检测支架的X轴、Y轴、Z轴以及旋转方向而设置于各致动器33、33…上。设置于床面F上的第二传感器35由加速度传感器构成。设置于导辊的第三感受器由位移传感器构成。不过，传感器的种类及数量对应检测的对象而被适当地设置，不限定于实施方式。接着，说明设置第三传感器36的原因。关于以往的主动式除振装置，通常已知设置除振装置的基础振动的除振以及设置于支架上的仪器的运转引起的振动的减振的相关控制技术。但是，没有与本发明的涂敷装置10中可见的连续输送的带状体16的状态变动引起的干扰振动进入支架之类的特异环境下的除振装置的控制方法的例子，没有对适当地消除从带状体16向支架30传输的振动的研究。更具体而言，在以往的主动式除振装置上，在精密仪器例如电子显微镜或半导体曝光装置等中，反馈(以下称为FB)控制支架的振动信息，控制支架的振动。进而，除了FB控制，在这些精密仪器中，前馈(以下称为FF)控制要设置精密仪器的基础振动的信息，还同时进行控制支架的振动。加工的对象物、一显微镜中的样品或半导体曝光装置中的晶片均不是其自身给支架带来振动。另一方面，在加工的对象物为连续行进的带状体的情况下，带状体行进引起的振动作为干扰振动向进行涂敷的导辊或涂敷液供给部传递。作为在涂敷装置中带状体行进引起的干扰振动，导辊的偏心或振摆、轴承的振动、驱动体系的振动、干燥风等会引起沿着带状体的输送方向的张力变动及与输送方向垂直的方向上的张力变动。所以，除去给导辊或涂敷液供给部带来的干扰振动是在涂敷装置中很重要的。在设置于以往的主动式除振装置的涂敷装置的情况下，为了除去所述带状体引起的振动或偏心即所谓的干扰振动，也可以通过提高主动式除振装置内的FB控制环路的增益，来消除强迫振动。但是，控制体系的余量变少，最差时，可能会引起主动式除振装置发生振荡等高增益(highgain)问题。另一方面，如果为了防止振荡而使FB控制环路的增益降落，则不仅失去充分的减振性能，而且还可能不能保证本来的床振动的除振性能。因此，本发明通过在涂敷装置上游的导辊具备带状体的张力传感器、或位移传感器、或速度传感器、或加速度传感器，检测带状体的输送方向及与输送垂直的方向的张力或位移、或速度、或加速度等的变动，从而具备基于此变动来控制带状体引起的振动的带状体振动控制环路。该带状体振动控制环路例如使用安装于导辊两端的位移传感器的输出信号，在将带状体视为与导辊和涂敷装置连接的弹性体的情况下，以运算求得向涂敷装置作为干扰施加的力，制作反转该干扰力的符号的控制输入信号，使致动器驱动以消除干扰力。这样，不会引起高增益问题而维持控制体系的稳定性不变，这种状态下可以提高主动式除振装置的除振性能。接着，向计算机38输入从第一传感器34、第二传感器35及第三传感器36检测的振动信息。在计算机38中，基于检测的振动信息，实现1)制作用于消除支架的振动的控制输入的FB控制机构；2)制作用于消除基础振动的控制输入的FF控制机构；3)制作用于消除带状体引起的振动的FF控制输入的控制机构。控制机构可以实现软件处理、硬件处理的任意一种。在用计算机38处理的控制输入被输入到驱动装置39中。驱动装置39基于控制输入驱动支承支架30的致动器33，向涂敷装置赋予消除振动的减振力。这样，可以实现涂敷装置10的除振。图4是说明主动除振装置32的控制模型的概念图。在主动除振装置32的基础40上借助致动器42支承承载部44。在该在该承载部44上固定有可以检测支架的振动的加速度传感器46及可以检测支架的位移的位移传感器48。在基础40上也固定有可以检测基础振动的振动的加速度传感器50。进而，可以检测带状体的振动的位移传感器52被固定在导辊上。来自传感器46、传感器48、传感器50及在导辊的两端设置的2个传感器52的控制信息被给予控制部54。控制部54基于其数据控制致动器42。在次，承载部44的m表示质量，质量m包括图2中的支架30、涂敷头支架31、涂敷头18、支承辊20等的质量。另外，K表示弹簧常数，表示相对于位置的阻力系数。另外，C表示衰减，表示相对于速度的阻力系数。进而，可以将带状体视为与导辊与涂敷装置连接的弹性体。就是说，Kw是指相对于带状体引起的振动的弹簧常数，表示相对于位置的阻力系数。接着，利用图5说明将图4作为模型的本发明的控制体系。承载部44为被控制部，是表示支架的部分，被主动式除振装置32控制。接着，用四角的点线包围的部分14、40是表示弹簧上的干扰振动和基础振动的部分。对承载部44的内部信号的流动进行说明。如果从外部向承载部44施加任何力，则在承载部44产生加速度。承载部44的加速度信号被积分元件132积分，进而成为速度的信号，向产生相对于速度的阻力的衰减部(衰减系数C)传递。接着，速度的信号进一步被积分元件134积分，进而成为位移信号(位置信号)。该位移信号向产生相对于位置的阻力的弹簧部(弹簧常数K)传递。用加速度传感器46检测承载部44的加速度的信息。检测的加速度信号借助带通滤波器(以下称为BPF)98，被传递到减法器122。在减法器122检测来自目标值赋予部102的目标值与加速度信号的差，向加速度FB控制器112传递偏差信号。利用位移传感器48检测承载部44的位移信号。检测的位移信号借助BPF96传递到2个减法器124、126。在模拟微分器120被模拟微分并作为速度信号向减法器124传递。用减法器124检测目标值赋予部104的目标值与速度信号的差，偏差信号被传递到速度FB控制器114。用模拟微分器120模拟微分位移信号是为了不使位移信号的观测噪音成为速度信号，如果只进行微分，则噪音扩增。另一个位移信号被传入减法器126，减法器126检测来自目标值赋予部106的目标值与位移信号的差，该偏差信号被传递到位移FB定位控制器116。这样一来，在控制器112、114、116中，通过相对于控制输入进行反馈控制，对应涂敷装置的实际振动状态，向涂敷装置赋予抑制该振动的减振力。作为控制器112、114、116中的具体的控制律，可以使用PID控制律或者鲁棒控制律、适应控制律等。在基础40中，利用加速度传感器50，相对于床振动的振动作为加速度的信号被检测。检测的加速度信号借助BPF94被传递到减法器128,用减法器128检测来自目标值赋予部108的目标值与加速度信号的差。接着，该偏差信号被传递到基础信号控制器118。接着，在导辊14中，利用设置于导辊14的位移传感器52作为前路径(path)位移检测的位移信号借助BPF卯被传递到减法器130。用减法器30检测来自目标值赋予部IOO的目标值与位移信号的差，作为偏差信号被传递到带状体信号控制器110。这样一来，在导辊14中，通过相对于带状体引起的振动的控制输入进行前馈控制，对应来自带状体的干扰振动的状态，向涂敷装置给予抑制该振动的减振力。导辊14的振动被正确理解为弹簧常数Kw的干扰振动。本发明的特征在于，除了承载部44与基础40的振动信号，还检测导辊14中的振动信号，通过产生前馈控制的控制输入，向涂敷装置赋予抑制带状体的行进引起的振动的减振力。全部加合带状体信号控制器110、加速度FB控制器112、速度FB控制器114、位移FB定位控制器116及基础信号控制器118的控制输入而合成控制输入得以合成。最终，合成控制输入力、带状体引起的振动的力干扰、基础振动的力干扰、利用衰减C的力和利用弹簧K的力，全部被合成，成为向支架施加的力。此时，合成控制输入力起到消除其以外的力的和的作用，所以向支架施加的力的总合成为0或非常小的值，从而可以使支架静止。这样，在与该涂敷液供给机构隔着规定的间隔的位置连续输送的带状体上形成规定膜厚的涂敷膜的
技术领域：
，与以往相比，可以消除涂敷装置的振动，能够实现可以得到膜的厚度精度高、表面平滑且没有涂敷不均的涂敷膜的涂敷装置。对在本发明的涂敷装置中，优选安装第三传感器的部位与支承辊的距离为10m以下的范围的原因进行说明。这是因为，如果远得过离，则在安装第三传感器的部位与支承辊之间，可能会发生被第三传感器检测的振动以外的振动，不能向涂敷装置提供准确的减震力。因此,优选第三传感器与支架的距离为10m以下，更优选为5m以下。对支架30的一次固有振动频率优选为80Hz以上的原因进行说明。干扰振动中成为问题的是低频振动，高频振动容易被除振装置减弱。所以，如果支架30的一次固有振动频率高，则可以避免与干扰振动的共振。另外，在高频振动状态下，带状体的涂敷膜的厚度不均不明显，所以支架30的一次固有振动频率越高越好。因此，支架30的一次固有振动频率优选为100Hz以上，更优选为120Hz以上。要设置涂敷装置10的床面的一次固有振动频率优选为10Hz以上的原因在于，在基础的一次固有振动频率为10Hz以下的强度低的状态下，不能保证相对10Hz以下的振动的除振装置的性能。另外，还具有与支架30的一次固有振动频率越高越好相同的原因。因此，要设置涂敷装置IO的床面的一次固有振动频率优选为20Hz以上，更优选为30Hz以上。对使用涂敷装置10的涂敷膜的形成进行说明。作为涂敷液，可以使用内含有机溶剂的涂敷液。不过，还可以使用其以外的粘度的涂敷液、不含有有机溶剂的涂敷液。作为带状体16，通常可以使用规定宽度、规定长度、且厚度为2200(im左右的由聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)、聚2，6—萘二甲酸乙二醇酯、二醋酸纤维素、三乙酸纤维素、乙酸丙酸纤维素、聚氯乙烯、聚偏氯乙烯、聚碳酸酯、聚酰亚胺、聚酰胺等塑料薄膜；纸；涂敷或层叠有聚乙烯、聚丙烯、乙烯丁烯共聚物等碳原子数210的oc—聚烯烃类的纸；金属板等构成的挠性带状物或者以该带状物为基材进而在其表面形成加工层的带状物。在图1的光学补偿片的生产线中，利用输出机66输送带状体16，同时控制涂敷装置10的涂敷头18的缝隙18C中的涂敷液或者为了使涂敷之后的涂敷膜28的膜厚成为一定而控制带状体16的输送速度，进行涂敷。在涂敷后的干燥等中，为了得到涂敷膜的厚度精度高而且表面平滑的涂敷膜28，设定干燥区段76、加热区段78、紫外线灯80等。涂敷、干燥后的带状体16被巻绕机82巻绕。所述一系列的工序优选在良好的无尘度及最适温湿度环境下实施。因而，优选在净化间内进行，特别优选涂敷装置IO被设置于清洁度高的环境中。所以，可以采用并用下流式净化间或净化台的方式。以上对本发明中的涂敷装置及涂敷方法的实施方式进行了说明，但本发明不限定于所述实施方式，可以采用各种方式。例如，在本实施方式中，作为涂敷装置IO可采用挤出型的涂敷机，但也可以优选适用其以外的涂敷机，例如棒涂机(也被称为"rodcoater"，还包括梅尔棒涂敷机(mayerbarcoater)、凹版印刷涂敷机(直接凹版印刷涂敷机、凹版接触涂敷机(gravurekisscoater)等)、辊涂机(转移辊涂敷机、逆转辊涂敷机等)、金属型涂料机、喷注式刮出涂敷机、滑动式漏斗(slidehopper)等。另外，作为涂敷装置10的用途，不仅适用于光学补偿薄膜等光学薄膜，还可以适用于各种涂布。最后为了显示本发明的效果而实施了仿真。在仿真中，以搭载于检测支架与设置面的振动并用致动器控制的主动式除振装置的涂敷装置(active)、进而搭载于在本发明的导辊上也设置了传感器的主动式除振装置的涂敷装置(本发明)作为模型进行仿真，算出加速度常数偏差及位移常数偏差。此时的条件为非控制部的质量m=5,000Kg、弹簧常数K二2.0X106、弹性模量C二5.0X102、目标值(加速度、速度)=0、目标值(位移)^一定值、包括弹簧上干扰二l100Hz的频率成分的大小为10N的力、包括基础振动干扰二l100Hz的频率成分的大小为1N的力。结果如表1所示。[表1]__<table>tableseeoriginaldocumentpage15</column></row><table>从该结果可知，本发明的涂敷装置与搭载于以往的active的涂敷装置相比，可以大幅度地减少其振动的影响。权利要求1.一种涂敷装置，具备用外周面支承向纵向行进的长的带状体的支承辊、和与所述支承辊隔开一定间隔对向配置并向带状体供给涂敷液的涂敷液供给部，其特征在于，具备支承所述涂敷液供给部与所述支承辊的支架；和主动式除振装置，该主动式除振装置具备支承所述支架并用于驱动的致动器；检测所述支架的振动的第一传感器；基于所述第一传感器的输出信号来产生用于消除支架的振动的控制输入的反馈控制机构；检测要设置所述支架的基础的振动的第二传感器；基于所述第二传感器的输出信号来产生用于消除基础振动的控制输入的前馈控制机构；检测向所述支架的弹簧上传导的干扰振动并安装于所述支架以外的部位的第三传感器；和基于所述第三传感器的输出信号来产生用于消除干扰振动的控制输入的前馈控制机构。2.根据权利要求l所述的涂敷装置，其中，安装所述第三传感器的部位是配置于所述涂敷液供给部的上游并支承带状体的行进的导辊。3.根据权利要求2所述的涂敷装置，其中，所述第三传感器被设置于导辊的两端。4.根据权利要求13中任意一项所述的涂敷装置，其中，安装所述第三传感器的部位与所述支承辊的距离在10m以下的范围。5.根据权利要求14中任意一项所述的涂敷装置，其中，所述第三传感器检测带状体的张力、加速度、速度、位移的变动或导辊支承部的加速度、速度、位移变动、旋转加速度、旋转速度以及转数中的至少一个信息作为带状体的振动信息。6.根据权利要求15中任意一项所述的涂敷装置，其中，产生用于消除所述干扰振动的控制输入的控制机构是控制带状体的状态变动导致产生的所述支架的振动的带状体振动控制机构。7.根据权利要求6所述的涂敷装置，其中，所述带状体振动控制机构驱动所述致动器以消除根据所述带状体的状态变动而在所述支架产生的干扰振动。8.根据权利要求17中任意一项所述的涂敷装置，其中，所述支架的一次固有振动频率为80Hz以上。9.根据权利要求18中任意一项所述的涂敷装置，其中，要设置所述涂敷装置的床面的一次固有振动频率为10Hz以上。全文摘要本发明提供一种可以得到膜的厚度精度高而且表面平滑的没有涂敷不均的涂敷膜的涂敷装置。该涂敷装置是具备用外周面支承向纵向行进的长的带状体(16)的支承辊(20)、和与支承辊(20)隔开一定间隔对向配置并向带状体供给涂敷液的涂敷头(18)的涂敷装置(10)，其中，具备固定有涂敷头(18)与支承辊(20)的支架(30)、和主动式除振装置(32)，主动式除振装置(32)具备支承支架(30)并用于驱动的致动器(33)、检测支架(30)的振动的第一传感器(34)、检测基础振动的第二传感器(35)、检测带状体的振动的第三传感器(36)、和基于各传感器的信息来产生用于消除振动的控制输入的控制机构。文档编号F16F15/02GK101274314SQ20081008762公开日2008年10月1日申请日期2008年3月25日优先权日2007年3月30日发明者光安隆申请人:富士胶片株式会社