专利名称：管道止漏装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种半导体制造设备，特别涉及一种修补管道的管道止漏 装置。
背景技术：
在半导体制造工艺中很多都需要采用高温、高压机组，随着使用时间的延 长，机组设备出现老化，其中的管道渗漏难以避免。管道渗漏严重时，甚至需 要停机检修。如果停机处理管道渗漏，必须先通过冷机组减压，才可以维修。 维修是在渗漏处的管道上直接进行焊接，或是将原来渗漏点所在部分的管道切 割掉，再用新的管道焊接替换，然后重新开机进行生产，而一般半导体生产过 程中，机组需要一直保持运转，才能保证半导体的顺利生产，如重启机组则会 造成生产线上半导体生产进度的中断，导致处理中的半导体净艮废，产生大量的 费用，这样将会给半导体生产造成严重的损失。
实用新型内容
有鉴于此，本实用新型提供一种管道止漏装置，以解决现有技术中，在半 导体生产过程中因管道渗漏，需要停机维修所造成的严重损失等技术问题。
本实用新型提供一种管道止漏装置，包括保护套管，用于套接在渗漏的 管道上；法兰，套接固定在上述保护套管两端的上述管道上；螺紋钢，焊接在 上述保护套管上；其中，上述保护套管通过上述螺紋钢和螺母与上述法兰固接。
可选的，上述保护套管是沿轴向对开的两半圆卡管扣合在上述渗漏的管道 上，上述保护套管的内径大于上述管道的外径。
可选的，上述保护套管的材料为碳钢。
可选的，上述保护套管上具有一排水阀。
可选的，上述保护套管上具有一排气阀。可选的，上述保护套管与上述管道套接处设置有第一密封圈。 可选的，上述第一密封圈是所述法兰经加工后为环状，焊接固定在上述保 护套管内壁上。
可选的，上述保护套管与上述法兰固接处设置第二密封圏。 可选的，在上述第一密封圈与上述第二密封圈之间填充密封材料。 可选的，上述密封材料为石墨或石棉条。
综上所述，采用本实用新型所提供的这种结构的止漏装置，可以快速解决 压力管道漏液的问题，降低维修固定连接难度，止漏成功率高，使得在半导体 生产过程中不用停机即可进行压力管道维修，避免了因停机维修所造成的损失， 并具有结构简单、维^务方便、省时省力、成本低等优点。
图1A所示为本实用新型一实施例所提供的止漏装置的侧视图； 图1B所示为本实用新型一实施例所提供的止漏装置的俯视图； 图1C所示为本实用新型一实施例所提供的止漏装置的剖视图。
具体实施方式
为使本实用新型的目的、特征更明显易懂，给出较佳实施例并结合附图， 对本实用新型作进一步说明。
请结合参见图1A、图1B和图1C,其所示为本实用新型一实施例所提供的 止漏装置的结构示意图。该管道止漏装置100,包括保护套管110，用于套接 在渗漏的管道200上；法兰120，套接固定在上述保护套管110两端的上述管道 200上；螺紋钢130,焊接在上述保护套管IIO上；其中，上述保护套管110通 过上述螺紋钢130和螺母140与上述法兰120固接。
首先，用保护套管110套接在渗漏的管道200上，其中保护套管110的管 径大于渗漏的管道200的管径；然后，在保护套管110两端的管道200上分别 套接固定法兰120;将螺紋钢130焊接在保护套管IIO上，为了更加稳固，在保 护套管110的两端各焊接4根螺紋钢130，且用满焊焊接；最后，将螺紋钢130 插入到法兰120的固定孔，利用螺母140拧紧，使保护套管110与法兰120固
4接。
用保护套管110对渗漏的管道200进行密封包覆，就不需要直接在渗漏的 管道200上进行维修，而且保证了原来管路中液体的通畅，这就使得压力管道 泄漏时不用停机即可进行维修，避免了因停机维修所造成的损失，并具有结构 简单、维修方便、省时省力、成本低等优点。此外，也避免了在开机时直接焊 接管道时，由于高温高压可能导致焊接不密封，并有效防止了因焊接可能造成 渗漏点进一步扩大的问题。
在本实用新型一实施例中，为了在不切断渗漏的管道200时，把保护套管 110套接到管道200上，先将保护套管IIO沿轴向对开成两个半圆卡管，再扣合 在渗漏的管道200上。
在半导体制造中， 一般所需的都是高温高压液体，比如90°C，每平方厘 米4公斤的压力，这就需要管道为能耐高温高压的材料制成，所以在本实用新 型一实施例中，保护套管110所采用的材料为碳钢。
在本实用新型一实施例中，保护套管上具有一排水阀150。可以保证保护套 管内的干燥，并可使泄漏介质从排水阀流出，不但压力降4氐，而且排放流量大， 降低固定连接难度，止漏成功率高。当维修完毕后，将排水阀150关闭，此时 保护套管110便可替代原来渗漏的管道200进行工作。
在本实用新型一实施例中，保护套管110上具有一排气阀160。可以控制维 修渗漏的管道200时，高温高压液体介质在保护套管110中的压力，降低固定 连接难度，保证维修质量。
在本实用新型一实施例中，请参见图1C,因为保护套管110的管径大于渗 漏的管道200的管径，为了达到密封的效果，保护套管110与渗漏的管道200 管道套接处设置有第一密封圈170。第一密封圈170可以用法兰120的内环经过 特殊加工制成，并点焊在保护套管110的管道上。这样可以使保护套管110更 加密封的包覆在渗漏的管道200上，不需要直接在渗漏的管道200上进行维修， 而且保证了管路中液体的通畅，这就使得在维修渗漏的压力管道时不用停机。
在本实用新型一实施例中，保护套管110与两端法兰120固接处设置第二 密封圏180。这样可以更稳固地把保护套管110固定在渗漏的管道200上。其中 第二密封圏180可以用法兰120的内环加工制成。在本实用新型一实施例中，请参见图1C,为了保证保护套管110与渗漏的 管道200之间更好的密封性，在第一密封圈170与第二密封圈180之间填充密 封材料190。在实际应用中，密封材料190可为石墨或石棉条。
综上所述，采用本实用新型所提供的这种结构的止漏装置，可以快速解决 压力管道漏液的问题，降低维修固定连接难度，止漏成功率高，使得在半导体 生产过程中不用停机即可进行压力管道维修，避免了因停机维修所造成的损失， 并具有结构简单、维修方便、省时省力、成本低等优点。
虽然本实用新型已以较佳实施例揭露如上，然其并非用以限定本实用新型， 任何熟习此技术者，在不脱离本实用新型的精神和范围内，当可作些许的更动 与润饰，因此本实用新型的保护范围当视权利要求书所界定者为准。
权利要求1.一种管道止漏装置，其特征在于，包括保护套管，用于套接在渗漏的管道上；法兰，套接固定在上述保护套管两端的上述管道上；以及螺纹钢，焊接在上述保护套管上；其中，上述保护套管通过上述螺纹钢和螺母与上述法兰固接。
2. 根据权利要求1所述的管道止漏装置，其特征在于，其中上述保护套管 是沿轴向对开的两半圆卡管扣合在上述渗漏的管道上，上迷保护套管的内径大 于上述管道的外径。
3. 根据权利要求1所述的管道止漏装置，其特征在于，其中上述保护套管 的材料为碳钢。
4. 根据权利要求1所述的管道止漏装置，其特征在于，其中上述保护套管 上具有一排水阀。
5. 根据权利要求1所述的管道止漏装置，其特征在于，其中上述保护套管 上具有一排气阀。
6. 根据权利要求1所迷的管道止漏装置，其特征在于，其中上述保护套管 与上述管道套接处设置有第 一密封圈。
7. 根据权利要求6所述的管道止漏装置，其特征在于，其中上述第一密封 圈由所述法兰经加工后为环状，焊接固定在上述保护套管内壁上。
8. 根据权利要求6所述的管道止漏装置，其特征在于，其中上述保护套管 与上述法兰固接处设置第二密封圈。
9. 根据权利要求8所述的管道止漏装置，其特征在于，在上述第一密封圏 与上述第二密封圈之间填充密封材料。
10. 根据权利要求9所述的管道止漏装置，其特征在于，其中上述密封材料 为石墨或石棉条。
专利摘要本实用新型提供一种管道止漏装置，包括保护套管，用于套接在渗漏的管道上；法兰，套接固定在上述保护套管两端的管道上；螺纹钢，焊接在上述保护套管上；其中，上述保护套管通过螺纹钢和螺母与法兰固接。采用本实用新型所提供的这种结构的止漏装置，可以快速解决压力管道漏液的问题，降低维修固定连接难度，止漏成功率高，使得在半导体生产过程中，不用停机即可进行压力管道维修，避免了因停机维修所造成的损失，并具有结构简单、维修方便、省时省力、成本低等优点。
文档编号F16L55/17GK201322165SQ200820158339
公开日2009年10月7日 申请日期2008年12月30日 优先权日2008年12月30日
发明者勇 丁, 刘卫兵, 周金锋, 徐雪峰 申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司